本实用新型专利技术属于蚀刻尾气处理技术领域，公开了一种粉尘回收处理装置及蚀刻设备。该粉尘回收处理装置包括尾气管、清理筒、清理组件以及吹洁组件。该清理筒设置于该尾气管的中段，连通于该尾气管，尾气中部分副产物能够凝结于该清理筒的内壁；该清理组件设置于该清理筒的内腔，包括刮取件，该刮取件抵靠于该清理筒的内壁，能够相对于该清理筒转动，刮下该清理筒内壁凝结的该副产物；该吹洁组件伸入该尾气管，能够向该尾气管中通入吹洁气流，该吹洁气流在该尾气管中螺旋运动，该清理组件能够在该吹洁气流的带动下转动。该粉尘回收处理装置能够降低内壁堆积凝结物的情况，并且能够及时清理凝结物，避免干泵排气不顺的问题，提升蚀刻产品良率。产品良率。产品良率。
【技术实现步骤摘要】
粉尘回收处理装置及蚀刻设备
[0001]本技术涉及蚀刻尾气处理
，尤其涉及一种粉尘回收处理装置及蚀刻设备。
技术介绍
[0002]刻蚀工艺是用化学或物理的方法有选择地从基材表面去除不需要的材料的过程。刻蚀工艺中的干法刻蚀在微电子技术中得到广泛的应用。干法蚀刻设备工作时，需要利用干泵为设备本体的腔体连续提供真空环境，此时如果干泵的排气管路不畅，则会导致产品良率降低。为保证生产的连续性，并且避免停泵，则需要减少含尘尾气在尾气管中的聚集，防止尾气管中形成积尘。现有的含尘尾气处理装置一般采用向尾气管中通入高压氮气进行吹洁，但是尾气管中部分粉尘在经过高压氮气吹洁后温度会降低，其副产物容易在吹洁口凝结，而影响吹洁效果。且现有的含尘尾气处理装置不便于对尾气管内壁堆积的凝结物进行清理，存在维护不便的问题，粉尘的副产物凝结，长时间积累会造成尾气管堵塞，而出现干泵排气不畅的问题，降低产品良率。
[0003]因此，亟需一种粉尘回收处理装置及蚀刻设备，以解决以上问题。
技术实现思路
[0004]根据本技术的一个方面，目的在于提供一种粉尘回收处理装置，该粉尘回收处理装置能够降低内壁堆积凝结物的情况，并且能够及时清理凝结物，避免干泵排气不顺的问题，提升蚀刻产品良率。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]粉尘回收处理装置，包括：
[0007]尾气管；
[0008]清理筒，所述清理筒设置于所述尾气管的中段，连通于所述尾气管，尾气中的部分副产物能够凝结于所述清理筒的内壁；
[0009]清理组件，所述清理组件设置于所述清理筒的内腔，包括刮取件，所述刮取件抵靠于所述清理筒的内壁，能够相对于所述清理筒转动，刮下所述清理筒内壁凝结的所述副产物；
[0010]吹洁组件，所述吹洁组件伸入所述尾气管，能够向所述尾气管中通入吹洁气流，所述吹洁气流在所述尾气管中螺旋运动，所述清理组件能够在所述吹洁气流的带动下转动。
[0011]作为本技术提供的粉尘回收处理装置的优选方案，所述清理组件还包括固定架和清理轴，所述固定架固连于所述清理筒中，所述清理轴同轴设置于所述清理筒，可转动地连接于所述固定架，所述刮取件连接于所述清理轴的周侧。
[0012]作为本技术提供的粉尘回收处理装置的优选方案，所述清理组件还包括驱动叶片，所述驱动叶片为多个，多个所述驱动叶片沿周向均布于所述清理轴，多个所述驱动叶片能够在所述尾气管中的流动尾气的吹动下带动所述清理轴转动。
[0013]作为本技术提供的粉尘回收处理装置的优选方案，所述吹洁组件包括外部吹洁气源、进气管和吹洁管，所述进气管穿设于所述尾气管的下段侧部，连通于外部吹洁气源，所述吹洁管同轴设置于所述尾气管中，可转动地连通于所述进气管，所述吹洁管远离所述进气管的一端连接于所述清理轴，所述吹洁管能够向所述尾气管中通入吹洁气流。
[0014]作为本技术提供的粉尘回收处理装置的优选方案，所述吹洁组件还包括多个排气管，多个所述排气管呈螺旋布置，分别连接于所述吹洁管的周侧部，连通于所述吹洁管。
[0015]作为本技术提供的粉尘回收处理装置的优选方案，所述粉尘回收处理装置还包括收集筒，收集筒沿周向设置于所述尾气管外，衔接于所述清理筒下方，所述清理筒底部开设通孔，所述通孔连通所述收集筒的内腔，被所述刮取件刮下的所述副产物能够通过所述通孔进入所述收集筒。
[0016]作为本技术提供的粉尘回收处理装置的优选方案，所述清理组件还包括遮挡板，所述遮挡板连接于所述清理轴和所述刮取件之间，所述遮挡板的底部抵靠于所述清理筒的底部，被配置为防止被所述刮取件刮下的所述副产物掉入所述尾气管的下段。
[0017]作为本技术提供的粉尘回收处理装置的优选方案，所述粉尘回收处理装置还包括冷凝组件，所述冷凝组件设置于所述清理筒外部，用于为所述清理筒的侧壁降温。
[0018]作为本技术提供的粉尘回收处理装置的优选方案，所述粉尘回收处理装置还包括保温管，所述保温管沿周向设置于所述清理筒外部，所述冷凝组件夹设于所述保温管和所述清理筒之间。
[0019]根据本技术的另一个方面，目的在于提供一种蚀刻设备，所述蚀刻设备包括蚀刻设备本体、干泵和尾气处理装置，还包括上述方案任一所述的粉尘回收处理装置，所述干泵连通所述蚀刻设备本体，所述干泵被配置为持续为所述蚀刻设备本体的内腔提供真空环境，所述粉尘回收处理装置连通于所述干泵和所述尾气处理装置之间。
[0020]本技术的有益效果：
[0021]本技术提供的粉尘回收处理装置包括尾气管、清理筒、清理组件以及吹洁组件。该清理筒设置于该尾气管的中段，连通于该尾气管，尾气中部分副产物能够凝结于该清理筒的内壁；该清理组件设置于该清理筒的内腔，包括刮取件，该刮取件抵靠于该清理筒的内壁，能够相对于该清理筒转动，刮下该清理筒内壁凝结的该副产物。该吹洁组件伸入该尾气管，能够向该尾气管中通入吹洁气流，该吹洁气流在该尾气管中螺旋运动，该清理组件能够在该吹洁气流的带动下转动。也就是说，该吹洁组件能够实现尾气管内腔的吹洁，同时能够为清理组件的转动提供驱动作用，该刮取件在转动过程，实现清理筒内壁的凝结物的清理，防止堆积。该粉尘回收处理装置能够降低内壁堆积凝结物的情况，并且能够及时清理凝结物，避免干泵排气不顺的问题，提升蚀刻产品良率。
附图说明
[0022]图1是本技术实施例提供的蚀刻设备的示意图；
[0023]图2是本技术实施例提供的蚀刻设备的部分结构示意图；
[0024]图3是本技术实施例提供的粉尘回收处理装置的结构示意图；
[0025]图4是本技术实施例提供的粉尘回收处理装置的部分结构示意图一；
[0026]图5是本技术实施例提供的粉尘回收处理装置的部分结构示意图二；
[0027]图6是本技术实施例提供的粉尘回收处理装置的剖视图；
[0028]图7是图6中结构标记为A的局部放大图。
[0029]图中：
[0030]10、蚀刻设备本体；20、干泵；21、连接管；30、尾气处理装置；
[0031]100、尾气管；
[0032]200、清理筒；210、通孔；
[0033]300、清理组件；310、刮取件；320、固定架；321、中心环；322、支撑杆；330、清理轴；340、驱动叶片；350、遮挡板；360、连接杆；
[0034]400、吹洁组件；410、外部吹洁气源；420、进气管；430、吹洁管；440、排气管；
[0035]500、收集筒；
[0036]600、冷凝组件；
[0037]700、保温管；
[0038]800、增压管。
具体实施方式
[0039]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.粉尘回收处理装置，其特征在于，包括：尾气管(100)；清理筒(200)，所述清理筒(200)设置于所述尾气管(100)的中段，连通于所述尾气管(100)，尾气中的部分副产物能够凝结于所述清理筒(200)的内壁；清理组件(300)，所述清理组件(300)设置于所述清理筒(200)的内腔，包括刮取件(310)，所述刮取件(310)抵靠于所述清理筒(200)的内壁，能够相对于所述清理筒(200)转动，刮下所述清理筒(200)内壁凝结的所述副产物；吹洁组件(400)，所述吹洁组件(400)伸入所述尾气管(100)，能够向所述尾气管(100)中通入吹洁气流，所述吹洁气流在所述尾气管(100)中螺旋运动，所述清理组件(300)能够在所述吹洁气流的带动下转动。2.根据权利要求1所述的粉尘回收处理装置，其特征在于，所述清理组件(300)还包括固定架(320)和清理轴(330)，所述固定架(320)固连于所述清理筒(200)中，所述清理轴(330)同轴设置于所述清理筒(200)，可转动地连接于所述固定架(320)，所述刮取件(310)连接于所述清理轴(330)的周侧。3.根据权利要求2所述的粉尘回收处理装置，其特征在于，所述清理组件(300)还包括驱动叶片(340)，所述驱动叶片(340)为多个，多个所述驱动叶片(340)沿周向均布于所述清理轴(330)，多个所述驱动叶片(340)能够在所述尾气管(100)中的流动尾气的吹动下带动所述清理轴(330)转动。4.根据权利要求2所述的粉尘回收处理装置，其特征在于，所述吹洁组件(400)包括外部吹洁气源(410)、进气管(420)和吹洁管(430)，所述进气管(420)穿设于所述尾气管(100)的下段侧部，连通于所述外部吹洁气源(410)，所述吹洁管(430)同轴设置于所述尾气管(100)中，可转动地连通于所述进气管(420)，所述吹洁管(430)远离所述进气管(420)的一端连接于所述清理轴(330)，所述吹洁管(430)能够向所述尾气管(100)中通入所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李海虹，
申请(专利权)人：广东中图半导体科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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