一种嵌入横向可动电极的微惯性传感器制造技术

本实用新型专利技术一种嵌入横向可动电极的微惯性传感器。现有的传感器的噪声大、稳定性差，量程和带宽小。本实用新型专利技术的传感器中敏感器栅质量块的两侧边对称设置有敏感器可横向移动质量块，两端对称设置敏感器锚点，敏感器质量块内有栅形电极；敏感器可横向移动质量块一侧设置有硅条组，硅条组与固定质量块对应设置。本实用新型专利技术中的微惯性传感器结构新颖，分辨率和灵敏度高，制作工艺简单，有利于降低成本和提高成品率。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种嵌入横向可动电极的微惯性传感器，包括第一基板及其上表面的检测用交叉梳齿状固定对电极、固定于第一基板上的敏感器锚点、固定质量块锚点、第二基板的悬于第一基板上方的可沿纵向运动的敏感器栅质量块、将敏感器锚点和敏感器栅质量块相连的Ｕ形敏感器支撑梁、敏感器可横向移动质量块、将敏感器可横向移动质量快和敏感器栅质量块相连的Ｕ形敏感器连接梁、固定质量块上的梳形固定电极、敏感器外部引出电极、Ｕ形敏感器支撑梁、电绝缘层、驱动导线和驱动导线引出电极，其特征在于：所述的敏感器栅质量块是由纵向等间之间设置有电绝缘层；所述的电容调整间隙比对应梳形可动电极和梳形固定电极上的对应梳齿间的横向间距小一微米以上；所述的检测用交叉梳齿状固定对电极由沿横向相对交叉的梳齿电极和引出电极组成，各相邻梳齿电极间的间隙不小于一微米，交叉的梳齿电极对应组成梳齿电极对；所述的栅形电极位于对应的梳齿电极对的正上方。距、横向平行的栅形电极、连接栅形电极的边框及敏感器栅质量块矩形凸起组成，敏感器栅质量块矩形凸起有两个且沿着敏感器栅质量块的横向中心线位于敏感器栅质量块两侧；所述的敏感器可横向移动质量块有两个，分别位于敏感器栅质量块的两侧，由矩形块、梳形可动电极和敏感器可横向移动质量块矩形凸起组成，其纵向长度和敏感器栅质量块的主体长度相同；敏感器可横向移动质量块矩形凸起和敏感器栅质量块矩形凸起相对，形成电容调整间隙；每个敏感器可横向移动质量块和敏感器栅质量块通过两根位于敏感器可横向移动质量块和敏感器栅质量块之间的Ｕ形敏感器连接梁相连，该两根Ｕ形敏感器连接梁沿着敏感器栅质量块的横向中心线对称设置，该两根Ｕ形敏感器连接梁沿着敏感器栅质量块的纵向中心线与位于敏感器栅质量块另一侧的另两根Ｕ形敏感器连接梁对应对称设置，实现敏感器可横向移动质量块的横向敏感；所述的每根敏感器连接梁始于矩形块的一角，终于敏感器栅质量块的边框的对应角，其Ｕ形靠近敏感器栅质量块的横向中心线；所述的梳形可动电极由ｎ个等间距的梳齿和连接梳齿的矩形条组成，ｎ≥１，梳齿与矩形条垂直设置；梳形可动电极在矩形块的外侧分别对应组成两组硅条组，每组硅条组分别对应设置在矩形块的相应处，每组硅条组包括平行设置的ｍ条梳形可动电极，ｍ≥２，连接梳齿的矩形条与矩形块侧边垂直设置；矩形块一侧每组的梳形可动电极沿敏感器质量块的横向中心线对称设置；边框两侧的四组硅条组，每组梳形可动电极沿敏感器质量块的纵向中心线对应对称设置；　所述的敏...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：董林玺，颜海霞，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：实用新型
国别省市：86[中国|杭州]