超纯水制造系统技术方案

本发明专利技术提供一种能够制造高度去除了微粒的超纯水并供给至使用点

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超纯水制造系统


[0001]本专利技术涉及一种能够制造特别提高了纯度的超纯水并将该超纯水供给至使用点
(POU(point of use))
的超纯水制造系统
。

技术介绍

[0002]在半导体器件
、
液晶器件的制造工艺中，在清洗等各种用途中使用超纯水
。
在超纯水的一般的制造方法中，首先对河水
、
地下水或工业用水等原水通过预处理系统进行预处理后，供给至一次纯水系统而得到纯水
(
也称为一次纯水
)。
然后，将一次纯水供给至二次纯水系统
(
也称为子系统
)
，进一步提高纯度，能够得到超纯水，将由二次纯水系统得到的超纯水供给至其使用点
。
在向半导体器件的制造设备等超纯水使用设备供给超纯水的情况下，也将在该超纯水使用设备中接受超纯水的位置称为入口点
(POE
；
point of entry)。
在以下的说明中，在称为超纯水的使用点时，也包含超纯水的入口点
(POE)。
[0003]二次纯水系统构成为使未向使用点供给的超纯水返回至二次纯水系统的入口侧
。
即，在二次纯水系统中，超纯水始终循环，通过循环，超纯水进一步受到精制处理
。
作为二次纯水系统的具体结构，例如有如下结构：紫外线氧化装置
(UV)、
非再生型离子交换装置
(CP
：混合床式离子交换r/>)、
膜脱气装置
(MD)
和超滤膜装置
(UF)
依次连接于接收一次纯水的罐的出口
。
设有从超滤膜装置的出口侧使超纯水返回罐的循环配管，并且设有从循环配管分支而用于向使用点供给超纯水的供给配管
。
在以下的说明中，超纯水制造系统是指如下的超纯水制造系统：具备未供给至使用点的超纯水始终循环的二次纯水系统，二次纯水系统中至少包含超滤膜装置，在超滤膜装置的下游侧分支有用于向使用点供给超纯水的供给配管
。
[0004]在半导体器件
、
液晶器件的制造工艺中使用超纯水的情况下，超纯水中所含有的微粒成为使器件的制造成品率降低的直接原因，因此需要严格管理这些微粒的尺寸或粒径
、
和单位体积的超纯水中所含有的微粒的个数或浓度
。
在二次纯水系统中如上述那样在最终级或与其接近的位置配置超滤膜装置也是为了降低超纯水中的微粒量
。
但是，近年来，对于超纯水的品质要求变得越来越严格，需要进行进一步提高通过二次纯水系统而得到的超纯水的纯度的处理
。
例如，需要去除从超滤膜装置自身溶出的成分
。
另外，随着半导体器件的制造设备的大规模化等，超纯水制造系统也大规模化，因此，需要将超纯水以大流量供给至远离的场所，出现在二次纯水系统的内部
、
从二次纯水系统至半导体装置制造设备的配管设置增压泵或升压泵的情况
。
在设置有增压泵等的情况下，需要将在该泵中产生的微粒从超纯水中去除
。
[0005]作为使超纯水进一步高纯度化的尝试，专利文献1公开了在超纯水制造中使用的原水含有硼
、
砷
、
铝
、
钛
、
铬
、
铁
、
铜
、
锌
、
锡
、
钒
、
镓和铅中的任一种以上元素的金属杂质的情况下，在二次纯水系统中的处理路径中
、
或从二次纯水系统向超纯水的使用点的输送路径中，设置至少填充有整体式有机多孔阴离子交换体的离子交换体填充模块
。
现有技术文献
专利文献
[0006]专利文献1：国际公开第
2019/221187
号

技术实现思路

专利技术所要解决的课题
[0007]专利文献1中记载的技术的目的在于去除原水中所含有的特定的金属杂质，专利文献1中没有记载关于高度去除微粒的内容
。
正在谋求一种制造
、
供给高度去除了包含从超滤膜
、
增压泵溶出的微粒等在内的微粒的超纯水的技术
。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种能够制造高度去除了微粒的超纯水并供给至使用点的超纯水制造系统
。
用于解决课题的手段
[0009]根据本专利技术的一个方式，超纯水制造系统具有：第一有机多孔质离子交换体，其在与使用点连接并向该使用点供给超纯水的超纯水供给管线中，设置于超滤膜装置的下游侧的位置；微滤膜装置，其在超纯水供给管线中，设置于成为第一有机多孔质离子交换体的下游侧的位置
。
[0010]在另一个方式中，本专利技术的超纯水制造系统具有：第一有机多孔质离子交换体，其在与使用点连接并向该使用点供给超纯水的超纯水供给管线中，设置于超滤膜装置与在该超滤膜装置的上游侧的位置设置的泵之间的位置；微滤膜装置，其在超纯水供给管线中设置于成为超滤膜装置的下游侧的位置
。
专利技术效果
[0011]根据本专利技术，能够得到一种能够制造高度去除了微粒的超纯水并将该超纯水供给至使用点的超纯水制造系统
。
附图说明
[0012]图1是说明超纯水制造系统的流程图
。
图2是表示超纯水制造系统的一个示例的结构的图
。
图3是表示超纯水制造系统的另一个示例的结构的图
。
图4是表示超纯水制造系统的另一个示例的结构的图
。
图5是表示本专利技术的一个实施方式的超纯水制造系统的结构的图
。
图6是表示超纯水制造系统的另一个示例的结构的图
。
图7是表示超纯水制造系统的另一个示例的结构的图
。
图8是表示有机多孔质离子交换体的设置例的图
。
图9是表示超纯水制造系统的另一个示例的结构的图
。
图
10
是表示超纯水制造系统的另一个示例的结构的图
。
图
11
是表示实施例1中使用的装置的结构的图
。
图
12A
是表示实施例1的结果的图表
。
图
12B
是表示实施例1的结果的图表
。
具体实施方式
[0013]接着，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明
。
在对基于本专利技术的超纯水制造系统进行说明之前，对由一次纯水制造超纯水的一般的超纯水制造系统进行说明
。
图1所示的超纯水制造系统构成为用于在超纯水的制造中使用的一般的二次纯水系统
(
子系统
)
，具备：储存从一次纯水系统
(本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种超纯水制造系统，其具有：第一有机多孔质离子交换体，其在与使用点连接并向所述使用点供给超纯水的超纯水供给管线中，设置于超滤膜装置的下游侧的位置；以及微滤膜装置，其在所述超纯水供给管线中设置于成为所述第一有机多孔质离子交换体的下游侧的位置
。2.
根据权利要求1所述的超纯水制造系统，其中，所述超纯水制造系统具备第二有机多孔质离子交换体，该第二有机多孔质离子交换体在所述超纯水供给管线中设置于所述第一有机多孔质离子交换体的上游侧且所述超滤膜装置的下游侧的位置，所述第一有机多孔质离子交换体为阴离子交换体，所述第二有机多孔质离子交换体为阳离子交换体
。3.
根据权利要求1或2所述的超纯水制造系统，其中，所述超纯水制造系统具备第三有机多孔质离子交换体，该第三有机多孔质离子交换体在所述超纯水供给管线中设置于所述微滤膜装置的下游侧的位置
。4.
根据权利要求1至3中任一项所述的超纯水制造系统，其中，所述超纯水制造系统具备：泵，其在所述超纯水供给管线中设置于所述超滤膜装置的上游侧的位置；以及第四有机多孔质离子交换体，其在所述超纯水供给管线中设置于所述泵的下游侧且所述超滤膜装置的上游侧的位置
。5.
一种超纯水制造系统，其具有：第一有机多孔质离子交换体，其在与使用点连接并向所述使用点供给超纯水的超纯水供给管线中，设置于超滤膜装置与在所述超滤膜装置的上游侧的位置设置的泵之间的位置；以及微滤膜装置，其在所述超纯水...

【专利技术属性】
技术研发人员：茑野恭平，市原史贵，须藤史生，
申请(专利权)人：奥加诺株式会社，
类型：发明
国别省市：