【技术实现步骤摘要】
一种基于薄膜电容器的气体真空度检测方法及系统
[0001]本申请涉及电子检测领域，尤其涉及一种基于薄膜电容器的气体真空度检测方法及系统
。
技术介绍
[0002]现如今，科学技术的发展需要更高要求的工具及环境，在一些科学研究中，高真空环境可以提供更准确和稳定的实验条件；在一些工业生产中，高真空可以用于制造电子器件
、
光学镀膜等工艺过程
。
人们一般通过测量气体真空度来判断当前环境是否为高真空环境
。
[0003]在相关技术中，可以使用悬浮磁球法计测量气体真空度，利用磁场对气体分子运动的影响来测量气体真空度
。
通过测量悬浮磁球的运动状态，可以推断气体的真空度
。
也可使用一种基于二极管桥的薄膜电容真空计测量气体真空度，通过输入正弦交流信号激励得到的输出信号，来判断气体真空度
。
[0004]然而，使用上述方案会因为气体分子不同
、
真空容器不密闭导致检测的气体真空度不准确
。
技术实现思路
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种基于薄膜电容器的气体真空度检测方法，其特征在于，包括：判断薄膜电容器电容的
N
个第一变化值的变化方式，所述
N
个第一变化值为所述薄膜电容器在第一时间段内测量
N
次得到的变化值，所述第一变化值为待测气体输入真空容器后所述真空容器内部的所述薄膜电容器变化的电容值；在所述薄膜电容器电容的变化值的变化方式为上下浮动的情况下，向所述薄膜电容器发送增加测量时间的第一指令，使所述薄膜电容器根据所述第一指令增加测量时间；在所述薄膜电容器根据所述第一指令增加测量时间的情况下，得到所述薄膜电容器电容的
M
个第二变化值，其中
M
大于
N
，所述
M
个第二变化值为所述薄膜电容器在第二时间段内测量
M
次得到的变化值，所述第二时间段包含所述第一时间段或所述第二时间段在所述第一时间段之后，所述上下浮动为由所述待测气体中含有两种及两种以上的气体分子导致的所述薄膜电容器电容的变化值大小交替变化的变化方式；输出平均变化值，所述平均变化值为
M
个所述第二变化值的平均值；在所述薄膜电容器电容的变化值的变化方式为单侧变化的情况下，向输气设备发送增大待测气体的输入速率的第二指令，使所述输气设备根据所述第二指令增大待测气体的输入速率至所述薄膜电容器电容的变化值的变化趋势不变；在所述输气设备根据所述第二指令增大待测气体的输入速率至所述薄膜电容器电容的变化值的变化趋势不变的情况下，得到所述薄膜电容器电容的第三变化值，所述第三变化值为所述薄膜电容器电容的变化值的变化趋势不变时的变化值，所述单侧变化为由真空容器不密闭导致的所述薄膜电容器电容的变化值只变大或变小的变化方式
。2.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述薄膜电容器电容的变化值的变化方式为上下浮动的情况下，向所述薄膜电容器发送增加测量时间的第一指令，使所述薄膜电容器根据所述第一指令增加测量时间，具体包括：在所述薄膜电容器电容的变化值的变化方式为上下浮动且不规律的情况下，设定一个容忍区间，所述容忍区间为可取值的数据范围；根据所述容忍区间将所述第二变化值进行筛选得到信任变化值，所述信任变化值为在所述容忍区间内的所述第二变化值；在根据所述容忍区间将所述第二变化值进行筛选得到信任变化值的情况下，得到第四变化值，所述第四变化值为所述信任变化值的平均值
。3.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述薄膜电容器电容的变化值的变化方式为单侧变化的情况下，向输气设备发送增大待测气体的输入速率的第二指令，使所述输气设备根据所述第二指令增大待测气体的输入速率至所述薄膜电容器电容的变化值的变化趋势不变之后，还包括：在所述输气设备增大待测气体的输入速率达到最大的情况下，检测所述薄膜电容器电容的变化值的变化趋势是否不变；若所述薄膜电容器电容的变化值的变化趋势没有不变，向输气设备发送降低待测气体的输出速率的第三指令，使所述输气设备根据所述第三指令降低待测气体的输出速率至所述薄膜电容器电容的变化值的变化趋势不变；在所述输气设备根据所述第三指令降低待测气体的输出速率至所述薄膜电容器电容的变化值的变化趋势不变的情况下，得到所述薄膜电容器电容的第五变化值，所述第五变
化值为所述薄膜电容器电容的变化值的变化趋势不变时的变化值
。4.
根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述判断薄膜电容器电容的
N
个第一变化值的变化方式之后，还包括：将所述薄膜电容器电容的
N...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴钰东，吴亚军，徐涌，谢宇，
申请(专利权)人：深圳圣融达科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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