一种大能量纳秒脉冲激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种大能量纳秒脉冲激光器，包括：全反射腔镜

【技术实现步骤摘要】
一种大能量纳秒脉冲激光器


[0001]本专利技术涉及激光器
，尤其涉及一种大能量纳秒脉冲激光器
。

技术介绍

[0002]激光技术发展至今，已经在社会的各行各业中普遍应用，而固体激光器的出现，也一直备受大家关注，因为其具有光束质量好，可靠性高，多波长，峰值功率高的特点，并且可以做到其他类型激光器无法做到的技术优点，如可进行特殊材料加工等，推动了高新技术链的有序增长，具有广阔的市场前景和更大的发展空间
。
[0003]目前随着国内芯片研发技术的迅速发展，激光器作为半导体日常生产和研发的核心器件的激光光源，更是必不可少
。
而国内大能量固体激光器不仅输出能量受限，激光技术水平在激光输出光束分布上存在一定缺陷，输出光斑有明显的衍射环，同时在光斑分布上存在高峰值功率分布点，会出现光束传输过程中损伤后期部分光学系统中光学损伤现象
。
能量高
、
光斑大
、
光斑存在强点的状态可能会造成激光晶体
、
光学器件损坏，传输过程中经过放大系统，可能引起更严重的损伤，如造成器件出现贯穿状伤害，甚至是激光系统的整体报废状态
。
所以面对大能量纳秒脉冲固体激光器，国内的大于
3J
的大能量纳秒脉冲激光器，目前无法实现全天稳定运行
。
[0004]有鉴于此，急需对现有的大能量纳秒脉冲激光器进行改进，实现激光器的全天稳定运行
。

技术实现思路

[0005]本专利技术公开一种大能量纳秒脉冲激光器，用于解决现有技术中，大能量纳秒脉冲激光器无法实现全天稳定运行的问题
。
[0006]为了解决上述问题，本专利技术采用下述技术方案：提供一种大能量纳秒脉冲激光器，包括：全反射腔镜
、
振荡器聚光腔
、
激光输出镜
、
预放聚光腔
、
扩束系统
、
非线性晶体和分光镜
。
[0007]所述全反射腔镜和激光输出镜构成光学谐振腔，激光经过所述光学谐振腔产生；所述振荡器聚光腔设置在所述光学谐振腔内，所述振荡器聚光腔内设有增益介质；所述预放聚光腔内设有增益介质；所述扩束系统用于改变所述激光的光斑直径；所述非线性晶体用于将所述激光二倍频；所述分光镜至少设有两个，用于将所述激光分光并输出
。
[0008]在上述方案中，所述全反射腔镜为二元光学蜂巢镜
。
[0009]在上述方案中，所述振荡器聚光腔和所述预放聚光腔内的所述增益介质的直径不超过
10mm。
[0010]在上述方案中，所述预放聚光腔和所述扩束系统之间还设有法拉第隔离器，用于
限定所述激光沿所述扩束系统方向传输
。
[0011]在上述方案中，所述扩束系统和所述非线性晶体之间还设有第一主放大器和第二主放大器，所述第一主放大器和第二主放大器内设有增益介质，所述增益介质的尺寸为
16~22mm。
[0012]在上述方案中，所述非线性晶体采用
KTP
或
LBO
进行二倍频
。
[0013]在上述方案中，所述全反射腔镜
、
振荡器聚光腔之间还设有电光调
Q
装置
。
[0014]在上述方案中，所述第一主放大器和第二主放大器之间还设有
90
°
石英旋光片
。
[0015]在上述方案中，所述预放聚光腔和法拉第隔离器之间还设有第一反射镜和第二反射镜，用于改变所述激光的反射路径
。
[0016]在上述方案中，所述扩束系统和所述第一主放大器之间还设有第三反射镜和第四反射镜
。
[0017]本专利技术采用的技术方案能够达到以下有益效果：增加扩束系统，能够使激光的光路口径匹配不同的放大器，以便于后续提高激光的能量和功率，并通过非线性晶体将激光二倍频后通过分光镜将激光输出，并且保证了激光器能够全天稳定运行
。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，构成本专利技术的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定
。
在附图中：图1为本专利技术实施例公开的大能量纳秒脉冲激光器的示意图
。
[0019]具体包括下述附图标记：全反射腔镜
‑
10
；激光输出镜
‑
11
；振荡器聚光腔
‑
20
；预放聚光腔
‑
21
；扩束系统
‑
30
；非线性晶体
‑
40
；法拉第隔离器
‑
50
；第一主放大器
‑
60
；第二主放大器
‑
61
；
90
°
石英旋光片
‑
62
；电光调
Q
装置
‑
70
；第一反射镜
‑
80
；第二反射镜
‑
81
；第三反射镜
‑
82
；第四反射镜
‑
83
；第一分光镜
‑
90
；第二分光镜
‑
91。
具体实施方式
[0020]为使本专利技术的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术具体实施例及相应的附图对本专利技术技术方案进行清楚
、
完整地描述
。
显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围
。
[0021]如图1所示，本专利技术提供的大能量纳秒脉冲激光器为侧泵激光器，包括：全反射腔镜
10、
振荡器聚光腔
20、
激光输出镜
11、
预放聚光腔
21、
扩束系统
30、
非线性晶体
40
和分光镜
。
[0022]全反射腔镜
10
和激光输出镜
11
构成光学谐振腔，激光经过光学谐振腔产生，光学谐振腔用于提供光学反馈，使工作物质粒子跃迁进行持续的受激辐射；振荡器聚光腔
20
设置在光学谐振腔内，振荡器聚光腔
20
内设有增益介质；预放聚光腔
21
内设有增益介质；扩束系统
30
用于改变激光的光斑直径；非线性晶体
40
用于将激光二倍频；分光镜至少设有两个，
用于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种大能量纳秒脉冲激光器，其特征在于，包括：全反射腔镜
、
振荡器聚光腔
、
激光输出镜
、
预放聚光腔
、
扩束系统
、
非线性晶体和分光镜；所述全反射腔镜和激光输出镜构成光学谐振腔，激光经过所述光学谐振腔产生；所述振荡器聚光腔设置在所述光学谐振腔内，所述振荡器聚光腔内设有增益介质；所述预放聚光腔内设有增益介质；所述扩束系统用于改变所述激光的光斑直径；所述非线性晶体用于将所述激光二倍频；所述分光镜至少设有两个，用于将所述激光分光并输出
。2.
根据权利要求1所述的大能量纳秒脉冲激光器，其特征在于，所述全反射腔镜为二元光学蜂巢镜
。3.
根据权利要求1所述的大能量纳秒脉冲激光器，其特征在于，所述振荡器聚光腔和所述预放聚光腔内的所述增益介质的直径不超过
10mm。4.
根据权利要求1所述的大能量纳秒脉冲激光器，其特征在于，所述预放聚光腔和所述扩束系统之间还设有法拉第隔离器，用于限定所述激光沿所述扩束系统方向传输
。5.
根据权利要求1所述的大能量纳秒...

【专利技术属性】
技术研发人员：王涛，陈然，王伟，
申请(专利权)人：西安卓镭激光技术有限公司，
类型：发明
国别省市：