用于在真空腔室中运输物体的载体制造技术

描述了一种用于在真空腔室中运输物体

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在真空腔室中运输物体的载体、制造载体的方法、载体运输系统和真空处理设备


[0001]本公开内容的实施方式涉及用于运输载体
、
特别是用于承载大面积基板的载体的设备和方法
。
更特定地，本公开内容的实施方式涉及用于运输载体的设备和方法，该设备和方法可采用在用于竖直基板处理
(
例如，在大面积基板上沉积材料来进行显示器生产
)
的处理设备中
。
特别地，本公开内容的实施方式涉及载体运输系统
、
真空处理设备和在真空腔室中运输载体的方法
。

技术介绍

[0002]为了处理基板，可使用直列处理模块布置
。
直列处理系统包括多个相继的处理模块
(
诸如沉积模块
)
，以及任选地另外的处理模块
(
诸如清洁模块和
/
或蚀刻模块
)
，其中处理方面在处理模块中相继进行，使得可在直列处理系统中连续地或准连续地处理多个基板
。
[0003]基板典型地由载体
(
即，用于承载基板的承载装置
)
承载
。
典型地使用载体运输系统将载体运输通过真空系统
。
载体运输系统可被配置用于沿一个或多个运输路径运输承载基板的载体
。
[0004]为了获得高质量装置，需要解决关于基板的处理的技术挑战
。
特别地，将载体准确地且平滑地运输通过真空系统是有挑战性的
。
例如，因移动零件的磨损而引起的颗粒产生可能导致制造工艺的劣化
。
因此，需求是在真空沉积系统中运输载体而减少或最小化颗粒产生
。
另外的挑战是例如以低成本提供用于高温真空环境的稳健
、
简单且紧凑的载体运输系统
。
[0005]典型地，载体可由辊引导，并且在辊上的载荷越强，颗粒产生的风险就越大，并且辊的寿命就越短
。
完全非接触浮动载体运输系统是复杂且昂贵的
。
利用永磁体的磁悬浮系统难以实现
。
至少一个自由度必须被机械地稳定或用导向元件稳定以克服恩肖定理
。
[0006]因此，一种对载体
、
特别是竖直取向的载体进行引导以补偿重力来尽可能最小化机械元件上的力的简单且紧凑的布置将是有益的
。
最小化机械元件上的力可减少在载体运输期间的颗粒的产生并可提高机械元件的寿命
。
[0007]然而，已经发现，载体和包括非接触磁运输装置的运输系统在耐用性和成本方面仍可改善
。

技术实现思路

[0008]鉴于上文，提供了根据独立权利要求的用于在真空腔室中运输物体的载体
、
用于在真空腔室内运输载体的载体运输系统
、
用于基板的真空处理的设备
、
制造用于运输物体的载体的方法和制造涂覆的基板的方法
。
另外的方面
、
优点和特征从从属权利要求
、
说明书和附图中显而易见
。
[0009]根据本公开内容的一方面，提供了一种用于在真空腔室中运输物体的载体
。
该载体包括第一被动磁单元，该第一被动磁单元设置在载体的顶部处
。
附加地，该载体包括第二
被动磁单元，该第二被动磁单元设置在载体的底部或侧向侧
(lateral side)
处
。
第一被动磁单元和第二被动磁单元中的至少一者包括磁体保持器，该磁体保持器具有多个凹陷部，该多个凹陷部布置在相对于磁体保持器的纵向延度的横向方向上
。
附加地，第二被动磁单元包括多个永磁体，该多个永磁体布置在多个凹陷部中
。
另外，第二被动磁单元包括保持片，该保持片覆盖多个永磁体
。
[0010]根据本公开内容的另一方面，提供了一种用于在真空腔室内运输载体的载体运输系统
。
该载体运输系统包括磁悬浮单元，该磁悬浮单元在运输方向上延伸
。
磁悬浮单元被配置用于对载体施加悬浮力
。
附加地，该载体运输系统包括磁驱动单元，该磁驱动单元具有多个主动磁体，该多个主动磁体用于在运输方向上对载体施加驱动力
。
另外，该载体运输系统包括根据本文所述的任何实施方式的载体
。
[0011]根据本公开内容的又一方面，提供了一种用于基板的真空处理的设备
。
该设备包括：真空腔室；处理装置，该处理装置设置在真空腔室中；以及根据本文所述的任何实施方式的载体运输系统
。
[0012]根据本公开内容的另一方面，提供了一种制造用于运输物体的载体的方法
。
该方法包括将第一被动磁单元固定到载体的主体的顶部
。
主体具有保持区段，该保持区段被配置用于竖直地保持扁平物体
。
另外，该方法包括将第二被动磁单元固定到载体主体的底部或侧向侧
。
第一被动磁单元和第二被动磁单元中的至少一者包括磁体保持器，该磁体保持器具有多个凹陷部，该多个凹陷部布置在相对于磁体保持器的纵向延度的横向方向上
。
附加地，第一被动磁单元和第二被动磁单元中的至少一者包括多个永磁体，该多个永磁体布置在多个凹陷部中
。
另外，第一被动磁单元和第二被动磁单元中的至少一者包括保持片，该保持片覆盖多个永磁体
。
[0013]根据本公开内容的又一方面，提供了一种涂覆基板
、
特别是涂覆用于制造电子装置的基板的方法
。
电子装置可以是光电装置，例如显示器
。
该涂覆基板的方法包括使用根据本文所述的任何实施方式的载体
、
根据本文所述的任何实施方式的基板处理系统
、
根据本文所述的任何实施方式的载体运输系统和根据本文所述的任何实施方式的用于基板的真空处理的设备中的至少一者
。
[0014]实施方式还涉及用于进行所公开的方法的设备并包括用于执行每个所述的方法方面的设备部分
。
这些方法方面可借助于硬件部件
、
由适当软件编程的计算机
、
这两者的任何组合或以任何其他方式执行
。
此外，根据本公开内容的实施方式还涉及用于操作所述的设备的方法
。
用于操作所述的设备的方法包括用于进行该设备的每
‑
功能的方法方面
。
附图说明
[0015]为了可详细地理解本公开内容的上文记载的特征，可参考实施方式来得到上文简要地概述的本公开内容的更特别的描述
。
附图涉及本公开内容的实施方式并描述如下：
[001本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种用于在真空腔室中运输物体
(10)
的载体
(100)
，包括：
‑
第一被动磁单元
(110)
，所述第一被动磁单元设置在所述载体
(100)
的顶部
(101)
处；以及
‑
第二被动磁单元
(120)
，所述第二被动磁单元设置在所述载体
(100)
的底部
(102)
或侧向侧处，所述第一被动磁单元
(110)
和所述第二被动磁单元
(120)
中的至少一者包括：
‑
磁体保持器
(121)
，所述磁体保持器具有多个凹陷部
(122)
，所述多个凹陷部布置在相对于所述磁体保持器
(10)
的纵向延度
(L)
的横向方向上，
‑
多个永磁体
(123)
，所述多个永磁体布置在所述多个凹陷部
(122)
中，以及
‑
保持片
(124)
，所述保持片覆盖所述多个永磁体
(123)。2.
根据权利要求1所述的载体
(100)
，其中所述多个凹陷部
(122)
提供多个突出部
(125)
，从而防止所述多个永磁体
(123)
在所述载体的运输方向
(T)
上或与所述运输方向相反地移位
。3.
根据权利要求1或2所述的载体
(100)
，其中所述保持片
(124)
稳固所述多个永磁体
(123)
的竖直位置
。4.
根据权利要求1至3中任一项所述的载体
(100)
，其中所述保持片
(124)
固定到所述磁体保持器
(121)。5.
根据权利要求1至4中任一项所述的载体
(100)
，其中所述磁体保持器
(121)
由铁磁材料
、
特别是铁磁不锈钢制成
。6.
根据权利要求1至5中任一项所述的载体
(100)
，其中所述磁体保持器
(121)
是单件结构，并且特别地其中所述多个突出部
(125)
被机加工于所述单件结构中
。7.
根据权利要求1至6中任一项所述的载体
(100)
，其中所述多个凹陷部
(122)
提供多个突出部
(125)
，所述多个突出部具有突出部高度
H
P
，其中所述突出部高度
H
P
是
H
P
≤0.2
×
H
M
，其中
H
M
是所述永磁体
(123)
的高度，特别地
H
P
≤0.15
×
H
M
，更特别地
H
P
≤0.10
×
H
M
。8.
根据权利要求1至7中任一项所述的载体
(100)
，其中所述多个凹陷部
(122)
设置在所述磁体保持器
(121)
的第一侧
(121A)、
特别是所述磁体保持器的底侧上，并且其中所述磁体保持器
(121)
的与所述第一侧
(121A)
相对的第二侧
(121B)
包括多个接收部
(126)
以用于接收所述保持片
(124)
的翼片来将所述保持片
(124)
固定到所述磁体保持器
。9.
根据权利要求1至8中任一项所述的载体
(100)
，其中所述保持片
(124)
由非铁磁材料
、
特别是非铁磁不锈钢制成
。10.
根据权利要求1至9中任一项所述的载体
(100)
，其中所述磁体保持器
(121)
附接到所述载体
(10)
的主体
(103)
的底部
(10...

【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯蒂安，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：