电铸模具的制造方法及光掩模技术

为了防止光致抗蚀剂层的图案中的角部的尖端变钝，光掩模

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电铸模具的制造方法及光掩模


[0001]本专利技术涉及一种电铸模具的制造方法及光掩模
。

技术介绍

[0002]例如，通过电铸
(
电铸造；通过电镀法制造
、
修理或复制金属制品的方法
)
来制造钟表的部件等微小形状的结构件
。
在通过电铸制造部件
(
电铸品
)
的情况下，在基板上形成光致抗蚀剂层，并通过在该光致抗蚀剂层上形成可溶部和不溶部的图案来制造电铸模具
(
例如，参照专利文献
1)。
[0003]基于可溶部和不溶部的图案的电铸模具有如下的形成方法，即，使用由遮光部和透光部形成有图案的光掩模并照射光来形成的方法；也有不使用光掩模，通过扫描激光对与不溶部对应的区域进行照射来形成的方法等
。
[0004]以往技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本专利第
4550569
号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的问题
[0008]可是，光致抗蚀剂层在曝光的工序或化学放大抗蚀剂的情况下的曝光后的
PEB(PostExposureBake
：曝光后
、
显影前的烘烤
)
的工序中，存在稍微变形，电铸模具中的角部变钝的现象
。
也就是，角部的尖端变圆，分辨率
(
尖锐度
)
下降
。<br/>因此，在使用电铸模具制造的电铸品中，有时角部的尖端形状的再现性会下降
。
[0009]本专利技术是鉴于上述情况而形成的，其目的在于，提供一种能够防止光致抗蚀剂层的图案中的角部的尖端变钝的电铸模具的制造方法及光掩模
。
[0010]用于解决问题的手段
[0011]本专利技术的第一方面是一种电铸模具的制造方法，在层叠于基板而形成的光致抗蚀剂层上形成由可溶部和不溶部构成的图案，除去所述可溶部从而形成空洞，其中，在所述可溶部形成角部时，在隔着所述可溶部的角部的顶点与所述可溶部的角部相对的区域形成抑制所述可溶部的角部的尖锐度下降的可溶部角修正部
。
[0012]本专利技术的第二方面是一种电铸模具的制造方法，在层叠于基板而形成的光致抗蚀剂层上形成由可溶部和不溶部构成的图案，除去所述可溶部从而形成空洞，其中，在所述不溶部形成角部时，在隔着所述角部的顶点与所述角部相对的区域形成抑制所述角部的尖锐度下降的不溶部角修正部
。
[0013]本专利技术的第三方面是一种光掩模，用于在层叠于基板而形成的光致抗蚀剂层上形成由可溶部和不溶部构成的图案，其中，形成有由遮光部和透光部构成的图案，在所述遮光部形成角部时，在隔着所述遮光部的角部的顶点与所述遮光部的角部相对的区域形成了抑制所述遮光部的角部的尖锐度下降的遮光部角修正部
。
[0014]本专利技术的第四方面是一种光掩模，用于在层叠于基板而形成的光致抗蚀剂层上形成由可溶部和不溶部构成的图案，其中，形成有由遮光部和透光部构成的图案，在所述透光部形成角部时，在隔着所述透光部的角部的顶点与所述透光部的角部相对的区域形成了抑制所述透光部的角部的尖锐度下降的透光部角修正部
。
[0015]专利技术的效果
[0016]根据本专利技术的电铸模具的制造方法及光掩模，能够防止光致抗蚀剂层的图案中的角部的尖端变钝
。
附图说明
[0017]图1是示意性地示出适用了电铸模具的制造方法的一个示例的电铸品的制造方法的流程的剖面图
。
[0018]图2是在图1所示的电铸模具的制造方法中以往使用的一个示例的光掩模的俯视图
。
[0019]图3是在图1所示的电铸模具的制造方法中所使用的本专利技术的光掩模的一实施方式的俯视图
。
[0020]图4是示意性地表示在使用了以往的光掩模的电铸模具的制造方法中在光致抗蚀剂层的空洞中所形成的角部的样子的图
。
[0021]图5是示意性地表示在使用了以往的光掩模的电铸模具的制造方法中在光致抗蚀剂层的不溶部所形成的角部的样子的图
。
[0022]图6是示意性地示出与光掩模的遮光部的角部相对而形成的遮光部角修正部的详细情况的图
。
[0023]图7是示意性地示出与光掩模的透光部的角部相对而形成的透光部角修正部的详细情况的图
。
[0024]图8是示意性地表示在使用了本实施方式的光掩模的电铸模具的制造方法中在光致抗蚀剂层的空洞中所形成的角部的样子的图
。
[0025]图9是示意性地表示在使用了本实施方式的光掩模的电铸模具的制造方法中在光致抗蚀剂层的不溶部所形成的角部的样子的图
。
[0026]图
10
是说明通过根据使用了本实施方式的光掩模的电铸模具的制造方法所制造的电铸模具而制造的电铸品的效果的图
(
其
1)。
[0027]图
11
是说明通过根据使用了本实施方式的光掩模的电铸模具的制造方法所制造的电铸模具而制造的电铸品的效果的图
(
其
2)。
[0028]图
12
是说明通过根据使用了本实施方式的光掩模的电铸模具的制造方法所制造的电铸模具而制造的电铸品的效果的图
(
其
3)。
[0029]图
13
是说明通过根据使用了本实施方式的光掩模的电铸模具的制造方法所制造的电铸模具而制造的电铸品的效果的图
(
其
4)。
[0030]图
14
是说明通过根据使用了本实施方式的光掩模的电铸模具的制造方法所制造的电铸模具而制造的电铸品的效果的图
(
其
5)。
具体实施方式
[0031]以下，针对本专利技术的电铸模具的制造方法及光掩模的实施方式，使用附图进行说明
。
[0032]图1是示意性地示出电铸品
200
的制造方法的一个示例的流程的剖面图，图2是在图1所示的电铸品
200
的制造方法中以往使用的一个示例的光掩模
180
的俯视图，图3是在图1所示的电铸品
200
的制造方法中所使用的本专利技术的光掩模的一实施方式的俯视图
。
[0033]此外，在图1所示的电铸品
200
的制造方法中，使用了光掩模
80
的是适用了本专利技术的电铸模具的制造方法的一实施方式的电铸品
200
的制造方法，使用了光掩模
180
的是适用了以往电铸模具的制造方法的一个示例的电铸品
200
的制造方法
。
[0034]如图1所示，电铸品
200
的制造方法是在基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种电铸模具的制造方法，在层叠于基板而形成的光致抗蚀剂层上形成由可溶部和不溶部构成的图案，除去所述可溶部从而形成空洞，其中，在所述可溶部形成角部时，在隔着所述可溶部的角部的顶点与所述可溶部的角部相对的区域形成抑制所述可溶部的角部的尖锐度下降的可溶部角修正部
。2.
根据权利要求1所述的电铸模具的制造方法，其中，在所述不溶部形成角部时，在隔着所述不溶部的角部的顶点与所述不溶部的角部相对的区域形成抑制所述不溶部的角部的尖锐度下降的不溶部角修正部
。3.
一种电铸模具的制造方法，在层叠于基板而形成的光致抗蚀剂层上形成由可溶部和不溶部构成的图案，除去所述可溶部从而形成空洞，其中，在所述不溶部形成角部时，在隔着所述角部的顶点与所述角部相对的区域形成抑制所述角部的尖锐度下降的不溶部角修正部
。4.

【专利技术属性】
技术研发人员：佐佐木阳介，
申请(专利权)人：西铁城时计株式会社，
类型：发明
国别省市：