弹性波装置制造方法及图纸

本公开的弹性波装置具备包括在第一方向上具有厚度方向的支承基板的支承构件

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置


[0001]本公开涉及具有压电层的弹性波装置
。

技术介绍

[0002]例如，在专利文献1中公开了具备支承基板
、
薄膜
、
压电基板及
IDT
电极的弹性波装置
。
支承基板在上表面具有凹部
。
薄膜配置在支承基板上
。
压电基板具有第一主面
、
以及与第一主面对置的第二主面，第一主面侧配置在薄膜上
。IDT
电极设置在压电基板的第二主面上
。
形成有由支承基板和薄膜及压电基板中的至少薄膜包围的空洞
。
在压电基板的第一主面上的区域并且是隔着薄膜而与支承基板接合的区域
、
以及空洞的上方的区域中的至少一部分区域配置有薄膜
。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第
2016/147687
号

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]近年来，谋求能够抑制特性的劣化的弹性波装置
。
[0008]本公开的目的在于，提供一种能够抑制特性的劣化的弹性波装置
。
[0009]用于解决问题的手段
[0010]本公开的一方式的弹性波装置具备：
[0011]支承构件，其包括在第一方向上具有厚度方向的支承基板；
[0012]压电层，其设置在所述支承构件上；以及
[0013]多个谐振器，其分别具有设置于所述压电层的功能电极，
[0014]在所述支承构件，在沿所述第一方向俯视时与所述多个谐振器各自的至少一部分重叠的位置设置有空洞部，
[0015]所述多个谐振器包括相邻配置的第一谐振器和第二谐振器，
[0016]在所述压电层的所述第一谐振器与所述第二谐振器之间，设置有到达所述空洞部的贯通孔
。
[0017]专利技术效果
[0018]根据本公开，能够提供能够抑制特性的劣化的弹性波装置
。
附图说明
[0019]图
1A
是示出第一方式
、
第二方式的弹性波装置的外观的简图的立体图
。
[0020]图
1B
是示出压电层上的电极构造的俯视图
。
[0021]图2是沿着图
1A
中的
A
‑
A
线的部分的剖视图
。
[0022]图
3A
是用于说明在以往的弹性波装置的压电膜传播的兰姆波的示意性主视剖视
图
。
[0023]图
3B
是用于说明本公开的弹性波装置的波的示意性主视剖视图
。
[0024]图4是示出在第一电极与第二电极之间施加了第二电极与第一电极相比成为高电位的电压的情况下的体波的示意图
。
[0025]图5是示出本公开的第一实施方式的弹性波装置的谐振特性的图
。
[0026]图6是示出
d/2p
与作为弹性波装置的谐振器的分数带宽之间的关系的图
。
[0027]图7是本公开的第一实施方式的另一弹性波装置的俯视图
。
[0028]图8是示出弹性波装置的谐振特性的一例的参考图
。
[0029]图9是示出构成了许多弹性波谐振器的情况下的分数带宽与作为杂散的大小的以
180
度标准化的杂散的阻抗的相位旋转量之间的关系的图
。
[0030]图
10
是示出
d/2p、
金属化率
MR
以及分数带宽之间的关系的图
。
[0031]图
11
是示出使
d/p
无限接近于0的情况下的分数带宽相对于
LiNbO3的欧拉角
(0
°
，
θ
，
ψ
)
的映射的图
。
[0032]图
12
是用于说明本公开的第一实施方式的弹性波装置的局部截切立体图
。
[0033]图
13
是本公开的第二实施方式的弹性波装置的概要俯视图
。
[0034]图
14
是沿
A
‑
A
线切断图
13
的弹性波装置而得到的概要剖视图
。
[0035]图
15
是变形例1的弹性波装置的概要俯视图
。
[0036]图
16
是沿
B
‑
B
线切断图
15
的弹性波装置而得到的概要剖视图
。
[0037]图
17
是变形例2的弹性波装置的概要俯视图
。
[0038]图
18
是沿
C
‑
C
线切断图
17
的弹性波装置而得到的概要剖视图
。
[0039]图
19
是变形例3的弹性波装置的概要俯视图
。
[0040]图
20
是沿
D
‑
D
线切断图
19
的弹性波装置而得到的概要剖视图
。
[0041]图
21
是变形例4的弹性波装置的概要俯视图
。
[0042]图
22
是变形例5的弹性波装置的概要俯视图
。
[0043]图
23
是本公开的第三实施方式的弹性波装置的概要俯视图
。
[0044]图
24
是沿
E
‑
E
线切断图
23
的弹性波装置而得到的概要剖视图
。
[0045]图
25
是变形例6的弹性波装置的概要俯视图
。
[0046]图
26
是变形例7的弹性波装置的概要俯视图
。
[0047]图
27
是其他实施方式的弹性波装置的概要剖视图
。
具体实施方式
[0048]本公开中的第一方式
、
第二方式
、
第三方式的弹性波装置具备包括铌酸锂或钽酸锂的压电层
、
以及在与压电层的厚度方向交叉的方向上对置的第一电极及第二电极
。
[0049]在第一方式的弹性波装置中，利用厚度剪切一阶模式的体波
。
[0050]另外，在第二方式的弹性波装置中，第一电极及所述第二电极是相邻的电极彼此，在将压电层的厚度设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种弹性波装置，具备：支承构件，其包括在第一方向上具有厚度方向的支承基板；压电层，其设置在所述支承构件上；以及多个谐振器，其分别具有设置于所述压电层的功能电极，在所述支承构件，在沿所述第一方向俯视时与所述多个谐振器各自的至少一部分重叠的位置设置有空洞部，所述多个谐振器包括相邻配置的第一谐振器和第二谐振器，在所述压电层的所述第一谐振器与所述第二谐振器之间，设置有到达所述空洞部的贯通孔
。2.
根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述第一谐振器和所述第二谐振器设置在同一压电层上
。3.
根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述贯通孔包括设置在所述第一谐振器与所述第二谐振器之间的第一贯通孔和第二贯通孔
。4.
根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，在沿所述第一方向俯视时，所述第一贯通孔的开口面积与所述第二贯通孔的开口面积不同
。5.
根据权利要求3或4所述的弹性波装置，其中，在从所述第一谐振器与所述第二谐振器相邻的方向观察时，所述第一贯通孔与所述第二贯通孔设置在不重叠的位置
。6.
根据权利要求3或4所述的弹性波装置，其中，在从所述第一谐振器与所述第二谐振器相邻的方向观察时，所述第一贯通孔与所述第二贯通孔设置在重叠的位置
。7.
根据权利要求1至6中任一项所述的弹性波装置，其中，所述空洞部包括在沿所述第一方向俯视时设置在与所述第一谐振器的至少一部分重叠的位置的第一空洞部以及在沿所述第一方向俯视时设置在与所述第二谐振器的至少一部分重叠的位置的第二空洞部，所述第一空洞部和所述第二空洞部由所述支承构件的一部分划分
。8.
根据权利要求1至6中任一项所述的弹性波装置，其中，所述空洞部是在沿所述第一方向俯视时设置在与所述第一谐振器及所述第二谐振器的至少一部分重叠的位置的一个空洞部
。9.
根据权利要求1至8中任一项所述的弹性波装置，其中，所述贯通孔的总数是偶数
。10.
根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，设置于将所述第一谐振器与所述第二谐振器之间划分的划分假想线的一侧的贯通孔的数量与设置于所述划分假想线的另一侧的贯通孔的数量相同
。11.
根据权利要求9或
10
所述的弹性波装置，其中，所述空洞部在所述支承构件与所述压电层之间，包括在沿所述第一方向俯视时设置在与所述多个谐振器各自的至少一部分重叠的位置的多个空洞部，
所述弹性波装置还具备引出通路，该引出通路设置于所述支承构件，使所述多个空洞部中的至少两个空洞部连通，所述引出通路在沿所述第一方向俯视时设置在与所述多个空洞部不重叠的位置，所述贯通孔包括在沿所述第一方向俯视时贯穿与所述引出线重叠的位置的所述压电层的贯通孔
。12.
根据权利要求
11
所述的弹性波装置，其中，所述引出通路具有将在沿所述第一方向俯视时设置在与相邻的多个谐振器重叠的位置的多个空洞部连接的路径
。13.
根据权利要求1至
12
中任一项所述的弹性波装置，其中，所述功能电极具有第一汇流条
、
与所述第一汇流条对置的第二汇流条
、
设置于所述第一汇流条并朝向所述第二汇流条延伸的一个以上的第一电极指以及设置于所述第二汇流条并朝向所述第一汇流条延伸的一个以上的第二电极指，所述一个以上的第一电极指及所述一个以上的第二电极指沿着与所述第一方向交叉的第二方向延伸，并且在从与所述第二方向正交的第三方向观察时重合地配置，所述贯通孔在沿所述第一方向俯视时，设置在穿过所述一个以上的第一电极指的前端的第一假想线与穿过所述一个以上的第二电极指的前端的第二假想线之间
。14.
根据权利要求
13
所述的弹性波装置，其中，在所述第一谐振器中与相邻于所述第二谐振器的一侧相反的一侧，设置有到达所述空洞部的第三贯通孔，在所述第二谐振器中与相邻于所述第一谐振器的一侧相反的一侧，设置有到达所述空洞部的第四贯通孔，所述第三贯通孔和所述第四贯通孔在沿所述第一方向俯视时设置在所述第一假想线与所述第二假想线之间
。15.
根据权利要求
13
或
14
所述的弹性波装置，其中，在将所述一个以上的第一电极指和所述一个以上的第二电极指中的相邻的第一电极指与第二电极指之间的中心间距离设为
p
的情况下，所述压电层的厚度为

【专利技术属性】
技术研发人员：木村哲也，山崎央，铃木胜己，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：