一种铜锌合金背板的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种铜锌合金背板的制备方法

【技术实现步骤摘要】
一种铜锌合金背板的制备方法、铜锌合金背板及其应用


[0001]本专利技术属于溅射靶材用背板的制造
，涉及一种铜锌合金背板的制备方法
、
铜锌合金背板及其应用
。

技术介绍

[0002]在半导体芯片生产中，高纯钛溅射靶材是一种极其重要的材料，一般由钛靶坯和背板构成
。
钛靶坯直接参与溅射镀膜，背板则在溅射镀膜过程中起到支撑
、
安装
、
冷却等作用，采用铜合金制造，以节约制造成本
。
钛靶坯在加工
、
焊接成型时回弹能力较大，不易焊接
。
因此，为了提高钛溅射靶材的焊接合格率，要求铜合金背板硬度适中，内部组织均匀，一般选用铜锌合金加工高纯钛溅射靶材背板
。
[0003]CN113106362A
提供了一种具有凹面的靶材背板的制造方法，该方法是在真空环境或惰性气体环境中对平板坯料进行退火，退火温度
380℃
至
860℃
，退火时间为
0.4h
至...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种铜锌合金背板的制备方法，其特征在于，所述的制备方法包括：
(Ⅰ)
提供铜锌合金坯料；
(Ⅱ)
对所述坯料进行至少一次的热锻处理，得到中间料锭；
(Ⅲ)
对所述中间料锭依次进行一段热处理
、
压延处理与二段热处理，得到粗型合金背板
。2.
根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤
(Ⅰ)
中，所述铜锌合金坯料的组分包括：
59
～
62wt
％的铜
、0.5
～
1.0wt
％的锡，余量为锌；优选地，所述坯料的制作方法包括：按照金属成分质量百分比配料后，放入连续铸造炉中，采用中频感应熔炼，金属全熔后连续铸造为棒状坯料；优选地，所述棒状坯料的长径比为
1:(0.8
～
1.5)。3.
根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤
(Ⅱ)
中，所述热锻处理包括：对所述坯料依次进行预热处理与至少一次连续锻打处理；优选地，所述预热处理的温度为
700
～
850℃
；优选地，将所述坯料置于电阻炉内进行预热处理；优选地，采用空气锤对所述坯料进行连续锻打处理
。4.
根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述连续锻打处理采用如下方式：将所述坯料拔长至初始长度的
130
～
160
％，再墩粗至初始长度；优选地，所述连续锻打处理重复至少三次；优选地，相邻两次所述连续锻打处理中拔长的长度呈依次递减；优选地，所述中间料锭的厚度为所述坯料初始厚度的
1/2
～
2/3
；优选地，所述制备...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，周友平，陈勇军，庞学功，陆彤，
申请(专利权)人：丹东华强有色金属加工有限公司，
类型：发明
国别省市：