一种涂胶显影机的加热装置及其加热方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于半导体光刻技术领域，公开了一种涂胶显影机的加热装置及其加热方法，包括防护壳

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影机的加热装置及其加热方法


[0001]本专利技术涉及半导体光刻
，具体为一种涂胶显影机的加热装置及其加热方法
。

技术介绍

[0002]随着国内集成电路中图像识别产业的不断快速发展，国内传统的二线芯片厂家及一些军工研究所也不断发展新工艺，而这就带来比较大的设备需求，涂胶显影机是一种具备涂胶工序的印刷处理设备，有着极为广泛的应用，涂胶显影机在进行涂胶时一般采用布辊输送，之后进行均匀涂胶，为了使工作效率更快，需要使用到加热设备
。
[0003]但现有的加热装置在使用时，通常使用加热板或者加热丝进行传导加热，造成在进行加工时，加热板或者加热丝加热区域不能根据晶圆大小进行调节，浪费大量电力，并且晶圆与加热板接触的过程中容易吸附加热板上的污染物，造成晶圆的污染
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种涂胶显影机的加热装置及其加热方法，解决了现有加热装置不能根据晶圆大小调整加热区域造成电能浪费和晶圆在加热时吸附灰尘的问题
。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种涂胶显影机的加热装置，包括防护壳
、
位于防护壳顶部的若干个第一透气孔
、
位于防护壳前侧的控制面板和安装在防护壳内部的气泵，所述防护壳内部为空腔结构，防护壳内部从上至下依次安装有第一隔板
、
第二隔板
、
第三隔板和第四隔板，所述防护壳前端面安装有雷达感应器，所述雷达感应器下方安装有开合机构，所述第一隔板上开设有若干第二透气孔，第一隔板上安装有若干个加热棒，所述第二隔板上安装有升降机构
。
[0006]优选的，所述开合机构包括两个电动伸缩杆和两个第一滑轨，两个所述电动伸缩杆对称固定安装在防护壳外壁上，电动伸缩杆上端面固定安装有第二齿条，所述第二齿条外壁滑动安装有第二滑轨，所述第二滑轨固定安装在防护壳外壁上，所述第二齿条远离第二滑轨一侧啮合有第一齿轮，所述第一齿轮一侧转动安装有固定块，所述固定块固定安装在防护壳外壁上，固定块之间安装有门，且门两端贯穿固定块固定安装在第一齿轮上，所述第二齿条外壁安装有滑板，且滑板位于第二滑轨上方，所述滑板外壁开设有滑槽
。
[0007]优选的，所述第一滑轨对称固定安装在防护壳外壁上，所述第一滑轨内壁滑动安装有第一齿条，所述第一齿条远离防护壳一侧外壁上转动安装有圆销，所述圆销滑动安装在滑槽内，所述第一齿条上端啮合有相同间隔分布的若干个第二齿轮，所述第二齿轮之间固定安装有第一圆杆，所述第一圆杆外壁上安装有挡板，所述第一圆杆和第一透气孔转动连接
。
[0008]优选的，所述升降机构包括若干个气缸，所述气缸外壁固定安装在第二隔板上，气缸下端贯穿第三隔板安装有柔性压力传感器，气缸外壁安装有气管，所述气管下端贯穿第四隔板与气泵连通
。
[0009]优选的，所述气缸内部滑动安装有顶杆，所述顶杆上端面对称开设有第三透气孔，所述第三透气孔内壁上开设有限位槽，所述顶杆内部底壁上安装有弹簧，所述弹簧上端面安装有支撑座，所述支撑座外壁上对称安装有凸块，支撑座外壁上开设有通孔，且通孔位于凸块之间，所述通孔内滑动安装有拉簧，所述拉簧两端对应限位槽处安装有滑块
。
[0010]优选的，所述支撑座与加热棒一一对应
。
[0011]优选的，所述一种涂胶显影机加热装置的加热方法，包括以下步骤：
[0012]第一步：当晶圆需要加工时，雷达感应器反馈控制面板，此时开合机构工作，打开门让机械手把晶圆放入防护壳内部，此时第一透气孔打开，放出防护壳内蒸汽和灰尘，机械手收回时，雷达感应器反馈控制面板，门关闭，此时第一透气孔被挡板关闭，防止灰尘进入；
[0013]第二步：当晶圆放好后，由于自身重力会挤压下方接触的支撑座，支撑座通过凸块挤压滑块关闭第三透气孔，此时气泵工作，使晶圆下方的支撑座上升，同时由于气缸内部压力变大会挤压柔性压力传感器，柔性压力传感器反馈控制面板使上方对应的加热棒工作，从而实现根据晶圆大小自行调节加热区域，并且加热过程中晶圆与加热棒不直接接触，防止污染
。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
[0015]一
、
本专利技术通过设置开合机构，当电动伸缩杆伸出时，电动伸缩杆带动第二齿条在第二滑轨上滑动，第二齿条使第一齿轮进行转动，第一齿轮带动门进行翻转，此时门打开，同时第二齿条带动滑板上升，滑板带动滑槽上升，滑槽内部的圆销带动第一齿条会在第一滑轨上滑动，第一齿条使第二齿轮旋转，第二齿轮通过第一圆杆带动挡板旋转，使第一透气孔打开，然后气泵工作，气体经过气管进入到气缸内，气缸内的气体通过顶杆上开设的第三透气孔排出，对防护壳内加热产生的蒸汽和落入的灰尘从第二透气孔和第一透气孔排出，保持防护壳内的干燥，防止蒸汽和灰尘落在晶圆上；
[0016]二
、
本专利技术通过设置升降机构，当晶圆挤压支撑座时，支撑座带动凸块向下滑动，并挤压弹簧，凸块挤压滑块，滑块会进入到限位槽内，此时第三透气孔被关闭，气泵开始工作，气体经过气管进入到气缸内，由于晶圆下方顶杆上开设的第三透气孔被堵死，顶杆会带动晶圆上升，使其靠近加热棒，能够使加热速度更快，当顶杆上升最高时，气缸内部压力变大，挤压下方的柔性压力传感器，柔性压力传感器反馈控制面板，控制面板控制上方对应的加热棒工作，此时气管内电磁阀关闭，顶杆保持不动，此过程可以根据晶圆大小不同，使上方对应的加热棒工作，节约电能
。
附图说明
[0017]图1为本专利技术结构示意图；
[0018]图2为本专利技术剖视图；
[0019]图3为本专利技术去掉防护壳示意图；
[0020]图4为本专利技术开合机构示意图；
[0021]图5为图4中
A
处的放大示意图；
[0022]图6为本专利技术升降机构示意图；
[0023]图7为图6中
B
处的放大示意图；
[0024]图8为图6另一视角示意图；
[0025]图9为本专利技术顶杆剖视图；
[0026]图
10
为本专利技术支撑座示意图
。
[0027]图中：
1、
防护壳；
2、
雷达感应器；
3、
控制面板；
4、
第一透气孔；
5、
第一隔板；
6、
气泵；
7、
第二透气孔；
8、
第二隔板；
9、
第三隔板；
10、
第四隔板；
11、
加热棒；
100、
开合机构；
200、
升降机构；
101、
电动伸缩杆；
102、
第一齿轮；
103、
第一齿条；
104、
第二齿轮；
105、...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种涂胶显影机的加热装置，包括防护壳
(1)、
位于防护壳
(1)
顶部的若干个第一透气孔
(4)、
位于防护壳
(1)
前侧的控制面板
(3)
和安装在防护壳
(1)
内部的气泵
(6)
，所述防护壳
(1)
内部为空腔结构，防护壳
(1)
内部从上至下依次安装有第一隔板
(5)、
第二隔板
(8)、
第三隔板
(9)
和第四隔板
(10)
，其特征在于：所述防护壳
(1)
前端面安装有雷达感应器
(2)
，所述雷达感应器
(2)
下方安装有开合机构
(100)
，所述第一隔板
(5)
上开设有若干第二透气孔
(7)
，第一隔板
(5)
上安装有若干个加热棒
(11)
，所述第二隔板
(8)
上安装有升降机构
(200)。2.
根据权利要求1所述的一种涂胶显影机的加热装置，其特征在于：所述开合机构
(100)
包括两个电动伸缩杆
(101)
和两个第一滑轨
(107)
，两个所述电动伸缩杆
(101)
对称固定安装在防护壳
(1)
外壁上，电动伸缩杆
(101)
上端面固定安装有第二齿条
(113)
，所述第二齿条
(113)
外壁滑动安装有第二滑轨
(108)
，所述第二滑轨
(108)
固定安装在防护壳
(1)
外壁上，所述第二齿条
(113)
远离第二滑轨
(108)
一侧啮合有第一齿轮
(102)
，所述第一齿轮
(102)
一侧转动安装有固定块，所述固定块固定安装在防护壳
(1)
外壁上，固定块之间安装有门
(109)
，且门
(109)
两端贯穿固定块固定安装在第一齿轮
(102)
上，所述第二齿条
(113)
外壁安装有滑板
(112)
，且滑板
(112)
位于第二滑轨
(108)
上方，所述滑板
(112)
外壁开设有滑槽
(111)。3.
根据权利要求2所述的一种涂胶显影机的加热装置，其特征在于：所述第一滑轨
(107)
对称固定安装在防护壳
(1)
外壁上，所述第一滑轨
(107)
内壁滑动安装有第一齿条
(103)
，所述第一齿条
(103)
远离防护壳
(1)
一侧外壁上转动安装有圆销
(110)
，所述圆销
(110)
滑动安装在滑槽
(111)
内，所述第一齿条
(103)
上端啮合有相同间隔分布的若干个第二齿轮
(104)
，所述第二齿轮
(104)
之间固定安装有第一圆杆
(105)
，所述第一圆杆
(105)
外壁上安装有挡板
(106)
，所述第一圆杆
(105)
和第一透气孔
(4)
转动连接
...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军区，王振兴，
申请(专利权)人：南方华创半导体无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：