一种带有水平调节结构制程真空排气支架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有水平调节结构制程真空排气支架，包括排气主管，所述排气主管的上端安装有排气支管；还包括：套管架，套设在所述排气主管上端的外侧，且所述套管架和所述排气主管之间通过螺栓固定，并且所述套管架上端的内部贯穿所述排气支管，所述排气支管和所述套管架之间通过螺栓固定；密封环，连接在所述套管架的内侧，且所述套管架的内侧连接有密封气囊

【技术实现步骤摘要】
一种带有水平调节结构制程真空排气支架


[0001]本技术涉及制程真空排气支架
，具体为一种带有水平调节结构制程真空排气支架
。

技术介绍

[0002]制程真空排气系统是对半导体产业制作过程中产生废气记性排送的系统，由制程机台至主管
、
支管之间连接风管，在主管和支管进行连接装配时，配用支架对排气主管和排气支管进行装配支撑
。
[0003]其中公开号为
CN104950488B
名为面板湿制程排气装置，包括水洗单元
、
排气风机
、
排气主管以及第一排气支管，所述排气主管和所述第一排气支管相互连通形成排气管路，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元连接，所述排气主管的出气口与所述排气风机连接，所述第一排气支管的进气口固定在所述水洗单元的底面上，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元的内部空间相通，所述第一排气支管的进气口处设有第一防水盖板，以防止药液或水进入所述排气管路，在所述排气风机的作用下，所述水洗单元中的水汽经由所述排气管路排出
。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种带有水平调节结构制程真空排气支架，包括排气主管（1），所述排气主管（1）的上端安装有排气支管（2）；其特征在于：还包括：套管架（3），套设在所述排气主管（1）上端的外侧，且所述套管架（3）和所述排气主管（1）之间通过螺栓固定，并且所述套管架（3）上端的内部贯穿所述排气支管（2），所述排气支管（2）和所述套管架（3）之间通过螺栓固定；密封环（4），连接在所述套管架（3）的内侧，且所述套管架（3）的内侧连接有密封气囊（5），并且所述密封气囊（5）设置在所述密封环（4）的上方；固定柱（
10
），安装在所述套管架（3）上方的外侧，且所述固定柱（
10
）的内部通过弹簧（
11
）弹性连接有移动杆（
12
），并且所述移动杆（
12
）的端部安装有安装架（
13
），所述安装架（
13
）的另一端连接有压板（
14
）；调节杆（
15
），铰接连接在所述安装架（
13
）的内侧，且所述调节杆（
15
）的另一端铰接连接有安装环（
16
），并且所述安装环（
16
）套设在所述排气支管（2）的外侧，所述排气支管（2）和所述安装环（
16
）之间通过螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡盛雄，
申请(专利权)人：上海启隆银祥电子系统集成有限公司，
类型：新型
国别省市：