通用太赫兹光谱光电测试系统技术方案

本发明专利技术揭示了一种能够通过多种定制光源和探测器组合、用户选择光路部件、添加外围辅助设备可以实现傅里叶光谱、透射光谱、反射光谱和太赫兹电子器件光电特性等多种测试功能的太赫兹光电特性测试系统，具有高信噪比、高分辨率、强扩展性、低成本等优点，可以广泛适用于太赫兹技术研究、新材料研究、环境检测和生物医学分析。该发明专利技术对光谱和光电响应测试系统的光路、电路和控制进行了优化设计和系统集成，设计了紧凑合理的光学、机械和真空腔结构，采用了计算机控制的精确机械扫描和数据采集，最终可以实现使用多种不同光源和探测器组合、测试分析材料与太赫兹光源和探测器等核心器件的太赫兹光电特性的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光电测试系统，尤其指一种用于测试太赫兹光谱且能够通过定制光源和探测器组合、用户自行选择光路部件、添加外围辅助设备实现多种太赫兹光电特性 测试的系统。本专利技术广泛适用于太赫兹技术研究、新材料研究、环境检测和生物医学分析。
技术介绍
太赫兹波是频率为0. 3THz-30THz (波长约10 y m-lmm，光子能量约 1. 2meV-120meV)的电磁波，它处于红外波与毫米波之间，是电磁波谱中一个很重要的波段。 室温下的黑体辐射、宇宙的背景电磁辐射、自然界中的许多有机大分子特别是生物分子的 振动和旋转特征频率都在太赫兹波段范围里。因此物质在太赫兹波频段的发射、反射和透 射光谱中包含有丰富的物理和化学信息。与传统光源相比，太赫兹波辐射源具有相干、低 能、穿透力强等独特、优异的特性，所以它在物理、化学、天文学、生命科学和医药科学等基 础研究领域，以及安全检查、医学成像、环境监测、食品检验、射电天文、卫星通信和武器制 导等应用研究领域均具有巨大的科学研究价值和广阔的应用前景。近年来，随着真空电子 技术、半导体微电子技术、超快激光技术以及非线性光学频率变换技术的飞速发展，本文档来自技高网...

【技术保护点】
通用太赫兹光谱光电测试系统，其特征在于包括设于系统密封腔（１）内的如下模块：可见光输出模块，包括按光路依次设置的激光器（２）、反射镜（３）、可见光窗口（４）、准直光阑（５）和旋转反射镜（６），利用可见光调整整个系统的光路；太赫兹波输出模块，包括离轴非球面反射镜（７）、斩波器（８）、直线导轨（９）、离轴非球面反射镜（１０）、太赫兹输入窗口（１１）、离轴非球面反射镜（１２）、光阑（１３）和太赫兹源（１４），用于向系统密封腔（１）输出光通量可调的太赫兹波，并输出斩波器（８）调制后的太赫兹波；干涉模块，包括太赫兹分束器（１５）、可见光分束器（１６）、静反射镜（１７）、电动位移平台（１９）及组装于其上的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：秦华，刘宏欣，张志鹏，张宝顺，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]