感光性树脂组合物、感光性元件及层叠体的制造方法技术

一种感光性树脂组合物，其含有黏合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂及氢供体，所述光聚合性化合物包含具有二三羟甲基丙烷骨架的化合物。一种感光性元件(1)，其具备支撑体(2)及配置于支撑体(2)上的感光性树脂层(3)，感光性树脂层(3)包含上述感光性树脂组合物。感光性树脂层(3)包含上述感光性树脂组合物。感光性树脂层(3)包含上述感光性树脂组合物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、感光性元件及层叠体的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种感光性树脂组合物、感光性元件、层叠体的制造方法等。

技术介绍

[0002]在制造能够用作配线基板的层叠体时，为了获得所希望的配线而形成抗蚀剂图案。抗蚀剂图案能够通过对使用感光性树脂组合物而获得的感光性树脂层进行曝光和显影来形成。作为感光性树脂组合物，研究了各种组合物。例如，在下述专利文献1中，记载了含有蒽衍生物的感光性树脂组合物。
[0003]以往技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:国际公开第2007/004619号

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术课题
[0007]用作抗蚀剂图案的固化物图案例如通过对配置于基材上的感光性树脂层进行光固化(曝光)之后，对感光性树脂层的未固化部(未曝光部)进行显影并去除来形成。而且，在对基材中的未形成固化物图案的部分实施处理(例如，镀敷处理)之后，固化物图案被剥离(去除)。在该情况下，从效率化等观点考虑，要求缩短固化部的剥离所需的剥离时间。
[0008]本专利技术的一方面的目的在于提供一种能够缩短固化部的剥离时间的感光性树脂组合物。本专利技术的另一方面的目的在于提供一种使用了该感光性树脂组合物的感光性元件。本专利技术的另一方面的目的在于提供一种使用了上述感光性树脂组合物的层叠体的制造方法。
[0009]用于解决技术课题的手段
[0010]本专利技术的一方面涉及一种感光性树脂组合物，其含有黏合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂及氢供体，所述光聚合性化合物包含具有二三羟甲基丙烷骨架的化合物。
[0011]根据这种感光性树脂组合物，能够缩短该感光性树脂组合物的固化部的剥离时间。
[0012]本专利技术的另一方面涉及一种感光性元件，其具备支撑体、配置于该支撑体上的感光性树脂层，所述感光性树脂层包含上述感光性树脂组合物。
[0013]本专利技术的另一方面涉及一种层叠体的制造方法，其包括：使用上述感光性树脂组合物或上述感光性元件将感光性树脂层配置于基材上的步骤；使所述感光性树脂层的一部分光固化的步骤；去除所述感光性树脂层的未固化部而形成固化物图案的步骤；及在所述基材中未形成所述固化物图案的部分的至少一部分形成金属层的步骤。
[0014]专利技术效果
[0015]根据本专利技术的一方面，能够提供一种能够缩短固化部的剥离时间的感光性树脂组
合物。根据本专利技术的另一方面，能够提供一种使用了该感光性树脂组合物的感光性元件。根据本专利技术的另一方面，能够提供一种使用了上述感光性树脂组合物的层叠体的制造方法。根据本专利技术的另一方面，能够提供一种在形成抗蚀剂图案中应用的感光性树脂组合物或感光性元件。根据本专利技术的另一方面，能够提供一种在制造配线基板中应用的感光性树脂组合物或感光性元件。
附图说明
[0016]图1是表示感光性元件的一例的示意剖视图。
[0017]图2是表示层叠体的制造方法的一例的示意图。
具体实施方式
[0018]以下，对本专利技术的实施方式进行详细说明。
[0019]数值范围中的“A以上”是指A及超过A的范围。数值范围中的“A以下”是指A及小于A的范围。本说明书中阶段性记载的数值范围中，某阶段的数值范围的上限值或下限值能够与另一阶段的数值范围的上限值或下限值任意地组合。在本说明书中所记载的数值范围中，其数值范围的上限值或下限值可以置换为实施例中示出的值。“A或B”只要包含A及B中的任一者即可，也可以包含两者。本说明书中例示的材料只要没有特别指定，能够单独使用1种或组合2种以上而使用。在组合物中存在多个相当于各成分的物质的情况下，只要没有特别指定，组合物中的各成分的含量则表示在组合物中存在的该多个物质的合计量。在作为俯视图观察时，“层”这一术语除了形成于整个面的形状的结构以外，还包含形成于一部分的形状的结构。“步骤”这一术语除了独立的步骤，即使在无法与其他步骤明确地区分的情况下，只要可实现其步骤的预期作用，则也包含于本术语中。“(甲基)丙烯酸酯”是指，丙烯酸酯及与其对应的甲基丙烯酸酯中的至少一者。“(甲基)丙烯酸”等其他类似的表述也相同。“烷基”只要没有特别指定，则可以是直链状、支链或环状中的任一种。
[0020]本说明书中，“(聚)氧亚烷基”是指氧亚烷基及聚氧亚烷基(2个以上的亚烷基由醚键连接的基团)中的至少一者。“(聚)氧亚乙基”，“(聚)氧亚丙基”等其他类似的表述也相同。“EO改性”是指具有(聚)氧亚乙基的化合物。“PO改性”是指具有(聚)氧亚丙基的化合物。“EO
·
PO改性”是指具有(聚)氧亚乙基和/或(聚)氧亚丙基的化合物。
[0021]本说明书中，“感光性树脂组合物的固体成分”是指，在感光性树脂组合物中，去除了挥发物质(水、溶剂等)的不挥发成分。即，“固体成分”是指，在干燥感光性树脂组合物时不挥发而残留的成分(除了溶剂以外的成分)，也包含在室温(25℃)下为液体状、糖浆状或石蜡状的成分。
[0022]＜感光性树脂组合物及固化物＞
[0023]本实施方式的感光性树脂组合物包含(A)黏合剂聚合物((A)成分)、(B)光聚合性化合物((B)成分)、(C)光聚合引发剂((C)成分)及(D)氢供体((D)成分)，光聚合性化合物包含具有二三羟甲基丙烷骨架的化合物。本实施方式的感光性树脂组合物例如能够用作负型的感光性树脂组合物。
[0024]本实施方式的感光性树脂组合物具有光固化性，能够通过对该感光性树脂组合物进行光固化来获得固化物。本实施方式的固化物是本实施方式的感光性树脂组合物的固化
物(光固化物)。本实施方式的固化物可以为图案状(固化物图案)，也可以为抗蚀剂图案。本实施方式的感光性树脂组合物及固化物的可见光透射率(例如，厚度5.0μm的可见光透射率)的最小值或最大值可以为90％以下、小于90％、85％以下或80％以下。作为可见光透射率，例如，能够使用400～700nm的波长区域的透射率。
[0025]本实施方式的固化物的厚度可以为1μm以上、5μm以上、10μm以上、15μm以上、20μm以上或25μm以上。本实施方式的固化物的厚度可以为100μm以下、80μm以下、50μm以下、40μm以下、30μm以下或25μm以下。从这些观点考虑，本实施方式的固化物的厚度可以为1～100μm、10～50μm或15～40μm。
[0026]根据本实施方式的感光性树脂组合物，能够缩短剥离(去除)该感光性树脂组合物的固化部(曝光部)所需的剥离时间。根据本实施方式的感光性树脂组合物，例如，能够缩短使该感光性树脂组合物的固化部浸渍于3.0质量％的NaOH水溶液(50℃)时的该固化部的剥离时间。
[0027]根据本实施方式的感光性树脂组合物，能够获得对活性光线优异的灵敏度。根据本实施方式的感光性树脂组合物，通过显影处理而能够良好地去除未固化部，并且能够获得优异的分辨率。根据本实施方式的感光性树脂组合物，能够在显影处理时使固化部良好本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感光性树脂组合物，其含有黏合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂及氢供体，所述光聚合性化合物包含具有二三羟甲基丙烷骨架的化合物。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述黏合剂聚合物具有苯乙烯化合物作为单体单元。3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，所述苯乙烯化合物的单体单元的含量以构成所述黏合剂聚合物的单体单元的总量为基准为20质量％以上。4.根据权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，所述黏合剂聚合物还具有(甲基)丙烯酸芳基酯作为单体单元。5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，具有所述二三羟甲基丙烷骨架的化合物包含具有二三羟甲基丙烷骨架的(甲基)丙烯酸化合物。6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，其中，所述(甲基)丙烯酸化合物中的(甲基)丙烯酰基的数量为4。7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其中,具有所述二三羟甲基丙烷骨架的化合物具有聚氧亚烷基。8.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物，其中，所述聚...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边祐作，大友聪，成田真生，小野敬司，武田明子，
申请(专利权)人：株式会社力森诺科，
类型：发明
国别省市：