压电元件制造技术

本发明专利技术提供一种在层叠多个压电薄膜而成的压电元件中，能够防止产生褶皱的压电元件

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电元件


[0001]本专利技术涉及一种压电元件。

技术介绍

[0002]压电元件作为通过与各种物品接触并安装来使物品振动并发出声音的所谓激发器(激子)而被利用于各种用途。例如，能够通过在图像显示面板、屏幕等中安装激发器以使这些振动来代替扬声器发出声音。
[0003]然而，在柔性的图像显示装置、能够卷取的屏幕等中安装激发器的情况下，激发器本身至少在不使用时也需要是柔性的(可滚动的)。
[0004]作为柔性的压电元件，提出了以电极层及保护层夹持压电体层的压电薄膜。
[0005]例如，在专利文献1中记载了一种电声转换薄膜，其具有：压电层叠体，其具有将压电体粒子分散于由在常温下具有粘弹性的高分子材料组成的粘弹性基质中而成的高分子复合压电体、形成于高分子复合压电体的一个面的面积为高分子复合压电体的面积以下的上部薄膜电极、形成于上部薄膜电极的表面的面积为上部薄膜电极的面积以上的上部保护层、形成于高分子复合压电体的上部薄膜电极的相反面的面积为高分子复合压电体的面积以下的下部薄膜电极及形成于下部薄膜电极的表面的面积为下部薄膜电极的面积以上的下部保护层；用于引出上部电极的金属箔，其层叠于上部薄膜电极的一部分，并且至少一部分位于高分子复合压电体的面方向外部；及用于引出下部电极的金属箔，其层叠于下部薄膜电极的一部分，并且至少一部分位于高分子复合压电体的面方向外部。
[0006]这些压电薄膜为薄膜状且弹簧常数有限，因此在用作激发器的情况下，导致输出不足。因此，可以考虑到通过层叠压电薄膜来增加弹簧常数以提高输出。
[0007]以往技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1：日本特开2014
‑
209724号公报

技术实现思路

[0010]专利技术要解决的技术课题
[0011]然而，根据本专利技术人等的研究，发现存在当层叠了多张压电薄膜时，产生褶皱而成为外观不良的情况。
[0012]本专利技术的课题为解决这种先前技术的问题点，提供一种在层叠多个压电薄膜而成的压电元件中，能够防止产生褶皱的压电元件。
[0013]用于解决技术课题的手段
[0014]为了解决上述课题，本专利技术具有以下方案。
[0015][1]一种压电元件，其为具有将压电薄膜多层层叠，用粘贴层粘贴相邻的压电薄膜的构成，所述压电薄膜是用电极层夹持在包含高分子材料的基质中包含压电体粒子的压电体层，并且在电极层的未与压电体层接触的面层叠有保护层的压电薄膜，其中，
[0016]压电薄膜的从端面至43μm内侧为止的区域的厚度方向的最大高度与从端面起43μm内侧的位置的厚度方向的高度之差为4.2μm以下。
[0017][2]根据[1]所述的压电元件，其中，
[0018]压电薄膜的从端面至43μm内侧为止的区域的厚度方向的最大高度与从端面起43μm内侧的位置的厚度方向的高度之差为1.4μm以下。
[0019][3]根据[1]或[2]所述的压电元件，其中，
[0020]压电薄膜的从端面至43μm内侧为止的区域的厚度方向的最大高度与从端面起43μm内侧的位置的厚度方向的高度之差为0.3μm以上。
[0021][4]根据[1]至[3]中任一项所述的压电元件，其中，
[0022]压电薄膜的厚度为20μm～80μm。
[0023]专利技术效果
[0024]根据本专利技术，能够提供一种在层叠多个压电薄膜而成的压电元件中，能够防止产生褶皱的压电元件。
附图说明
[0025]图1是示意性地表示本专利技术的压电元件的一例的图。
[0026]图2是示意性地表示压电元件所具有的压电薄膜的一例的剖面图。
[0027]图3是压电薄膜的端面附近的局部放大图。
[0028]图4是示意性地表示本专利技术的压电元件的另一例的图。
[0029]图5是示意性地表示本专利技术的压电元件的另一例的图。
[0030]图6是用于说明压电薄膜的制作方法的一例的示意图。
[0031]图7是用于说明压电薄膜的制作方法的一例的示意图。
[0032]图8是用于说明压电薄膜的制作方法的一例的示意图。
[0033]图9是示意性地表示实施例中使用的切割装置的侧面图。
[0034]图10是图9的前视图。
[0035]图11是用于说明图9的切割装置的上刀与下刀的咬合量的图。
[0036]图12是示意性地表示实施例中使用的切割装置的侧面图。
[0037]图13是图12的前视图。
[0038]图14是用于说明图12的切割装置的上刀与下刀的咬合量的图。
[0039]图15是示意性地表示实施例中使用的切割装置的立体图。
[0040]图16是示意性地表示实施例中使用的切割装置的立体图。
[0041]图17是示意性地表示图16的切割装置所具有的冲孔刀的顶视图。
[0042]图18是图17的侧面图。
[0043]图19是示意性地表示实施例中使用的切割装置的立体图。
[0044]图20是示意性地表示图19的切割装置所具有的刀的侧面图。
[0045]图21是示意性地表示比较例中使用的刀的形状的前视图。
[0046]图22是图21的立体图。
具体实施方式
[0047]以下，关于本专利技术的压电元件，将基于附图中示出的优选实施例进行详细说明。
[0048]以下所记载的构成要件的说明有时基于本专利技术的代表性实施方式来进行，但本专利技术并不限定于这些实施方式。
[0049]另外，本说明书中，使用“～”表示的数值范围是指包含记载于“～”的前后的数值作为下限值及上限值的范围。
[0050][压电元件][0051]本专利技术的压电元件具有：
[0052]将多层压电薄膜层叠而用粘贴层粘贴相邻的压电薄膜的构成，所述压电薄膜是用电极层夹持在包含高分子材料的基质中包含压电体粒子的压电体层，并且在电极层的未与压电体层接触的面层叠有保护层的压电薄膜，其中，
[0053]压电薄膜的从端面至43μm内侧为止的区域的厚度方向的最大高度与从端面起43μm内侧的位置的厚度方向的高度之差为4.2μm以下。
[0054]在图1中示出示意性地表示本专利技术的压电元件的一例的俯视图。
[0055]图1中示出的压电元件50层叠了多个压电薄膜10。图1中示出的例子中，层叠有3张压电薄膜10。相邻的压电薄膜10彼此通过粘贴层19而被粘贴。并且，在图1中示出的例子中，压电元件50通过粘贴层16而粘贴到振动板12，构成电声转换器70。各压电薄膜10中连接有用于施加驱动电压的电源PS。另外，在图1中示出的例子中，将省略各压电薄膜的保护层的图示，但如图2所示，各压电薄膜具有保护层。
[0056]在这种电声转换器70中，通过向压电元件50的压电薄膜10施加驱动电压而压电薄膜10沿面方向伸缩，通过该压电薄膜10的伸缩而压电元件14沿面方向伸缩。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电元件，其具有如下构成：将压电薄膜多层层叠，将相邻的所述压电薄膜用粘贴层粘贴的构成，所述压电薄膜是用电极层夹持在包含高分子材料的基质中包含压电体粒子的压电体层，并且在所述电极层的未与所述压电体层接触的面层叠有保护层的压电薄膜，其中，所述压电薄膜的从端面至43μm内侧为止的区域的厚度方向的最大高度与从端面起43μm内侧的位置的厚度方向的高度之差为4.2μm以下。2.根据权利要求1所述的压电元件，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：小原直浩，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：