阶梯结构光滤波器制造技术

本申请公开了阶梯结构光滤波器。光滤波器可以包括基板。滤波器可以包括布置在基板上的阶梯介质。滤波器可以包括布置在阶梯介质上的第一反射镜。第一反射镜可以形成阶梯镜面。阶梯镜面的每个阶梯可以对应于滤波器的一组通道中的一个通道。光滤波器可以包括布置在阶梯镜面上的间隔物。光滤波器可以包括布置在间隔物的另一表面上的第二反射镜。物的另一表面上的第二反射镜。物的另一表面上的第二反射镜。

【技术实现步骤摘要】
阶梯结构光滤波器
[0001]本申请是申请日为2019年11月04日，申请号为201911067451.6，专利技术名称为“阶梯结构光滤波器”的申请的分案申请。
[0002]背景
[0003]光发射器可以发出光，光被引向对象。例如，在手势识别系统中，光发射器可以朝着用户发射近红外光，并且近红外光可以从用户朝着光接收器反射。在这种情况下，光接收器可以捕获关于近红外光的信息，并且该信息可以用于识别由用户正在执行的手势。在另一个例子中，可以捕获关于可见光的信息，例如关于可见光的不同波长的信息，以对物体成像。
[0004]然而，在具有感兴趣波长的光朝着目标传播期间和/或在光从目标朝着光接收器反射期间，环境光可以连同感兴趣波长一起被引入。例如，当光接收器将接收从目标反射的近红外光时，光接收器也可能接收可见光(例如，来自另一光源，例如灯泡或太阳)。因此，光接收器可以光学地耦合到光滤波器，例如带通滤波器，以对环境光滤波并允许一个或更多个波长的光朝着光接收器通过。另外或者可选地，当执行对多个波长的光的感测时，滤波器可以被提供来确保多个波长的光中的每一波长的光被引导到不同的传感器。
[0005]可以是光接收器的多光谱传感器设备可以被用于捕获关于多个波长的光的信息。多光谱传感器设备可以包括捕获信息并被耦合到多光谱滤波器的一组传感器元件(例如，光传感器、光谱传感器、和/或图像传感器)。例如，传感器元件的阵列可以被用于捕获与多个频率相关的信息，并且多光谱滤波器可将与不同频率相关联的光引导到每个传感器元件。在一些情况下，单个二元多光谱滤波器(binary multispectral filter)可以被布置成覆盖传感器元件阵列的每个传感器元件，并且可以形成用于传感器元件阵列的一组通道。
[0006]概述
[0007]根据一些可能的实现，滤波器可以包括基板。滤波器可以包括布置在基板上的阶梯介质(stepped medium)。滤波器可以包括布置在阶梯介质上的第一反射镜。第一反射镜可以形成阶梯镜面(stepped mirror surface)。阶梯镜面的每个阶梯可以对应于滤波器的一组通道中的一个通道。滤波器可以包括布置在阶梯镜面上的间隔物(spacer)。滤波器可以包括布置在间隔物的另一表面上的第二反射镜。
[0008]根据一些可能的实现，系统可以包括传感器元件阵列，该传感器元件阵列包括与多个通道相关联的多个传感器元件。该系统可以包括可变间隔物滤波器。可变间隔物滤波器可以包括第一基板。可变间隔物滤波器可以包括布置在第一基板上的阶梯介质。可变间隔物滤波器可以包括布置在阶梯介质上的第一反射镜。第一反射镜可以形成阶梯镜面。阶梯镜面的每个阶梯可以对应于滤波器的一组通道中的一个通道。可变间隔物滤波器可以包括布置在第二基板上并与第一反射镜可对准的第二反射镜。腔可以将第一反射镜和第二反射镜分开。第二反射镜可以相对于第一反射镜可平移，使得在第一反射镜和第二反射镜之间的间距是可变的。
[0009]根据一些可能的实现，多通道滤波器可以包括介质以形成阶梯结构(stepped structure)。多通道滤波器可以包括布置在阶梯结构上的第一反射镜以形成阶梯反射镜结
构。阶梯反射镜结构的每个阶梯可以形成多通道滤波器的波长通道。多通道滤波器可以包括布置在第一反射镜上的间隔物。间隔物的第一表面可以抵靠第一反射镜布置以形成阶梯表面，以及间隔物的第二表面与第一反射镜相对以形成平坦表面。多通道滤波器可以包括布置在间隔物的第二表面上的第二反射镜以形成多通道滤波器的平面反射镜。
[0010]本申请提供了以下内容：
[0011]1).一种滤波器，包括：
[0012]基板；
[0013]阶梯介质，其布置在所述基板上；
[0014]第一反射镜，其布置在所述阶梯介质上；
[0015]其中，所述第一反射镜形成阶梯镜面，
[0016]其中，所述阶梯镜面的每个阶梯对应于所述滤波器的一组通道中的一个通道；
[0017]间隔物，其布置在所述阶梯镜面上；以及
[0018]第二反射镜，其布置在所述间隔物的另一表面上。
[0019]2).根据1)所述的滤波器，其中，所述阶梯介质在一维上成阶梯状。
[0020]3).根据1)所述的滤波器，其中，所述阶梯介质在二维上成阶梯状。
[0021]4).根据1)所述的滤波器，其中，所述滤波器的所述一组通道的波长范围在大约380纳米(nm)和780nm之间。
[0022]5).根据1)所述的滤波器，其中，所述滤波器的所述一组通道的波长范围在大约750纳米(nm)和1100nm之间。
[0023]6).根据1)所述的滤波器，其中，所述阶梯介质在所述滤波器的波长范围处与大于70％的透射率相关，并且是下列项之一：
[0024]基于氧化物的介质，
[0025]基于半导体的介质，
[0026]基于电介质的介质，
[0027]基于聚合物的介质，
[0028]基于氮化物的介质，
[0029]基于磷化物的介质，或
[0030]基于碳化物的介质。
[0031]7).根据1)所述的滤波器，其中，所述间隔物与大于1.7的折射率相关联，并且是下列项之一：
[0032]基于氢化硅的间隔物，
[0033]基于氧化物的间隔物，
[0034]基于锗的间隔物，或
[0035]基于硅锗的间隔物。
[0036]8).根据1)所述的滤波器，其中，所述间隔物是下列项中的至少一项：
[0037]气体间隔物，
[0038]聚合物间隔物，或
[0039]液体间隔物。
[0040]9).根据1)所述的滤波器，其中，所述阶梯介质形成一组柱，以及其中所述一组柱
中的至少一个柱形成不活动通道。
[0041]10).一种系统，包括：
[0042]传感器元件阵列，其包括与多个通道相关联的多个传感器元件；以及
[0043]可变间隔物滤波器，其包括：
[0044]第一基板；
[0045]阶梯介质，其布置在所述第一基板上；
[0046]第一反射镜，其布置在所述阶梯介质上；
[0047]其中，所述第一反射镜形成阶梯镜面，
[0048]其中，所述阶梯镜面的每个阶梯对应于所述滤波器的一组通道中的一个通道；以及
[0049]第二反射镜，其布置在第二基板上并与所述第一反射镜可对准，其中，腔将所述第一反射镜和所述第二反射镜分开，以及
[0050]其中，所述第二反射镜相对于所述第一反射镜可平移，使得在所述第一反射镜和所述第二反射镜之间的间距可变。
[0051]11).根据10)所述的系统，其中，所述腔被填充有间隔物，
[0052]其中，所述间隔物是气体间隔物材料或液体间隔物材料，以及
[0053]其中，所述间隔物被限定成使得当所述第二反射镜相对于所述第一反射镜平移时，所述间隔物填充所述腔。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滤波器，包括：基板；阶梯介质，其布置在所述基板上；第一反射镜，其布置在所述阶梯介质上；其中，所述第一反射镜形成阶梯镜面，其中，所述阶梯镜面的每个阶梯对应于所述滤波器的一组通道中的一个通道；间隔物，其布置在所述阶梯镜面上，其中，所述间隔物是下列项中的至少一项：气体间隔物，或液体间隔物；以及第二反射镜，其布置在所述间隔物的另一表面上。2.一种系统，包括：传感器元件阵列，其包括与多个通道相关联的多个传感器元件；以及可变间隔物滤波器，其包括：第一基板；阶梯介质，其布置在所述第一基板上；第一反射镜，其布置在所述阶梯介质上；其中，所述第一反射镜形成阶梯镜面，其中，所述阶梯镜面的每个阶梯对应于所述滤波器的一组通道中的一个通道；以及第二反射镜，其布置在第二基板上并与所述第一反射镜可对准，其中，腔将所述第一反射镜和所述第二反射镜分开，以及其中，所述第二反射镜相对于所述第一反射镜可平移，使得在所述第一反射镜和所述第二反射镜之间的间距可变。3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述腔被填充有间隔物，其中，所述间隔物是气体间隔物材料或液体间隔物材料，以及其中，所述间隔物被限定成使得当所述第二反射镜相对于所述第一反射镜平移时，所述间隔物填充所述腔。4.根据权利要求2所述的系统，其中，所述一组通道中的一个或更多个通道基于相对于所述第一反射镜平移的所述第二反射镜是可调整的。5.根据权利要求2所述的系统，其中，所述腔至少部分地由第一间隔物材料填充，并且至少部分地由第二间隔物材料填充，以及其中，所述第一间隔物材料和所述第二间隔材料是下列项之一：两个固体间隔物材料，固体间隔物材料和液体间隔物材料，固体间隔物材料和气体间隔物材料，或液体间隔物材料和气体间隔物材料。6.根据权利要求2所述的系统，还包括：平移设备，其相对于所述第一反射镜平移所述第二反射镜。7.根据权利要求2所述的系统，还包括：
多个平移设备，其使所述第二反射镜相对于所述第一反射镜成角度。8.一种多通道滤波器，包括：介质，其形成阶梯结构；第一反射镜，其布置在所述阶梯结构上以形成阶梯反射镜结构，其中，所述阶梯反射镜结构的每个阶梯形成所述多通道滤波器的波长通道；间隔物，其布置在所述第一反射镜上，其中，所述间隔物的第一表面抵靠所述第一反射镜布置以形成阶梯表面，以及所述间隔物的第二表面与所述第一反射镜相对以形成平坦表面；以及第二反射镜，其布置在所述间隔物的所述第二表面上以形成对于所述多通道滤波器的平面反射镜。9.根据权利要求8所述的多通道滤波器，其中，所述介质使用光刻过程来形成。10.根据权利要求8所述的多通道滤波器，其中，所述间隔物在单个沉积步骤中被沉积。11.根据权利要求8所述的多通道滤波器，其中，所述第一反射镜或所述介质是用于移除所述间隔物的一部分的蚀刻停止层。12.根据权利要求8所述的多通道滤波器，其中，所述介质的所述阶梯结构通过下列项中的至少一项而形成：剥离过程，蚀刻过程，模制过程，铸造过程，机械加工过程，冲...

【专利技术属性】
技术研发人员：威廉，
申请(专利权)人：唯亚威通讯技术有限公司，
类型：发明
国别省市：