玻璃制造技术

本发明专利技术提供一种耐热性高、热膨胀系数低、且生产性优异的玻璃，所述玻璃的特征在于，作为玻璃组成以摩尔％计含有SiO

【技术实现步骤摘要】
玻璃
[0001]本申请是申请号：
201680009894.8
，
PCT
申请号：
PCT/JP2016/060913
，申请日：
2016.4.1
，专利技术名称：“玻璃”的申请的分案申请
。


[0002]本专利技术涉及一种玻璃，尤其涉及适合于有机显示器
、
液晶显示器的基板的无碱玻璃
。

技术介绍

[0003]有机
EL
显示器等电子器件由于薄型
、
动画显示优异并且消耗电力也以及用于移动电话的显示器等用途
。
[0004]作为有机
EL
显示器的基板，广泛使用玻璃基板
。
在该用途的玻璃基板中使用无碱玻璃
(
玻璃组成中的碱成分的含量为
0.5
摩尔％以下的玻璃
)。
由此可以防止碱离子扩散到利用热处理工序成膜的半导体物质中的情况
。

技术实现思路

[0005]专利技术要解决的课题
[0006]对该用途的无碱玻璃要求例如以下的要求特性
(1)
～
(3)。
[0007](1)
为了使玻璃基板低廉化，要求生产率优异
、
尤其是耐失透性或熔融性优异
。
[0008](2)
在
p
‑
Si
·
TFT、
尤其是高温
p
‑
Si
等的制造工序中，为了降低玻璃基板的热收缩，要求应变点高
。
[0009](3)
为了与在玻璃基板上所成膜的构件
(
例如
p
‑
Si)
的热膨胀系数匹配，要求具有低热膨胀系数
。
[0010]但是，不容易兼顾上述要求特性
(1)
和
(2)。
即，若要提高无碱玻璃的应变点，则耐失透性和熔融性容易降低，反之，若要提高无碱玻璃的耐失透性和熔融性，则应变点容易降低
。
[0011]另外，还不容易兼顾上述要求特性
(1)
和
(3)。
即，若要降低无碱玻璃的热膨胀系数，则耐失透性和熔融性容易降低，反之，若要提高无碱玻璃的耐失透性和熔融性，则热膨胀系数容易上升
。
[0012]另外，在显示器的薄型化中一般使用玻璃基板的化学蚀刻
。
该方法是通过使贴合有2片玻璃基板的显示器面板浸渍于
HF(
氢氟酸
)
系药液来薄化玻璃基板的方法
。
因此，在进行玻璃基板的化学蚀刻的情况下，除了要求特性
(1)
～
(3)
外，为了提高显示器面板的生产效率，还要求使利用
HF
的蚀刻速率较高
。
[0013]进而，为了抑制因玻璃基板的挠曲所致的不良情况，还要求使杨氏模量
(
或比杨氏模量
)
较高
。
[0014]本专利技术是鉴于上述情况完成的专利技术，其技术课题在于专利技术耐热性高
、
热膨胀系数低
、
而且生产率优异的玻璃
。
[0015]用于解决课题的手段
[0016]本专利技术人反复进行各种实验，结果发现可以通过将玻璃组成限制在规定范围来解决上述技术的课题，从而提出了本专利技术
。
即，本专利技术的玻璃，其特征在于，作为玻璃组成以摩尔％计含有
SiO
2 55
～
80
％
、Al2O
3 12
～
30
％
、B2O
3 0
～3％
、Li2O+Na2O+K2O 0
～1％
、MgO+CaO+SrO+BaO 5
～
35
％，且在
30
～
380℃
的温度范围的热膨胀系数不足
40
×
10
‑7/℃。
在此，“Li2O+Na2O+K2O”是指
Li2O、Na2O
及
K2O
的总量
。“MgO+CaO+SrO+BaO”是指
MgO、CaO、SrO
及
BaO
的总量
。“在
30
～
380℃
的温度范围的热膨胀系数”是指利用热膨胀仪测定得到的平均值
。
[0017]本专利技术的玻璃在玻璃组成中将
Al2O3限制为
12
摩尔％以上
、
将玻璃组成中的
B2O3的含量限制为3摩尔％以下
、
且将
Li2O+Na2O+K2O
的含量限制为1摩尔％以下
。
这样一来，应变点显著上升，可以大幅提高玻璃基板的耐热性
。
进而容易降低热膨胀系数
。
[0018]另外，本专利技术的玻璃在玻璃组成中包含5～
25
摩尔％的
MgO+CaO+SrO+BaO。
这样一来，可以提高耐失透性
。
[0019]第二，本专利技术的玻璃的
B2O3的含量优选为不足1摩尔％
。
[0020]第三，本专利技术的玻璃的
Li2O+Na2O+K2O
的含量优选为
0.5
摩尔％以下
。
[0021]第四，本专利技术的玻璃的摩尔比
(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3优选为
0.3
～
3。
在此，“(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O
3”为
MgO、CaO、SrO
及
BaO
的总量除以
Al2O3的含量所得的值
。
[0022]第五，本专利技术的玻璃的摩尔比
MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)
优选为
0.5
以上
。
在此，“MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)”为
MgO
的含量除以
MgO、CaO、SrO
及
BaO
的总量所得的值
。
[0023]第六，本专利技术的玻璃的应变点优选为
750℃
以上
。
在此，“应变点”是指基于
ASTMC336
的方法测定得到的值
。
[0024]第七，本专利技术的玻璃的应变点优选为
800℃
以上
。
[0025]第八，本专利技术的玻璃的
(
在
10
2.5
dPa
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种玻璃，其特征在于，作为玻璃组成以摩尔％计含有
SiO255
％～
80
％
、Al2O
3 12
％～
30
％
、B2O
3 0
％～3％
、SrO 0
～4％
、BaO 1
～
15
％
、Li2O+Na2O+K2O 0
％～1％以及
MgO+CaO+SrO+BaO5
％～
35
％，且
MgO/CaO
为
0.8
以下，在
30℃
～
380℃
的温度范围的热膨胀系数不足
40
×
10
－7/℃。2.
根据权利要求1所述的玻璃，其特征在于，
B2O3的含量不足1摩尔％
。3.
根据权利要求1或2所述的玻璃，其特征在于，
Li2O+Na2O+K2O
的含量为
0.5
摩尔％以下
。4.
根据权利要求1或2所述的玻璃，其特征在于，摩尔比
(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐藤敦己，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：