弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制无用波所引起的电特性的劣化的弹性波装置

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置


[0001]本专利技术涉及弹性波装置
。

技术介绍

[0002]以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等
。
例如，在下述的专利文献1中，公开了一种利用了作为板波的兰姆波的弹性波装置
。
在该弹性波装置中，在支承体上设置有压电基板
。
压电基板包含
LiNbO3或者
LiTaO3。
在压电基板的上表面设置有
IDT(Interdigital Transducer
，叉指换能器
)
电极
。
在
IDT
电极的连接于一个电位的多个电极指与连接于另一个电位的多个电极指之间施加电压
。
由此，可激励兰姆波
。
在该
IDT
电极的两侧设置有反射器
。
由此，构成了利用了兰姆波的弹性波谐振器
。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开<br/>2012...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种弹性波装置，具备：压电性基板，包含：支承构件，包含支承基板；和压电层，设置在所述支承构件上，具有相互对置的第1主面和第2主面；至少一个功能电极，设置在所述压电层的所述第1主面或者所述第2主面，具有至少1对电极；第1支承体，设置在所述压电性基板上，使得包围所述功能电极；至少一个第2支承体，设置在所述压电性基板上，并配置在被所述第1支承体包围的部分；和盖部，设置在所述第1支承体上以及所述第2支承体上，将相邻的所述电极彼此对置的方向设为电极对置方向，在从所述电极对置方向观察时，相邻的所述电极彼此相互重叠的区域为交叉区域，在从所述电极对置方向观察时，所述第2支承体的至少一部分被配置为与所述交叉区域重叠
。2.
根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，具备多个所述功能电极，构成了分别具有所述功能电极的多个谐振器，在两个所述谐振器之间配置有至少一个所述第2支承体
。3.
根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，所述多个谐振器包含分割型的多个谐振器，在分割型的两个所述谐振器之间配置有至少一个所述第2支承体
。4.
根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其中，具备多个所述功能电极，构成了分别具有所述功能电极的多个谐振器，在所述压电性基板上的
、
除了两个所述谐振器之间以外的部分，配置有至少一个所述第2支承体
。5.
根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，至少一个所述第2支承体与所述功能电极电连接
。6.
根据权利要求1～5中任一项所述的弹性波装置，其中，具备：多个所述功能电极；和多个所述第2支承体，构成了分别具有所述功能电极的多个谐振器，至少1对所述第2支承体被配置为夹着一个所述谐振器
。7.
根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，所述多个谐振器包含至少一个串联臂谐振器以及至少一个并联臂谐振器，至少1对所述第2支承体被配置为夹着一个所述串联臂谐振器
。8.
根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，所述多个谐振器包含至少一个串联臂谐振器以及至少一个并联臂谐振器，至少1对所述第2支承体被配置为夹着一个所述并联臂谐振器
。
9.
根据权利要求6～8中任一项所述的弹性波装置，其中，至少1对所述第2支承体被配置为夹着最靠近输入信号的输入端子的所述谐振器
。10.
根据权利要求6～9中任一项所述的弹性波装置，其中，将穿过所述谐振器的所述交叉区域的所述电极对置方向上的中央且在与所述电极对置方向正交的方向上延伸的轴设为对称轴时，设置为夹着所述谐振器的所述至少1对第2支承体被配置为不成为线对称
。11.
根据权利要求1～
10
中任一项所述的弹性波装置，其中，在至少一个所述第2支承体与至少一个所述谐振器之间，设置有布线电极
。12.
根据权利要求1～
11
中任一项所述的弹性波装置，其中，在所述支承构件设置有至少一个第1空洞部，所述第1空洞部在俯视下与所述功能电极的至少一部分重叠，设置有由所述压电性基板
、
所述第1支承体以及所述盖部包围的第2空洞部，在将沿着所述压电性基板
、
所述第1支承体以及所述盖部被层叠的方向的尺寸设为高度时，所述第1空洞部的高度比所述第2空洞部的高度高
。13.
根据权利要求1～
11
中任一项所述的弹性波装置，其中，在所述支承构件设置有至少一个第1空洞部，所述第1空洞部在俯视下与所述功能电极的至少一部分重叠，设置有由所述压电性基板
、
所述第1支承体以及所述盖部包围的第2空洞部，在将沿着所述压电性基板
、
所述第1支承体以及所述盖部被层叠的方向的尺寸设为高度时，所述第2空洞部的高度比所述第1空洞部的高度高
。14.
根据权利要求1～
13
中任一项所述的弹性波装置，其中，所述支承构件包含设置在所述支承基板与所述压电层之间的中间层
。15.
根据权利要求
12
或
13
所述的弹性波装置，其中，所述支承构件包含设置在所述支承基板与所述压电层之间的中间层，所述第1空洞部的至少一部分设置于所述中间层
。16.
根据权利要求1～
15
中任一项所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：中尾武志，甲斐诚二，山崎央，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：