激光参数综合测试系统技术方案

一种激光参数综合测试系统，构成包括尖劈分光镜、凹球面反射镜、数字面阵ＣＣＤ相机、硅光电二极管、光电探测器、能量探头、光谱仪、可调衰减器、步进电机及带有采集卡和控制卡的计算机，待测激光束入射到平面反射镜上，利用该平面反射镜的透射光测量激光束的单脉冲能量、脉冲宽度、重复频率和波长，尖劈分光镜将该平面反射镜的反射光分为两束，一束用来观察近场光斑，另一束用来测量激光束的Ｍ２因子、远场发散角、束腰直径和指向稳定性。本发明专利技术可对激光束单脉冲能量、波长、脉冲宽度、重复频率、Ｍ２因子及指向稳定性进行综合、准确、稳定的测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光参数测量，特别是一种激光参数综合测试系统，可对激光单脉冲能量、波长、脉冲宽度、重复频率、M2因子、远场发散角、束腰直径和指向稳定性进行测试。
技术介绍
要对激光束的性能进行测试，常规的做法是针对不同的激光参数，使用不同的测试光路和测量器件 (1)脉冲激光单脉冲能量(或连续激光功率)的测量使用常规的热释电型能量(或功率)计，热释电型探测器有着很宽的光谱范围和较高的探测率，适用于室温下脉冲激光单脉冲能量(或连续激光功率)的测量； (2)激光波长用常见的光栅分光的方法进行测量，根据测量波长和分辨率选择光栅类型及刻线密度； (3)脉冲激光的重复频率和脉宽用示波器测量，根据测量重复频率和脉宽选择示波器的带宽和采样率； (4)激光束腰直径的测量方法有可变光阑法、移动刀口法、移动狭缝法和面阵CCD相机探测法，其中面阵CCD法因其操作简便而被广泛使用； (5)远场发散角的测量方法，是用设计良好的透镜对待测激光束进行聚焦，其焦距为f，用(4)中提到的方法测量透镜后焦面处的光斑直径df，则待测激光束的远场发散角可表示为 (6)指向稳定性的测量方法，对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光参数综合测试系统，特征在于其构成是：在待测激光束（２２）的前进方向斜置一平面反射镜（１），该平面反射镜（１）将所述的待测激光束（２２）分为透射光束（２３）和反射光束（２４）：在所述的透射光束（２３）的光路上设置能量探头（１５），该能量探头（１５）的入射面固定有毛玻璃（１４），该能量探头（１５）的输出端经第二数据采集卡（１６）与计算机（８）相连；在所述的反射光束（２４）的光路上依次设置可调衰减器（２）和尖劈分光镜（３），该尖劈分光镜（３）将所述的反射光束又分成两束激光：第一束激光（２５）由短焦距凹球面反射镜（４）成像，由第一数字面阵ＣＣＤ相机（６）接收以观察近场光斑，该第一数字面阵ＣＣＤ...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：侯霞，杨静蕊，陈卫标，刘荣涛，杨燕，胡善江，夏文兵，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]