双干涉滤光片特殊角度复合的反馈量可调半导体激光器制造技术

本发明专利技术属于半导体激光器技术领域，具体涉及一种双干涉滤光片特殊角度复合的反馈量可调半导体激光器，包括：激光二极管，激光二极管发出的激光经准直透镜准直为平行光束，然后经纵模选择组件进行滤波后，被半波片和偏振分束棱镜组成的分光元件分为两束，其中一束经聚焦透镜会聚后入射至零度入射全反射镜，经零度入射全反射镜反射后沿原路返回至激光二极管内，另一束作为激光系统的输出；纵模选择组件包括第一干涉滤光片和第二干涉滤光片，第一干涉滤光片和第二干涉滤光片的参数相同，其光轴与激光光轴的夹角不同。本发明专利技术不仅可以压缩激光线宽，而且可实现输出激光线宽可变、波长调谐范围可变。围可变。围可变。

【技术实现步骤摘要】
双干涉滤光片特殊角度复合的反馈量可调半导体激光器


[0001]本专利技术属于半导体激光器
，具体涉及一种双干涉滤光片特殊角度复合的反馈量可调半导体激光器。

技术介绍

[0002]半导体激光器具有体积小、能耗低、效率高、使用寿命长、调制速度快等优点，所以在激光通信、光存储、激光医疗、激光雷达、激光测距等领域得到了广泛应用。随着半导体激光器的发展以及相关领域的需求，窄线宽和波长可调谐性逐渐成为半导体激光器的发展方向，这通常是将激光二极管集成到一个外部腔中形成外腔半导体激光器来实现的。
[0003]半导体激光器的工作原理是激励方式，其利用电子在能带间跃迁发光，通过半导体晶体的解理面形成的两个平行反射镜组成谐振腔，光学谐振腔提供光学反馈，使受激辐射光子在腔内多次往返以形成相干的持续振荡，对腔内往返振荡光束的方向和频率进行限制，以保证输出激光具有一定的方向性和单色性。
[0004]现有技术中的外腔半导体激光器结构如图2所示，包括激光二极管11、准直透镜12、纵模选择元件13、聚焦透镜14和聚焦透镜17、输出耦合镜15、压电陶瓷环16本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双干涉滤光片特殊角度复合的反馈量可调半导体激光器，其特征在于，包括：激光二极管(1)、准直透镜(2)、纵模选择组件(3)、第一半波片(4)、偏振分束棱镜(5)、聚焦透镜(6)和零度入射全反射镜(7)；所述激光二极管(1)发出的激光经准直透镜(2)准直为平行光束，然后经纵模选择组件(3)进行滤波后，被第一半波片(4)和偏振分束棱镜(5)组成的分光元件分为两束，其中一束经聚焦透镜(6)会聚后入射至零度入射全反射镜(7)，经零度入射全反射镜(7)反射后沿原路返回至激光二极管(1)内，另一束作为激光系统的输出；所述纵模选择组件(3)包括第一干涉滤光片(31)和第二干涉滤光片(32)，所述第一干涉滤光片(31)和第二干涉滤光片(32)的参数相同，其光轴与激光光轴的夹角不同并且可调节。2.根据权利要求1所述的一种双干涉滤光片特殊角度复合的反馈量可调半导体激光器，其特征在于，所述第一干涉滤光片(31)和第二干涉滤光片(32)的光轴与激光光轴的夹角分别为θ1和θ2，其满足以下条件：其中，λ0表示第一干涉滤光片(31)和第二干涉滤光片(32)在垂直入射时的透射峰中心波长值，n为第一干涉滤光片(31)和第二干涉滤光片(32)的等效折射率，ω表示第一干涉滤光片(31)和第二干涉滤光片(32)的透射峰的半高宽。3.根据权利要求1所述的一种双干涉滤光片特殊角度复合的反馈量可调半导体激光器，其特征在于，所述偏振分束棱镜(5)的透射光入射至所述聚焦透镜(6)，反射光作为激光系统的输出。4.根据权利要求1～3任一项所述的一种双干涉滤光片特殊角度复合的反馈量可调半导体激光器，其特征在于，所述零度入射全反射镜(7)上设置有压电陶瓷(8)，所述压电陶瓷用于调节零度入射全反射镜(7)与激光二极管(1)之间的距离进而改变激光器外腔腔长。5.根据权利要求4所述的一种双干涉滤光片特殊角度复合的反馈量可调半导体激光器，其特征在于，所述压电陶瓷(8)设置在零度入射全反射镜(7)之后。6.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军民，常睿，何军，
申请(专利权)人：山西大学，
类型：发明
国别省市：