一种多波长激光模拟电离辐射效应试验系统技术方案

本发明专利技术公开了一种基于直线滑台快速转换光路的多波长激光模拟电离辐射效应试验系统，该系统包括多波长脉冲激光光源、多路衰减系统和测控系统三个部分。本发明专利技术通过沿直线滑台方向移动侧窥式光路来实现多波长激光与衰减系统的快速匹配，通过测控系统实现脉冲激光对待测器件的辐照，采集并记录待测器件瞬时响应电信号和器件辐照区域的图像信息，用以模拟γ射线等辐射源作用于半导体器件的电离辐射效应。该系统具有快速转换光路、安全性高等特点，可有效解决传统半导体器件激光模拟系统激光波长单一、切换光路复杂等问题，为不同带隙半导体器件电离辐照效应的激光模拟系统提供技术途径。途径。途径。

【技术实现步骤摘要】
一种多波长激光模拟电离辐射效应试验系统


[0001]本专利技术属于半导体器件辐射效应技术，特别涉及一种多波长激光模拟电离辐射效应试验系统。

技术介绍

[0002]近年来，随着电子技术的飞速发展，越来越多的半导体器件应用于航空航天、核技术、医学和军事等重要领域。上述应用往往包含伽马射线、X射线、中子、高能粒子等多种类型辐射因素，会在半导体器件内产生电离辐射效应，大大增加电子设备的故障概率，严重影响了电子设备的稳定性及使用寿命。
[0003]为提高器件与电子设备的抗辐射性能，在辐射环境下对器件进行模拟测试至关重要。激光模拟技术凭借安全、可靠、重复性好等优势被广泛应用于电离效应模拟试验中。不同激光波长会在材料内产生不同的穿透深度和电离范围，是影响激光模拟的重要因素。一方面，不同激光波长在材料中穿透深度不同，为使器件有源区产生近似均匀的电离效果，穿透深度须覆盖有源区厚度，这就需要波长尽可能长；另一方面，激光波长须满足光子能量大于半导体材料带隙，但光子能量越高，对应激光波长势必越短。因此，波长选取对于不同结构和材料体系的器件而言，往往是一个折中的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多波长激光模拟电离辐射效应试验系统，其特征在于，包括多波长脉冲激光光源、多路衰减系统和测控系统；多波长脉冲激光光源的输出端通过线缆与多路衰减系统的输入端相连，多路衰减系统的输出端通过线缆与测控系统相连；多波长脉冲激光光源为一台具有若干频率配置的倍频模块的脉冲激光器，不同频率配置的倍频模块用于生成不同波长激光，不同波长激光有不同的出光位置；通过更换脉冲激光器种不同的倍频模块来产生多波长激光；多路衰减系统为包括2个直线滑台与多路衰减路径，用于将接收的多波长脉冲激光输入至与当前接收波长对应的衰减光路进行衰减处理后输出至测控系统；所述直线滑台为内置双反射镜的直线滑台，2个直线滑台之间并行连接多路衰减路径，一条衰减路径对应一种波长激光，通过调整直线滑台中反射镜的位置实现激光在不同衰减光路中传输；与多波长脉冲激光光源相连的直线滑台中，一个反射镜用于接入来自于多波长脉冲激光光源的激光到直线滑台的光传输通道中，另一个反射镜用于将光传输通道的激光反射到与接入激光对应的衰减光路中；与测控系统相连的直线滑台中，一个反射镜用于接入来自于衰减光路的激光到直线滑台的光传输通道中，另一个反射镜用于将光传输通道的激光反射到与测控系统相连的线缆中；测控系统用于将来自多路衰减系统的激光辐照到待测器件上，采集并记录待测器件瞬态响应电信号并对器件辐照区域进行成像。2.如权利要求1所述系统，其特征在于，每条衰减路径上半波片、中性滤波片转轮、组合衰减片和分光棱镜顺次级联，半波片的输入端作为衰减路径的输入端，分光棱镜的一个输出端作为衰减路径的输出端，分光棱镜的另一个输出端与能量计探头相连。3.如权利要求2所述系统，其特征在于，测控系统还...

【专利技术属性】
技术研发人员：李沫，汤戈，肖尧，王宇翔，
申请(专利权)人：成都理工大学，
类型：发明
国别省市：