一种用于清理PECVD石英管的弯头吹气装置制造方法及图纸

技术编号:39379824 阅读:10 留言:0更新日期:2023-11-18 11:09
本实用新型专利技术公开了一种用于清理PECVD石英管的弯头吹气装置,包括用于接气源且同时能控制气体开通关断的手转阀、控制气体压力大小的调压器、用来输送气体的中空管、用于方便手持操作的前提手、后把手、使气体转向进行反吹的弯头、用来提高吹力的出气口、进气口、所述调压器位于手转阀和后把手之间,两端中空管分别与其相连,用于控制输出气体压力,所述进气口设置于靠近手转阀的中空管上,出气口与弯头远离进气口,位于中空管的另一端。具备提高了产品产量和质量的优点,进而解决了清理过程中,金属件直接与石英管接触、摩擦,导致金属离子污染,钢丝球易脱落,需多次固定,时间成本较高。石英耙质地较脆,清理炉管过程中易损坏的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于清理PECVD石英管的弯头吹气装置


[0001]本技术涉及清理PECVD炉管
,具体来说,涉及一种用于清理PECVD石英管的弯头吹气装置。

技术介绍

[0002]在目前太阳能电池片生产过程中,管式设备使用较多,因工艺原理和温差变化,管内逐渐累积大量碎片、粉尘;但由于炉管长度较长且空间狭小,故人无法直接清理,需要使用特制的工具;但由于管内结构复杂,机台内空间狭小,长期面临清理困难,耗用时间长,不能彻底清理干净,且有损伤管壁的风险;
[0003]然而,目前的清理工具存在诸多问题,如钢耙由于炉管内的特殊环境,清理不干净,且在清理时和炉管互相接触,容易损坏炉管和造成金属离子污染。钢管结合钢丝球,容易有钢丝球的丝屑物残留到炉管中,造成金属离子污染,且清理过程中,钢丝球易脱落,需多次固定,时间成本较高。石英耙质地较脆,清理炉管过程中易损坏,且售价较高,成本劣势大。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足,本技术提供了一种用于清理PECVD石英管的弯头吹气装置,具备提高了产品产量和质量的优点,进而解决了清理过程中,金属件直接与石英管接触、摩擦,导致金属离子污染,钢丝球易脱落,需多次固定,时间成本较高。石英耙质地较脆,清理炉管过程中易损坏,且售价较高的问题。
[0005]为实现上述具备提高了产品产量和质量的优点,本技术采用的具体技术方案如下:
[0006]一种用于清理PECVD石英管的弯头吹气装置,包括用于接气源且同时能控制气体开通关断的手转阀、控制气体压力大小的调压器、用来输送气体的中空管、用于方便手持操作的前提手、后把手、使气体转向进行反吹的弯头、用来提高吹力的出气口、进气口、所述调压器位于手转阀和后把手之间,两端中空管分别与其相连,用于控制输出气体压力,所述进气口设置于靠近手转阀的中空管上,出气口与弯头远离进气口,位于中空管的另一端。
[0007]进一步的,所述中空管为内径8mm的空心钢管,钢管与手转、调压器、进气口、弯头、出气口相连。
[0008]进一步的,所述进气口一端连接快接快拆气源,出气口一端连接中空管;
[0009]进一步的,所述后把手使用隔热、耐热材料制作。
[0010]进一步的,所述前提手使用隔热、耐热材料制作。
[0011]进一步的,所述弯头为一体焊接或螺纹接口。
[0012]进一步的,所述出气口为收窄型构件。
[0013]与现有技术相比,本技术提供了一种用于清理PECVD石英管的弯头吹气装置,具备以下有益效果:
[0014]弯头吹气装置不与管壁直接接触,故不易产生金属离子污染,此外也不会损伤到炉管,不会破坏炉管内已形成的特定的反应环境,清理炉管的动作不会从工具方面影响到后续产品的良率、效率,使用高压气体来清理,清理较彻底,碎片粉尘皆可请清理,对后续的高频次数、温度均匀性都是有益的,提高了产品产量和质量;因为外接气体可直接使用自动化机台的压缩空气,所以使用便利,因中空管选用不锈钢,且各部分都是易于采购、价格低廉、结构简单的常见物品,故成本低,且不易损坏的优点。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本技术的结构示意图;
具体实施方式
[0017]为进一步说明各实施例,本技术提供有附图,这些附图为本技术揭露内容的一部分,其主要用以说明实施例,并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理,配合参考这些内容,本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本技术的优点,图中的组件并未按比例绘制,而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。
[0018]根据本技术的实施例,提供了一种用于清理PECVD石英管的弯头吹气装置。
[0019]现结合附图和具体实施方式对本技术进一步说明,如图1所示,根据本技术实施例的一种用于清理PECVD石英管的弯头吹气装置,包括用于接气源且同时能控制气体开通关断的手转阀1、控制气体压力大小的调压器2、用来输送气体的中空管5、用于方便手持操作的前提手4、后把手3、使气体转向进行反吹的弯头6、用来提高吹力的出气口8、进气口7、所述调压器2位于手转阀1和后把手3之间,两端中空管5分别与其相连,用于控制输出气体压力,所述进气口7设置于靠近手转阀1的中空管5上,出气口8与弯头6远离进气口7,位于中空管5的另一端。
[0020]在一个实施例中,所述中空管5为内径8mm的空心钢管,钢管为不锈钢管、钛合金中任意一种,钢管与手转阀1、调压器2、进气口7、弯头6、出气口8相连。达到气体定向流动且压力受控的目的。
[0021]在一个实施例中,所述进气口7一端连接快接快拆气源,可以直接使用自动化机台压缩空气,外接气体可使用自动化机台的压缩空气、罐装可移动压缩空气、或罐装可移动压缩氮气;出气口8一端连接中空管5;
[0022]在一个实施例中,所述后把手3使用隔热、耐热材料制作,方便手持操作,不被烫伤;
[0023]在一个实施例中,所述前提手4使用隔热、耐热材料制作,方便固定操作,避免中空管5过细,产生滚动,且避免烫伤;
[0024]在一个实施例中,所述弯头6使用一体焊接或螺纹接口皆可,通过结构设置改变气体前进方向,达到反吹的目的;
[0025]在一个实施例中,所述出气口8为收窄型构件,避免因气体压力不足导致的吹力不够,清理效果不佳的情况。
[0026]工作原理:通过中空管5将压缩气体从管体尾部输送到头部,利用头部特殊设计的弯头6,反吹碎片,从内向外,将其清理出来。
[0027]在本技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已,并不用以限制本技术,凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于清理PECVD石英管的弯头吹气装置,其特征在于:包括用于接气源且同时能控制气体开通关断的手转阀(1)、控制气体压力大小的调压器(2)、用来输送气体的中空管(5)、用于方便手持操作的前提手(4)、后把手(3)、使气体转向进行反吹的弯头(6)、用来提高吹力的出气口(8)、进气口(7)、所述调压器(2)位于手转阀(1)和后把手(3)之间,两端中空管(5)分别与其相连,用于控制输出气体压力,前提手(4)位于后把手(3)的左侧,所述进气口(7)设置于靠近手转阀(1)的中空管(5)上,出气口(8)与弯头(6)远离进气口(7),位于中空管(5)的另一端。2.根据权利要求1所述一种用于清理PECVD石英管的弯头吹气装置,其特征在于:所述中空管(5)为内径8mm的空心钢管,钢管为不锈钢管、钛合金中任意...

【专利技术属性】
技术研发人员:毕聪
申请(专利权)人:江苏润阳光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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