【技术实现步骤摘要】
一种用于容纳液态二氯二氢硅的取样瓶
[0001]本技术涉及氯硅烷精馏
,具体涉及一种用于容纳液态二氯二氢硅的取样瓶。
技术介绍
[0002]目前,在改良西门子法多晶硅生产工艺中,会涉及到重要副产品液态二氯二氢硅,尤其在还原反应中,二氯二氢硅的配比直接影响多晶硅沉积速率。同时,在氯硅烷精馏工艺中,控制氯硅烷中二氯二氢硅组分含量也尤为重要。因此,在行业中准确分析液体氯硅烷中二氯二氢硅的含量及其重要,能够为生产工艺调整提供有效数据。
[0003]现有技术中,液体二氯二氢硅取样方式为液体密闭取样器配套如图1所示的PFA专用取样瓶,该取样瓶包括瓶身1、瓶颈2及设置在瓶颈2内的硅胶垫3,取样方法为:将取样瓶安装在密闭取样器上,取样器上的取样针和放空针扎破硅胶垫3,打开氮气吹扫阀门,氮气由取样针进入取样瓶并对其吹扫,气流由放空针输出,吹扫完成后关闭氮气阀门,打开物料阀门使液体二氯二氢硅由取样针流入取样瓶中,满足分析样品量后关闭取样阀门完成取样。
[0004]由于二氯二氢硅具有沸点低的特性(沸点:8.3℃),在氯硅烷样 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于容纳液态二氯二氢硅的取样瓶,其特征在于,包括:相互连通的瓶身和瓶颈;第一密封层,设于瓶颈中;两个针管组件,设于第一密封层上,供取样针或放空针穿过;第二密封层,设于第一密封层下方的瓶颈中;夹套,设于瓶身外部;保温层,设于夹套外部;其中,所述第一密封层与第二密封层之间形成密封的保压腔,所述夹套与瓶身之间存在间距形成密封的介质腔,所述介质腔内设有储冷介质。2.根据权利要求1所述的用于容纳液态二氯二氢硅的取样瓶,其特征在于,所述第一密封层为密封板。3.根据权利要求1所述的用于容纳液态二氯二氢硅的取样瓶,其特征在于,所述第二密封层为硅胶垫。4.根据权利要求1所述的用于容纳液态二氯二氢硅的取样瓶,其特征在于,所述针管组件包括竖直设于第一密封层上的针筒,所述针筒的内径与取样针、放空针的外径适配。5.根据权利要求4所述的用于容纳液态二氯二氢...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯曙光,慕道焱,侯海波,王雅茹,靳晓东,李日红,
申请(专利权)人:内蒙古通威高纯晶硅有限公司,
类型:新型
国别省市:
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