一种ALD铝舟的清理方法技术

本发明专利技术公开了一种ALD铝舟的清理方法，属于太阳能电池制造技术领域，通过喷砂去除ALD铝舟表面的氧化铝层，清理方法包括：设定气体流量压力，对氧化铝层进行均匀喷砂，每次喷砂后通过肉眼观察氧化铝层是否清理干净，如果未清理干净，对同一位置重新喷砂，重复操作，直至能够清晰看到铝舟保护层颜色，停止该位置喷砂，进行气枪吹扫，再对其它位置重复上述操作。本发明专利技术提供的清理方法避免了现有酸碱药液浸泡对铝舟保护层造成的破坏，无需重新制备保护层，降低了清理成本，通过与厂家送洗清理效果相比，同样能够避免舟杆位置不良以及铝舟齿印的出现。的出现。的出现。

【技术实现步骤摘要】
一种ALD铝舟的清理方法


[0001]本专利技术属于太阳能电池制造
，特别是涉及一种ALD铝舟的清理方法。

技术介绍

[0002]随着光伏行业的发展和技术的不断创新，太阳能电池片制造过程中的镀膜工序的氧化铝制备逐步被单分出来。现有ALD机台多为腔室机台，ALD机台工装载具为铝制工装，铝舟工装对产线良率存在一定影响，经过长时间的工艺运行后，会在铝舟上特别是铝舟接触硅片时舟齿上沉积氧化铝及其混合物，这种混合物一方面用常规擦拭处理不掉，同时由于其很容易吸潮，会导致在硅片接触铝舟舟齿的位置容易产生铝舟齿印，进而导致电池片出现黑色斑状不良。金属杆舟齿位置覆盖比较厚的氧化铝膜，积累到一定程度后，氧化铝层会翘起脱落，金属杆会与硅片直接接触，金属与电池片直接接触会形成EL舟齿不良，所以需要定期进行清洗处理。
[0003]针对长时间工艺后的ALD铝制工装清理，目前行业中一直是外送厂家代清理，厂家通过酸碱药液等方法对铝舟进行浸泡清洗，该清洗过程会破坏铝舟原有的保护层，因此清洗之后还要通过化学氧化或者电镀镀金属保护层，上述清理方式很大程度上会增加太阳能电池的制造成本，且送洗周期也比较长，一般在10
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20天。
[0004]为了改善上述问题，考虑采用厂内自主清理方法，但是外送清理过程中使用的酸碱药液的组分无法获知，同时表面氧化及电镀金属保护层所需设备还需要重新采购，而且化学氧化及电镀过程中会产生危化气体，考虑到药液处理成本等诸多问题，本领域亟需一种周期短、成本低、设备简单、清理过程中不会产生危化气体也无会破坏铝舟原有保护层的厂内ALD铝舟清理方法。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种ALD铝舟的清理方法，以解决上述现有技术存在的问题。
[0006]本专利技术提供的方案之一：
[0007]一种ALD铝舟的清理方法，通过喷砂去除ALD铝舟表面的氧化铝层。
[0008]优选的，所述清理方法包括：设定气体流量压力，对氧化铝层进行均匀喷砂，每次喷砂后通过肉眼观察氧化铝层是否清理干净，如果未清理干净，对同一位置重新喷砂，重复操作，直至能够清晰看到铝舟保护层颜色，停止该位置喷砂，进行气枪吹扫，再对其它位置的氧化铝层重复上述操作。
[0009]现有的清理方法中通过酸碱药液等对铝舟进行浸泡的过程中，必然会破坏铝舟原有的保护层，本专利技术通过喷砂的方法，避免了对保护膜的破坏，保证了铝舟的完整性，无需重新制备保护层，降低清理成本的同时，还避免了制备保护层过程中危化气体的产生。
[0010]优选的，所述喷砂的气体流量压力为0.2
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0.6Mpa，所述喷砂在同一位置停留的时间为2
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10s。
[0011]对于氧化铝层比较薄的位置，气体流量过大会对保护层造成磨损破坏，气体流量过小，同一位置反复喷砂的次数增加，因此将气体流量压力控制0.2
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0.6Mpa。
[0012]喷砂过程中，同一个位置停留时间过长，砂料对同一位置的氧化铝层作用时间过长，可能对保护层造成磨损破坏，而对同一位置的氧化铝层作用时间过短，会造成对同一位置喷砂次数增加，延长了喷砂时间，因此将在同一位置停留的时间控制在2
‑
10s。
[0013]更为优选的，所述喷砂的气体流量压力为0.6Mpa，所述喷砂在同一位置停留的保留时间为10s。
[0014]优选的，所述喷砂的砂料为白刚玉；所述白刚玉的粒径为220目
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400目。
[0015]本专利技术在实施过程中发现80目的白刚玉颗粒较大，喷砂过程保护层破坏比较严重，且停留时间不可控，而220目及以上目数颗粒感更小，更易操控停留时间，能够确保保护层不会破坏，因此将白刚玉的粒径限定为220
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400目。
[0016]本专利技术选择白刚玉作为砂料的原因在于白刚玉价格便宜，相比石英沙或者铁砂价格有优势，能够显著降低本专利技术清理方法的成本。
[0017]优选的，所述清理方法还包括待ALD铝舟的整个部件的保护层完全露出后，将清理完毕的ALD铝舟部件进行组装，用流动水冲洗，除去残留氧化铝粉末，吹干后即可。
[0018]本专利技术的有益效果：
[0019]在太阳能电池制备中，本专利技术针对ALD铝舟工装载具，进行厂内自主清理，可以在更大程度上降低电池片制造的成本及送洗周期过长问题，减少EL不良带来的降级。同时本专利技术提供的清理方法避免了现有酸碱药液浸泡对铝舟保护层造成的破坏，无需重新制备保护层，降低了清理成本，同厂家送洗清理效果相比，同样能够避免舟杆位置不良以及铝舟齿印的出现。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为实施例1中ALD铝舟的清理方法的流程图；
[0022]图2为对比例1中ALD铝舟的清理前后部件照片对比图；
[0023]图3为实施例3中ALD铝舟的清理后部件照片。
具体实施方式
[0024]现详细说明本专利技术的多种示例性实施方式，该详细说明不应认为是对本专利技术的限制，而应理解为是对本专利技术的某些方面、特性和实施方案的更详细的描述。
[0025]应理解本专利技术中所述的术语仅仅是为描述特别的实施方式，并非用于限制本专利技术。另外，对于本专利技术中的数值范围，应理解为还具体公开了该范围的上限和下限之间的每个中间值。在任何陈述值或陈述范围内的中间值以及任何其他陈述值或在所述范围内的中间值之间的每个较小的范围也包括在本专利技术内。这些较小范围的上限和下限可独立地包括或排除在范围内。
[0026]除非另有说明，否则本文使用的所有技术和科学术语具有本专利技术所述领域的常规技术人员通常理解的相同含义。虽然本专利技术仅描述了优选的方法和材料，但是在本专利技术的实施或测试中也可以使用与本文所述相似或等同的任何方法和材料。本说明书中提到的所有文献通过引用并入，用以公开和描述与所述文献相关的方法和/或材料。在与任何并入的文献冲突时，以本说明书的内容为准。
[0027]在不背离本专利技术的范围或精神的情况下，可对本专利技术说明书的具体实施方式做多种改进和变化，这对本领域技术人员而言是显而易见的。由本专利技术的说明书得到的其他实施方式对技术人员而言是显而易见的。本申请说明书和实施例仅是示例性的。
[0028]关于本文中所使用的“包含”、“包括”、“具有”、“含有”等等，均为开放性的用语，即意指包含但不限于。
[0029]实施例1一种ALD铝舟的清理方法
[0030]S1.待机台铝舟使用周期到期后，将下线的铝舟集中放置于清理区域，将铝舟拆卸，把组成部件拆分；对拆分后的部件进行确认，将弯曲、舟齿损坏部件进行隔离更换；
[0031]S2.确认喷砂清理机的排风设施、电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ALD铝舟的清理方法，其特征在于，通过喷砂去除ALD铝舟表面的氧化铝层。2.根据权利要求1所述的一种ALD铝舟的清理方法，其特征在于，所述清理方法包括：设定气体流量压力，对氧化铝层进行均匀喷砂，每次喷砂后通过肉眼观察氧化铝层是否清理干净，如果未清理干净，对同一位置重新喷砂，重复操作，直至能够清晰看到铝舟保护层颜色，停止该位置喷砂，进行气枪吹扫，再对其它位置的氧化铝层重复上述操作。3.根据权利要求2所述的一种ALD铝舟的清理方法，其特征在于，所述喷砂的气体流量压力为0.2
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0.6Mpa，所述喷砂在同一位置停留的时间为2
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【专利技术属性】
技术研发人员：张麟，郑作锋，赵鹏春，赵兴春，张麒，吴姜凯，周锦凤，魏朋飞，严俊斌，
申请(专利权)人：一道新能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：