压电薄膜制造技术

本发明专利技术提供一种即使长时间使用或重复使用也可以抑制声压的降低的耐久性高的压电薄膜。所述压电薄膜具有：压电体层，由在包含高分子材料的基质中含有压电体粒子的高分子复合压电体组成；及电极层，形成于压电体层的两面，压电体层的至少一个表面的粗糙度曲线的偏斜度Rsk为

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电薄膜


[0001]本专利技术涉及一种压电薄膜。

技术介绍

[0002]随着液晶显示器或有机电致发光(EL)显示器等显示器的薄型化，也对这些薄型显示器中所使用的扬声器要求轻量化
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薄型化。此外，在具有挠性的柔性显示器中，为了在不损害轻量性和挠性的状态下将柔性显示器一体化，还要求具有挠性。作为这种轻量
·
薄型并具有挠性的扬声器，可考虑采用具有响应施加电压而伸缩的性质的片状压电薄膜。
[0003]并且，还考虑到通过在具有挠性的振动板上粘贴具有挠性的激发器来设为具有挠性的扬声器。激发器是指，通过与各种物品接触的状态安装而使物品振动以发出声音的激子。
[0004]作为具有这种挠性的片状的压电薄膜或者激发器，提出使用在基质中包含压电体粒子的复合压电体。
[0005]例如，在专利文献1中记载有压电薄膜，其具有在常温下由具有粘弹性的高分子材料组成的粘弹性基质中分散压电体粒子而成的高分子复合压电体、形成于高分子复合压电体的两面的薄膜电极及形成于薄膜电极的表面的保护层。
[0006]以往技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：日本特开2014
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014063号公报

技术实现思路

[0009]专利技术要解决的技术课题
[0010]在此，根据本专利技术人的研究，可知在长时间使用压电薄膜时，存在导致声压降低的耐久性的问题，其中，所述压电薄膜具有在由高分子材料组成的基质中分散压电体粒子而成的高分子复合压电体及形成于高分子复合压电体的两面的电极层。
[0011]本专利技术的课题在于解决这种以往技术的问题，并提供一种即使长时间使用也可以抑制声压降低的耐久性高的压电薄膜。
[0012]用于解决技术课题的手段
[0013]为了解决这些问题，本专利技术具有以下结构。
[0014][1]一种压电薄膜，其具有：压电体层，由在包含高分子材料的基质中含有压电体粒子的高分子复合压电体组成；及电极层，形成于压电体层的两面，
[0015]压电体层的至少一个表面的粗糙度曲线的偏斜度Rsk为
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3.5～5。
[0016][2]根据[1]所述的压电薄膜，其中，
[0017]压电体粒子的平均粒径为0.5μm～5μm。
[0018][3]根据[1]或[2]所述的压电薄膜，其中，
[0019]压电体层的表面的表面粗糙度Ra为10nm～250nm。
[0020][4]根据[1]至[3]中任一项所述的压电薄膜，其中，
[0021]压电体层包括压电体层主体及中间层。
[0022]专利技术效果
[0023]根据这种本专利技术，能够提供一种即使长时间使用或重复使用也可以抑制声压的降低的耐久性高的压电薄膜。
附图说明
[0024]图1是概念性地表示本专利技术的压电薄膜的例的图。
[0025]图2是用于说明压电体层的表面形状的局部放大图。
[0026]图3是用于说明偏斜度Rsk的概念图。
[0027]图4是用于说明偏斜度Rsk的概念图。
[0028]图5是用于说明压电薄膜的制作方法的一例的概念图。
[0029]图6是用于说明压电薄膜的制作方法的一例的概念图。
[0030]图7是用于说明压电薄膜的制作方法的一例的概念图。
[0031]图8是用于说明压电薄膜的制作方法的一例的概念图。
[0032]图9是概念性地表示具有本专利技术的压电薄膜的压电元件的一例的图。
[0033]图10是概念性地表示具有本专利技术的压电薄膜的压电元件的另一例的图。
具体实施方式
[0034]以下，根据附图所示的优选实施方式，对本专利技术的压电薄膜进行详细说明。
[0035]以下所记载的构成要件的说明是根据本专利技术的代表性实施方式而完成的，但本专利技术并不限定于这种实施方式。
[0036]另外，本说明书中，使用“～”表示的数值范围是指包含记载于“～”的前后的数值作为下限值及上限值的范围。
[0037][压电薄膜][0038]本专利技术的压电薄膜具有：
[0039]压电体层，由在包含高分子材料的基质中含有压电体粒子的高分子复合压电体组成；及电极层，形成于压电体层的两面，
[0040]压电体层的至少一个表面的粗糙度曲线的偏斜度Rsk为
‑
3.5～5。
[0041]图1中概念性地表示本专利技术的压电薄膜的一例。
[0042]如图1所示，压电薄膜10具有：压电体层20，具有压电性的片状物；第1电极层24，层叠于压电体层20中的其中一个表面；第1保护层28，层叠于第1电极层24上；第2电极层26，层叠于压电体层20的另一个表面；及第2保护层30，层叠于第2电极层26上。
[0043]压电体层20是由在含有高分子材料的基质34中含有压电体粒子36的高分子复合压电体组成的层。并且，第1电极层24及第2电极层26为本专利技术中的电极层。
[0044]如后所述，作为优选的方式，压电薄膜10(压电体层20)在厚度方向上被极化。
[0045]作为一例，在扬声器、麦克风及吉他等乐器中所使用的拾音器等各种声波器件(音频设备)中，这种压电薄膜10用于根据电信号的振动产生(再生)声音，或将声音产生的振动转换为电信号。
[0046]并且，除此以外，压电薄膜也能够用于压敏传感器及发电元件等中。
[0047]或者，压电薄膜也能够作为通过与各种物品接触的状态安装而使物品振动以发出声音的激子(激发器)来利用。
[0048]在压电薄膜10中，第2电极层26与第1电极层24形成电极对。即，压电薄膜10具有如下结构：以电极对即第1电极层24及第2电极层26夹持压电体层20的两面，并且由第1保护层28及第2保护层30夹持该层叠体而成。
[0049]如此，在压电薄膜10中，由第1电极层24及第2电极层26夹持的区域根据所施加的电压而伸缩。
[0050]另外，第1电极层24及第1保护层28以及第2电极层26及第2保护层30根据压电体层20的极化方向而标注名称。因此，第1电极层24与第2电极层26以及第1保护层28与第2保护层30具有基本上相同的结构。
[0051]并且，压电薄膜10可以具有除了这些层以外还覆盖例如侧面等的压电体层20露出的区域以防止短路等的绝缘层等。
[0052]关于这种压电薄膜10，若对第1电极层24及第2电极层26施加电压，则根据所施加的电压而压电体粒子36向极化方向伸缩。其结果，压电薄膜10(压电体层20)向厚度方向收缩。同时，由于帕松比的关系，压电薄膜10也沿面内方向伸缩。该伸缩为0.01～0.1％左右。另外，在面内方向上，沿所有方向各向同性地伸缩。
[0053]压电体层20的厚度优选为10～300μm左右。因此，厚度方向的伸缩最大也就0.3μm左右而非常小。
[0054]与此相对，压电薄膜10即压电体层20在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电薄膜，其具有：压电体层，由在包含高分子材料的基质中含有压电体粒子的高分子复合压电体构成；及电极层，形成于压电体层的两面，所述压电体层的至少一个表面的粗糙度曲线的偏斜度Rsk为
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3.5～5。2.根据权利要求1所述的压电薄膜，...

【专利技术属性】
技术研发人员：成林美里，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：