微流控芯片及其制造方法技术

本发明专利技术提供适当地保护微流控芯片的电极的技术。微流控芯片(1)具有基板(10)、电极(31)、绝缘膜(33)以及流体容纳部(20)。电极(31)配置在基板(10)的上表面。绝缘膜(33)覆盖电极(31)的上表面。绝缘膜(33)由使电极(31)中含有的金属氧化的氧化膜或使电极(31)中含有的金属氮化的氮化膜构成。流体容纳部(20)在绝缘膜(33)的上侧能够容纳流体。缘膜(33)的上侧能够容纳流体。缘膜(33)的上侧能够容纳流体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微流控芯片及其制造方法


[0001]本专利技术涉及微流控芯片(microfluidic chip)及其制造方法。

技术介绍

[0002]在再生医疗领域中，注重分离细胞等生物体内微粒并捕捉的分取技术，作为其技术之一，已知利用介电电泳力的分取装置(例如，专利文献1)。这种分取装置例如具有使生物体内微粒与样品液(培养液等)一起流动的流路、以及用于分取该生物体内微粒的电极。分取装置对电极施加交流电压，使在流路内流动的液体中产生电场，从而对生物体内微粒进行电分取。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第2014/207617号

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]当对电极施加使生物体内微粒移动的程度的电压时，在构成电极的金属与液体界面之间发生电化学反应，电极能够容易电解。因此，有时通过成膜处理形成绝缘保护膜，以保护电极。
[0008]然而，绝缘保护膜在交流电压下作为电抗(虚拟电阻)发挥作用，这会降低来自电极的电压输出电平。因此，当较本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种微流控芯片，其中，具有：基板；电极，配置于所述基板的一侧的表面；绝缘膜，覆盖所述电极的一侧的表面，由使所述电极中含有的金属氧化的氧化膜或使所述金属氮化的氮化膜构成；以及流体容纳部，在所述绝缘膜的所述一侧能够容纳流体。2.如权利要求1所述的微流控芯片，其中，所述流体容纳部在所述流体与所述绝缘膜接触的状态下容纳所述流体。3.如权利要求1或2所述的微流控芯片，其中，所述电极朝向所述一侧依次包括导电层以及表面层，所述导电层包含具有导电性的第一金属，所述表面层包含与所述第一金属不同的第二金属，所述绝缘膜为所述表面层中包含的所述第二金属的氧化膜或氮化膜。4.如权利要求3所述的微流控芯片，其中，所述第二金属是钛、铟、锡、铜、钼、银、铬、钽、钨、硅或由它们构成的金属化合物。5.如权利要求1～4中任一项所述的微流控芯片，其中，所述流体容纳部具有所述流体流动的流路，所述流路位于所述绝缘膜的所述一侧。6.如权利要求5所述的微流控芯片，其中，所述流路具有：主流路，具有第一端部和...

【专利技术属性】
技术研发人员：浦川哲，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：