物理量传感器、电子设备以及移动体制造技术

本发明专利技术提供物理量传感器、电子设备以及移动体，事先检测直至物理量传感器发生故障为止的状态。传感器故障预知系统预知包含振动元件片的物理量传感器的故障，该振动元件片根据驱动信号进行驱动振动，输出基于物理量的检测信号，该传感器故障预知系统具有：存储器，其存储与驱动信号或检测信号的基准值相关的基准信息；以及处理器，其根据与驱动信号或检测信号的计测值相关的信号信息和基准信息，输出与直至物理量传感器发生故障为止的阶段性或连续性的状态相关的预知信息。性的状态相关的预知信息。性的状态相关的预知信息。

【技术实现步骤摘要】
物理量传感器、电子设备以及移动体
[0001]本申请是基于专利技术名称为“传感器故障预知系统、传感器故障预知方法、物理量传感器、电子设备以及移动体”，申请日为2020年03月20日，申请号为202010199432.5的专利技术专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及物理量传感器、电子设备及移动体。

技术介绍

[0003]已知有判定振动型的陀螺仪传感器等物理量传感器的故障的技术。例如，在专利文献1所记载的技术中，根据角速度检测装置中的振子的泄漏信号来判定角速度检测装置的故障。更具体而言，监视根据泄漏信号的振幅而变化的积分电路的输出信号，在该输出信号处于规定的范围内的情况下，输出表示没有异常的信号，另一方面，在该输出信号处于规定的范围外的情况下，输出表示存在异常的信号。
[0004]专利文献1：日本特开2000
‑
171257号公报
[0005]在专利文献1所记载的技术中，由于仅输出没有异常和有异常这两种信号，因此存在无法事先检测直至角速度检测装置发生故障为止的状态的课题。r/>
技术实现思路
<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物理量传感器，其特征在于，所述物理量传感器包含：传感器元件片；电路元件；以及封装，其在内部的空间中收纳有所述传感器元件片以及所述电路元件，所述封装包含：基座，其对所述传感器元件片以及所述电路元件进行支承；以及盖，其以使所述空间气密的方式与所述基座接合，所述电路元件包含判定部，该判定部基于空间的压力变动来判定是处于故障还是要达到所述故障的状态。2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，所述空间为减压状态。3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，所述传感器元件片包含：驱动臂，其设置有驱动电极；以及检测臂，其设置有检测电极。4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，所述电路元件包含：驱动电路，其与所述驱动电极连接；以及检测电路，其与所述检测电极连接。5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，所述电路元件包含存储器，所述判定部基于存储在所述存储器中且与基准值相关的基准信息(D1)、以及从所述驱动电路输出的信号信息(SD)，来判定要达到所述故障的状态。6.根据权利要求5所述的物理量传感器，其特征在于，所述信号信息(SD)是与驱动所述驱动臂的驱动信号的电压值相关的信息。7.根据权利要求6所述的物理量传感器，其特征在于，所述基准信息(D1)包含：与表示相对于所述基准值的范围的第1范围相关的信息；以及与表示相对于所述基准值的范围的第2范围相关的信息，所述第2范围是与所述第1范围不同的范围。8.根据权利要求7所述的物理量传感器，其特征在于，所述判定部在所述信号信息(SD)在所述第1范围内的情况下，判定为故障的第1预知级别，在所述信号信息(SD)在所述第2范围内的情况下，判定为与所述第1预知级别不同的故障的第2预知级别。9.一种电子设备，其中，所述电子设备包含权利要求1至8中任一项所述的物理量传感器。10.一种移动体，其中，所述移动体包含...

【专利技术属性】
技术研发人员：中山力，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：