感光性树脂组合物制造技术

一种感光性树脂组合物，其包含溶剂和具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物与具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物的反应产物。上芳香族环的四羧酸衍生物的反应产物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物


[0001]本专利技术涉及感光性树脂组合物、由该组合物得到的树脂膜、使用该组合物的感光性抗蚀膜、带固化凹凸图案的基板的制造方法、带固化凹凸图案的基板、及具有固化凹凸图案的半导体装置。

技术介绍

[0002]现有在电子部件的绝缘材料、及半导体装置的钝化膜、表面保护膜、层间绝缘膜等中，使用兼具优异的耐热性、电特性及机械特性的聚酰亚胺树脂。该聚酰亚胺树脂中，以感光性聚酰亚胺前体的形态供给的聚酰亚胺树脂，通过该前体的涂布、曝光、显影、及基于固化的热酰亚胺化处理，能够容易地形成耐热性的凹凸图案覆膜。这样的感光性聚酰亚胺前体与现有的非感光性聚酰亚胺树脂相比，具有能够大幅缩短工序的特征。
[0003]专利文献1和专利文献2中提出了含有使用了具有(甲基)丙烯酰氧基的二胺的聚酰胺酸或聚酰亚胺的感光性树脂组合物。现有技术文献专利文献
[0004]专利文献1：日本特开2000
‑
347404号公报专利文献2：日本特表2012
‑
516927号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，包含：溶剂，和具有光聚合性基团的芳香族二胺化合物与具有3个以上芳香族环的四羧酸衍生物的反应产物。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述反应产物为聚酰胺酸或将聚酰胺酸进行脱水闭环而得到的聚酰亚胺。3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，所述聚酰胺酸至少具有下述式(1)所表示的结构单元，所述聚酰亚胺至少具有下述式(2)所表示的结构单元，式(1)中，Ar1表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团，Ar2表示具有3个以上芳香族环的4价有机基团，式(2)中，Ar3表示具有光聚合性基团及芳香族环的2价有机基团，Ar4表示具有3个以上芳香族环的4价有机基团。4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中，所述式(1)中的Ar2和所述式(2)中的Ar4为下述式(3)所表示的4价有机基团，式(3)中，X1及X2各自独立地表示直接键合、醚键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、脲键、硫醚键或磺酰键，R1及R2各自独立地表示被或不被取代的碳原子数1至6的烷基，Y表示下述式(3
‑
1)或(3
‑
2)所表示的2价有机基团，n1及n2各自独立地表示0至3的整数，在R1为多个的情况下，多个R1相同或不同，在R2为多个的情况下，多个R2相同或不同，*表示结合键，
式(3
‑
1)中，Z1表示直接键合、醚键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、脲键、硫醚键或磺酰键；R3及R4各自独立地表示被或不被取代的碳原子数1至6的烃基；m1表示0至3的整数；n3及n4各自独立地表示0至4的整数；在Z1为多个的情况下，多个Z1相同或不同；在n4为多个的情况下，多个n4相同或不同；在R3为多个的情况下，多个R3相同或不同；在R4为多个的情况下，多个R4相同或不同，*表示结合键，式(3
‑
2)中，Z2表示下述式(4)或(5)所表示的2价有机基团；R5及R6各自独立地表示被或不被取代的碳原子数1至6的烃基；n5及n6各自独立地表示0至4的整数；在R5为多个的情况下，多个R5相同或不同；在R6为多个的情况下，多个R6相同或不同；*表示结合键，式(4)中，R7及R8各自独立地表示氢原子、或者被或不被卤素原子取代的碳原子数1至6的烃基，*表示结合键，式(5)中，R9及R
10
各自独立地表示被或不被取代的碳原子数1至6的亚烷基，或者被或不被取代的碳原子数6至10的亚芳基，...

【专利技术属性】
技术研发人员：远藤贵文，石井秀则，坂口崇洋，荻野浩司，星野有辉，
申请(专利权)人：日产化学株式会社，
类型：发明
国别省市：