一种阴极荧光探头装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的阴极荧光探头装置，包括：探头部、前端支撑部、调节部、后端支撑部、导向部及驱动部；探头部包括可移动管体和探头；可移动管体穿过前端支撑部和后端支撑部；前端支撑部包括固定件、第一可活动件及第二可活动件；第一可活动件与固定件滑动连接；第二可活动件与第一可活动件滑动连接；第二可活动件的第一端插在第一可活动件的轴向通孔内并与其内表面之间设有间隙；第二可活动件的径向内表面与可移动管体的径向外表面滑动连接；调节部包括横向调节件和纵向调节件；后端支撑部包括后支撑板，其径向内表面与可移动管体的径向外表面连接；导向部包括与第二可活动件连接的底板；后支撑板与底板滑动连接；驱动部用于驱动后支撑板沿底板移动。撑板沿底板移动。撑板沿底板移动。

【技术实现步骤摘要】
一种阴极荧光探头装置


[0001]本技术属于电子显微镜
，具体涉及一种阴极荧光探头装置。

技术介绍

[0002]现有阴极荧光探头的探头前端与法兰固定的结构部分，通常有两个自由度的调整，分别用来调整探头前端的左右自由度和上下自由度，其探头后端支撑的结构部分，也通常有两个自由度的调整，用来调整探头后端的左右自由度和上下自由度。通过探头前端和探头后端的四个自由度的调整，来使得阴极荧光探头在前后方向保证其同轴度。但是，现有阴极荧光探头由于利用螺纹的运动进行运动调整，因此在每一次调整完以后，螺纹间隙的变化会导致阴极荧光探头的重复运动精度差，从而长时间使用无法达到重复一致性的要求。并且，由于阴极荧光探头装配结构所调的自由度较多，导致阴极荧光探头装配结构调试困难，需要多次调整各个自由度才能达到相关的技术要求，复杂程度高，使用不便。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种阴极荧光探头装置。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种阴极荧光探头装置，包括：探头部、前端支撑部、调节部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阴极荧光探头装置，其特征在于，包括：探头部(1)、前端支撑部(2)、调节部(3)、后端支撑部(4)、导向部(5)以及驱动部(6)；所述探头部(1)包括可移动管体(11)和固定连接在所述可移动管体(11)第一端的探头(12)；所述可移动管体(11)的第二端轴向穿过所述前端支撑部(2)和所述后端支撑部(4)并设置在所述导向部(5)的上方；所述前端支撑部(2)包括固定件(21)、第一可活动件(22)以及第二可活动件(23)；所述第一可活动件(22)的轴向第一端与所述固定件(21)的轴向第一端左右滑动连接；所述第二可活动件(23)的轴向中部(231)与所述第一可活动件(22)的轴向第二端上下滑动连接；所述第二可活动件(23)的轴向第一端插设在所述第一可活动件(22)的轴向通孔(221)内；所述第二可活动件(23)的所述轴向第一端的径向外表面与所述轴向通孔(221)的内表面之间设置有间隙；所述第二可活动件(23)的径向内表面与所述可移动管体(11)的径向外表面滑动连接；所述调节部(3)包括横向调节件(31)和纵向调节件(32)；所述横向调节件(31)用于使得所述第一可活动件(22)相对所述固定件(21)进行左右移动，进而带动所述探头部(1)进行左右移动；所述纵向调节件(32)用于使得所述第二可活动件(23)相对所述第一可活动件(22)进行上下移动，进而带动所述探头部(1)进行上下移动；所述后端支撑部(4)包括后支撑板(41)，所述后支撑板(41)的径向内表面与所述可移动管体(11)的径向外表面固定连接；所述导向部(5)包括底板(51)，所述底板(51)与所述第二可活动件(23)的所述轴向中部(231)的底端固定连接；所述后支撑板(41)的底部与所述底板(51)滑动连接；所述驱动部(6)的动力输出端用于驱动所述后支撑板(41)沿所述底板(51)进行轴向前后移动。2.根据权利要求1所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述导向部(5)包括：导轨(52)、滑块(53)以及连接架(54)；所述导轨(52)轴向设置在所述底板(51)的顶部；所述后支撑板(41)的底部通过所述滑块(53)与所述导轨(52)连接；所述连接架(54)的第一端与所述后支撑板(41)固定连接，所述连接架(54)的第二端的两侧向下穿过所述导轨(52)的两侧后与所述驱动部(6)的动力输出端连接。3.根据权利要求2所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述驱动部(6)包括：调节轮(61)、旋转套(62)、珠体(63)、手轮轴(64)、第一锥齿轮(65)、第二锥齿轮(66)、齿轮架(67)以及丝杠(68)；所述调节轮(61)与所述旋转套(62)的第一端固定连接；所述旋转套(62)的第二端通过所述珠体(63)与所述手轮轴(64)的第一端连接并套设在所述手轮轴(64)的所述第一端的外表面上，所述手轮轴(64)的中部与所述第一锥齿轮(65)固定连接，所述手轮轴(64)的第二端穿过所述第一锥齿轮(65)与所述齿轮架(67)转动连接，所述齿轮架(67)设置在所述底板(51)的底部；所述第一锥齿轮(65)与所述第二锥齿轮(66)相啮合；所述丝杠(68)的第一端与所述第二锥齿轮(66)固定连接，所述丝杠(68)的第二端穿过所述齿轮架(67)与所述底板(51)的底部转动连接，所述丝杠(68)与所述连接架(54)的所述
第二端的两侧螺纹连接。4.根据权利要求3所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述驱动部(6)还包括弹性套(69)，所述弹性套(69)套设在所述珠体(63)和所述旋转套(62)的所述第二端的外表面上。5.根据权利要求4所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述珠体(63)的数目为多个，所述多个珠体(63)沿所述手轮轴(64)的所述第一端、所述旋转套(62)的所述第二端及所述弹性套(69)的周向间隔设置。6.根据权利要求5所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述手轮轴(64)的所述第一端周向间隔设置有多个开口槽(641)，所述旋转套(62)的所述第二端周向间隔设置有多个第一通孔(621)，所述弹性套(69)周向间隔设置有多个第二通孔(691)，所述珠体(63)的底部设置在所述开口槽(641)内，所述珠体(63)的顶部穿过所述第一通孔(621)并设置在所述第二通孔(691)内。7.根据权利要求4所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述弹性套(69)包括弹簧套，所述珠体(63)包括钢珠。8.根据权利要求1所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述横向调节件(31)包括：支架(311)、第一螺杆(312)及固定螺母(313)；所述支架(311)与所述固定件(21)固定连接；所述第一螺杆(312)的末...

【专利技术属性】
技术研发人员：王贺，何超，潘娟，
申请(专利权)人：北京金竟科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：