一种机械手测试方法及机械手测试设备技术

本发明专利技术涉及一种机械手测试方法及机械手测试设备。该机械手测试方法包括精度检测步骤，该精度检测步骤包括伸缩定位精度检测步骤、平移定位精度检测步骤和升降定位精度检测步骤中的至少一者；伸缩定位精度检测步骤包括：控制机械手平移至检测工位，并控制机械手的机械臂伸出，且利用视觉系统检测处于伸出状态的机械手的机械臂的第一位置数据；平移定位精度检测步骤包括：控制机械手平移第二预设距离，并利用视觉系统检测机械手的机械臂的第二位置数据；升降定位精度检测步骤包括：控制机械手的机械臂上升或下降一预设高度，并利用距离传感器检测机械手的机械臂的第三位置数据。离传感器检测机械手的机械臂的第三位置数据。离传感器检测机械手的机械臂的第三位置数据。

【技术实现步骤摘要】
一种机械手测试方法及机械手测试设备


[0001]本专利技术涉及机械手性能测试
，特别是涉及一种机械手测试方法及机械手测试设备。

技术介绍

[0002]在现代工业生产中，机械手的应用越来越广泛，常常用于搬运工件或产品。在晶圆制造工艺中，通常需要利用机械手来搬运晶圆等半导体器件。由于晶圆等半导体器件集成有高价值芯片，在搬运过程中对于机械手的定位精度、可靠性和使用寿命的要求极高，尽可能的在搬运半导体器件的过程中避免出现故障、半导体器件掉落或产生位置偏差的现象。因此对于机械手的性能测试与验证提出了更高的要求。
[0003]然而，目前机械手的测试与验证需要人工深度参与，严重依靠人为经验，无法满足结构紧凑、运动灵活可靠、重复定位精度高的半导体器件的搬运机械手的测试与验证需求。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对现有技术中机械手的测试与验证需要人工深度参与，严重依靠人为经验，无法满足结构紧凑、运动灵活可靠、重复定位精度高的半导体器件的搬运机械手的测试与验证需求的问题，提供一种改善上述缺陷的机械手测试方法及机械手测试设备。
[0005]一种机械手测试方法，包括精度检测步骤，所述精度检测步骤包括伸缩定位精度检测步骤、平移定位精度检测步骤和升降定位精度检测步骤中的至少一者；
[0006]所述伸缩定位精度检测步骤包括：控制机械手移动至检测工位，并控制所述机械手的机械臂伸出第一预设距离，之后控制视觉系统检测获取处于伸出状态的所述机械手的机械臂的第一位置数据，从而得到所述机械手的机械臂的伸缩定位精度；
[0007]所述平移定位精度检测步骤包括：控制所述机械手平移第二预设距离，之后控制所述视觉系统检测获取所述机械手的机械臂的第二位置数据，从而得到所述机械手的平移定位精度；
[0008]所述升降定位精度检测步骤包括：控制所述机械手的机械臂上升或下降一预设高度，之后控制距离传感器检测获取所述机械手的机械臂的第三位置数据，从而得到所述机械手的机械臂的升降定位精度。
[0009]在其中一个实施例中，所述精度检测步骤还包括旋转定位精度检测步骤；
[0010]所述旋转定位精度检测步骤包括：控制所述机械手的机械臂旋转一预设角度，并反向旋转所述预设角度，且控制所述视觉系统分别检测获取所述机械手的机械臂在旋转运动前的第四位置数据和在旋转运动后的第五位置数据，从而得到所述机械手的机械臂的旋转定位精度。
[0011]在其中一个实施例中，重复执行所述旋转定位精度检测步骤多次，以获取多个所述旋转定位精度；分析各个所述旋转定位精度，以得到所述机械手的机械臂的重复旋转定
位精度。
[0012]在其中一个实施例中，当所述精度检测步骤包括所述伸缩定位精度检测步骤时，重复执行所述伸缩定位精度检测步骤多次，以获取多个所述伸缩定位精度；分析各个所述伸缩定位精度，以得到所述机械手的机械臂的重复伸缩定位精度；
[0013]当所述精度检测步骤包括所述平移定位精度检测步骤时，重复执行所述平移定位精度检测步骤多次，以获取多个所述平移定位精度；分析各个所述平移定位精度，以得到所述机械手的重复平移定位精度；
[0014]当所述精度检测步骤包括所述升降定位精度检测步骤时，重复执行所述升降定位精度检测步骤多次，以获取多个所述升降定位精度；分析各个所述升降定位精度，以得到所述机械手的机械臂的重复升降定位精度。
[0015]在其中一个实施例中，所述机械手测试方法还包括上料步骤，所述上料步骤包括：
[0016]控制所述机械手移动至取料工位，之后驱动所述机械手的机械臂伸缩并拾取位于所述取料工位的样品；
[0017]控制所述机械手移动至放料工位，之后驱动所述机械手的机械臂伸缩并将样品释放至承载台。
[0018]在其中一个实施例中，在驱动所述机械手的机械臂伸缩并拾取位于所述取料工位的样品的步骤，与控制所述机械手移动至放料工位的步骤之间还包括以下步骤：
[0019]控制所述机械手移动至定位工位，之后驱动所述机械手的机械臂伸缩并将样品释放至对应所述定位工位布置的寻边机上；
[0020]控制所述寻边机对位于所述寻边机上的样品进行寻边定位；
[0021]当完成寻边定位之后，控制所述机械手的机械臂伸缩并拾取位于所述寻边机上的样品。
[0022]在其中一个实施例中，在所述上料步骤之后还包括下料步骤，所述下料步骤包括：
[0023]控制所述机械手移动至所述放料工位，之后驱动所述机械手的机械臂伸缩并拾取位于所述承载台上的样品；
[0024]控制所述机械手移动至下料工位，之后驱动所述机械手的机械臂伸缩并将样品释放至所述下料工位。
[0025]在其中一个实施例中，对于不同规格的样品分别循环执行所述上料步骤和所述下料步骤多次，并记录所述机械手搬运成功的次数，从而得到搬运成功率；
[0026]若某一规格的样品的搬运成功率大于或等于预设值时，则所述机械手兼容所述规格的样品；
[0027]若某一规格的样品的搬运成功率小于所述预设值时，则所述机械手不兼容所述规格的样品。
[0028]一种机械手测试设备，具有放料工位和检测工位；所述机械手测试设备包括承载台、视觉系统及距离传感器；
[0029]所述承载台对应于所述放料工位布置，所述视觉系统和所述距离传感器对应于所述检测工位布置；机械手用于在所述放料工位和所述检测工位之间移动；
[0030]所述承载台用于承载由所述机械手的机械臂搬运至所述放料工位的样品；所述视觉系统和所述距离传感器均用于检测获取位于所述检测工位的所述机械手的机械臂的位
置数据。
[0031]在其中一个实施例中，所述机械手测试设备还包括安装支架，所述视觉系统包括安装于所述安装支架的相机，所述检测工位位于所述相机的检测范围内；所述距离传感器安装于所述安装支架，且所述检测工位位于所述距离传感器的检测范围内。
[0032]上述机械手测试方法及机械手测试设备，在实际测试过程中，通过机械手、视觉系统和距离传感器的相互配合，能够自动完成机械手的伸缩定位精度、平移定位进度和升降定位精度中的至少一个测试，大大降低了人工干预的程度，有利于提高测试数据的可靠性。
附图说明
[0033]图1为本专利技术一实施例中机械手测试设备的结构示意图；
[0034]图2为图1所示的机械手测试设备的局部结构示意图；
[0035]图3为本专利技术一实施例中机械手测试方法的流程图；
[0036]图4为图3所示的机械手测试方法中精度检测步骤的流程图。
具体实施方式
[0037]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手测试方法，其特征在于，包括精度检测步骤，所述精度检测步骤包括伸缩定位精度检测步骤、平移定位精度检测步骤和升降定位精度检测步骤中的至少一者；所述伸缩定位精度检测步骤包括：控制机械手(100)移动至检测工位，并控制所述机械手(100)的机械臂伸出第一预设距离，之后控制视觉系统检测获取处于伸出状态的所述机械手(100)的机械臂的第一位置数据，从而得到所述机械手(100)的机械臂的伸缩定位精度；所述平移定位精度检测步骤包括：控制所述机械手(100)平移第二预设距离，之后控制所述视觉系统检测获取所述机械手(100)的机械臂的第二位置数据，从而得到所述机械手(100)的平移定位精度；所述升降定位精度检测步骤包括：控制所述机械手(100)的机械臂上升或下降一预设高度，之后控制距离传感器(400)检测获取所述机械手(100)的机械臂的第三位置数据，从而得到所述机械手(100)的机械臂的升降定位精度。2.根据权利要求1所述的机械手测试方法，其特征在于，所述精度检测步骤还包括旋转定位精度检测步骤；所述旋转定位精度检测步骤包括：控制所述机械手(100)的机械臂旋转一预设角度，并反向旋转所述预设角度，且控制所述视觉系统分别检测获取所述机械手(100)的机械臂在旋转运动前的第四位置数据和在旋转运动后的第五位置数据，从而得到所述机械手(100)的机械臂的旋转定位精度。3.根据权利要求2所述的机械手测试方法，其特征在于，重复执行所述旋转定位精度检测步骤多次，以获取多个所述旋转定位精度；分析各个所述旋转定位精度，以得到所述机械手(100)的机械臂的重复旋转定位精度。4.根据权利要求1所述的机械手测试方法，其特征在于，当所述精度检测步骤包括所述伸缩定位精度检测步骤时，重复执行所述伸缩定位精度检测步骤多次，以获取多个所述伸缩定位精度；分析各个所述伸缩定位精度，以得到所述机械手(100)的机械臂的重复伸缩定位精度；当所述精度检测步骤包括所述平移定位精度检测步骤时，重复执行所述平移定位精度检测步骤多次，以获取多个所述平移定位精度；分析各个所述平移定位精度，以得到所述机械手(100)的重复平移定位精度；当所述精度检测步骤包括所述升降定位精度检测步骤时，重复执行所述升降定位精度检测步骤多次，以获取多个所述升降定位精度；分析各个所述升降定位精度，以得到所述机械手(100)的机械臂的重复升降定位精度。5.根据权利要求1至4任一项所述的机械手测试方法，其特征在于，所述机械手测试方法还包括上料步骤，所述上料步骤包括：控制所述机械手(100)移动至取料工位(A1)，之后驱动所述机械手(100)的机械臂伸缩并拾取位于所述取料工位(A1)的样品；控制所述机械手(100...

【专利技术属性】
技术研发人员：王月飞，陈旭，侯魁，戴晨阳，于洋，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：