本发明专利技术涉及一种冷却装置及冷却方法，属于硼扩散尾气处理技术领域。所述冷却装置包括：包括壳体，所述壳体的内部设有相互独立的第一腔体、第二腔体和第三腔体；所述第三腔体位于所述壳体的内部中间，所述第二腔体分别与所述第一腔体、所述第三腔体相邻，所述第三腔体与所述第一腔体之间通过腔体循环水管连通；所述第三腔体的外壁周套设螺纹管，所述螺纹管位于第二腔体内，所述壳体外设有非腔体循环水管，所述螺纹管一端通过所述非腔体循环水管连通所述第三腔体，另一端连通有进水管；所述壳体位于第一腔体的壳壁上设有出水管，所述第二腔体的一端连通有进气管，另一端连通有出气管。本发明专利技术对高温废气具有高效冷却，且冷却效果佳的效果。的效果。的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种冷却装置及冷却方法
[0001]本专利技术属于硼扩散尾气处理
，特别涉及一种冷却装置及冷却方法。
技术介绍
[0002]光伏硼扩散工艺原理是在晶体硅太阳能电池的制备过程中，采用硼扩散制备pn结，形成P
‑
N结。现阶段低压硼扩散大多使用BBr3液态源进行高温扩散，其炉尾废气处理均配备真空泵，为了防止低压硼扩散炉工艺时炉管内产生的高温硼氧化物、硼酸等腐蚀性气体直接进入真空泵中从而影响真空泵的使用寿命，需要在石英炉管排废口与真空泵之间安装冷凝装置。目前，行业内硼扩散常规的尾气处理方式是尾气通过石英冷凝瓶再通过泵排出至外围尾气处理管道，其石英冷凝瓶本身受到周围环境温度的影响很大，当反应气体流经冷凝瓶时，冷凝瓶外表温度可达200℃以上，冷凝效果不理想，且石英冷凝瓶易损坏。通常硼扩散尾气的主要成分是硼的氧化物和硼硅玻璃(BSG)，这些物质会在冷凝瓶中吸附聚集成白色粉尘状，由于气体流量大，泵的抽速快，很多在高温气体中的物质并不能完全冷却聚集在冷凝瓶中，会直接抽到泵内，导致泵管道堵塞、膜片损坏等，缩短了泵的维护周期，严重影响真空泵的使用寿命。且冷凝瓶在尾气柜内固定放置，裸露于整个尾气柜空间，前段与炉管排废口直接连接，后端与真空泵连接，当炉内运行工艺时，反应生成的高温废气会直接进入到冷凝瓶内，利用空气对流对高温废气进行冷却，该装置冷却效果差，同时石英冷凝瓶受酸气腐蚀极易损坏。
[0003]基于此，本专利技术提供一种冷却装置及冷却方法。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种冷却装置及冷却方法，采用冷却水冷却高温废气的方法，以现有技术中石英冷凝瓶冷却效果差，易损坏的问题。
[0005]本专利技术的第一个目的，可以通过以下技术方案实现：
[0006]一种气体的冷却装置，包括壳体，所述壳体的内部设有相互独立的第一腔体、第二腔体和第三腔体；
[0007]所述第三腔体位于所述壳体的内部中间，所述第二腔体分别与所述第一腔体、所述第三腔体相邻，所述第三腔体与所述第一腔体之间通过腔体循环水管连通；
[0008]所述第三腔体的外壁周套设螺纹管，所述螺纹管位于第二腔体内，所述壳体外设有非腔体循环水管，所述螺纹管一端通过所述非腔体循环水管连通所述第三腔体，另一端连通有进水管；
[0009]所述壳体位于第一腔体的壳壁上设有出水管，所述第二腔体的一端连通有进气管，另一端连通有出气管。
[0010]进一步地，所述进水管设置在进气端盖上，所述进气端盖与所述壳体连接，所述进水管贯穿所述进气端盖，并延伸至第二腔体内；
[0011]所述进气管设置在进气端盖上。
[0012]进一步地，所述进气端盖与所述壳体通过固定卡箍固定。
[0013]进一步地，所述固定卡箍与所述壳体之间的法兰口设有密封圈。
[0014]进一步地，所述非腔体循环水管包括第一非腔体循环水管、第二非腔体循环水管和第三非腔体循环水管；
[0015]所述第一非腔体循环水管与所述进气端盖固定连接，所述第一非腔体循环水管的一端贯穿所述进气端盖，延伸至所述第二腔体内部，并连通所述螺纹管；
[0016]所述第三非腔体循环水管与所述壳体位于所述第三腔体的壳壁固定连接，所述第三非腔体循环水管的一端贯穿所述壳体的壳壁，并延伸至所述第三腔体内部；
[0017]所述第二非腔体循环水管分别与所述第一非腔体循环水管、所述第三非腔体循环水管连通。
[0018]进一步地，所述第二非腔体循环水管分别与所述第一非腔体循环水管、所述第三非腔体循环水管通过螺母连接。
[0019]进一步地，所述螺纹管与所述进气端盖固定连接。
[0020]进一步地，所述第一腔体的内壁表面、第二腔体的的内壁表面和所述第三腔体的内壁表面均设有涂层。
[0021]进一步地，所述壳体、所述第二腔体的壁体和所述第三腔体的壁体均由钢化材料制成。
[0022]本专利技术的第二个目的，可以通过以下技术方案实现：
[0023]一种冷却方法，包括：
[0024]冷却水从进水管进入与进水管连通的螺纹管中，在螺纹管中形成第一冷却水流，所述第一冷却水流通过壳体外的非腔体循环水管进入与所述非腔体循环水管连通的第三腔体，在所述第三腔体内形成第二冷却水流，所述第二冷却水流通过腔体循环管流入与所述腔体循环管连通的第一腔体，在所述第一腔体内形成第三冷却水流，第三冷却水流从壳体位于第一腔体的壳壁上的出水管排出；
[0025]气体从第二腔体一端连通的进气管进入第二腔体，在第二腔体内形成气流，所述气流同时被与所述第二腔体相邻的第一腔体内的第三冷却水流、与所述第二腔体相邻的第三腔体内的第二冷却水流和螺纹管中的第一冷却水流冷却，然后从第二腔体另一端连通的出气管排出。
[0026]本专利技术的有益效果：
[0027]本专利技术提供的一种冷却装置及冷却方法，具有以下优点：
[0028]通过第一腔体、第二腔体、第三腔体的设置，所述第二腔体用于高温废气的流通，所述第一腔体和第三腔体用于冷却水流动，实现对第二腔体内的高温废气的双重冷却，同时螺纹管套设在所述三腔体的壁体的外壁，实现对第二腔体内的高温废气又一重冷却，实现了对高温废气高效冷却，且冷却效果佳，排出的废气对真空泵的损坏较低；
[0029]通过进气端盖、固定卡箍和壳体的组合设置，便于所述冷却装置的拆卸和清理；
[0030]通过进气端盖和螺纹管的固定设置，以及非腔体循环水管的设置，更加便于螺纹管的清洗；
[0031]通过第一腔体的内壁表面、第二腔体的的内壁表面和所述第三腔体的内壁表面涂覆涂层的设置，一方面，减少高温腐蚀废气对第二腔体的腐蚀，另一方面，减少冷水对管壁
的锈蚀；
[0032]较传统的石英冷凝瓶，本专利技术的冷却装置中所述壳体、所述第二腔体的壁体和所述第三腔体的壁体均由钢化材料制成，具有耐高温、耐酸碱和不易损坏特征，延长了所述冷却装置的使用寿命。
[0033]本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所指出的结构来实现和获得。
附图说明
[0034]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0035]图1示出了根据本专利技术实施例的一种冷却装置的结构示意图；
[0036]图中：
[0037]10、壳体；11、出水管；12、第一腔体；13、涂层；14、第二腔体；15、第三腔体；16、出气管；17、进气管；18、进水管；20、螺纹管；30、腔体循环水管；40、非腔体循环水管；41、第一非腔体循环水管；42、第二非腔体循环水管；43、第三非腔体循环水管；本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种冷却装置，包括壳体(10)，其特征在于，所述壳体(10)的内部设有相互独立的第一腔体(12)、第二腔体(14)和第三腔体(15)；所述第三腔体(15)位于所述壳体(10)的内部中间，所述第二腔体(14)分别与所述第一腔体(12)、所述第三腔体(15)相邻，所述第三腔体(15)与所述第一腔体(12)之间通过腔体循环水管(30)连通；所述第三腔体(15)的外壁周套设螺纹管(20)，所述螺纹管(20)位于所述第二腔体(14)内，所述壳体(10)外设有非腔体循环水管(40)，所述螺纹管(20)一端通过所述非腔体循环水管(40)连通所述第三腔体(15)，另一端连通有进水管(18)；所述壳体(10)位于第一腔体(12)的壳壁上设有出水管(11)，所述第二腔体(14)的一端连通有进气管(17)，另一端连通有出气管(16)。2.根据权利要求1所述的一种冷却装置，其特征在于，所述进水管(18)设置在进气端盖(50)上，所述进气端盖(50)与所述壳体(10)连接，所述进水管(18)贯穿所述进气端盖(50)，并延伸至第二腔体(14)内；所述进气管(17)设置在进气端盖(50)上。3.根据权利要求2所述的一种冷却装置，其特征在于，所述进气端盖(50)与所述壳体(10)通过固定卡箍(60)固定。4.根据权利要求3所述的一种冷却装置，其特征在于，所述固定卡箍(60)与所述壳体(10)之间的法兰口设有密封圈(70)。5.根据权利要求2所述的一种冷却装置，其特征在于，所述非腔体循环水管(40)包括第一非腔体循环水管(41)、第二非腔体循环水管(42)和第三非腔体循环水管(43)；所述第一非腔体循环水管(41)与所述进气端盖(50)固定连接，所述第一非腔体循环水管(41)的一端贯穿所述进气端盖(50)，延伸至所述第二腔体(14)内部，并连通所述螺纹管(20)；所述第三非腔体循环水管(43)与所述壳体(10)位于所述第三腔体(15)的壳壁固定连接，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：柳旭宁，雷有林，王毅，宋标，张兴发，周发武，
申请(专利权)人：青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司青海黄河上游水电开发有限责任公司国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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