一种激光阵列中激光光斑偏移检测方法、系统及相关设备技术方案

本发明专利技术实施例提供了一种激光阵列中激光光斑偏移检测方法、系统及相关设备，用于提高激光阵列中激光光斑在竖直方向的偏移检测的检测精度。本发明专利技术实施例方法包括：将所述激光阵列中的激光器分别以间隔数N、(N+1)等间隔两两组合分为多个第一类标定组、第二类标定组，每个所述第一类标定组、第二类标定组中包含两个不相邻的激光器，分别作为标定激光器、目标激光器；获取第一类标定组中的目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在竖直方向的偏移量P

【技术实现步骤摘要】
一种激光阵列中激光光斑偏移检测方法、系统及相关设备


[0001]本专利技术涉及激光直写成像设备
，尤其涉及一种激光阵列中激光光斑偏移检测方法、系统及相关设备。

技术介绍

[0002]相关技术(例如申请号为：201310084860.3中公开的平面丝网印刷网版用激光直接制版装置)中的激光成像设备的成像原理是：控制激光逐行扫描曝光面上的感光涂层对像素曝光点进行曝光，对曝光之后的感光涂层进行显影，在曝光面上生成所需的显影图像。
[0003]相关技术中，由于激光器的安装误差、激光器在曝光面上的光斑偏移等因素影响，激光器在曝光面上的光斑在竖直方向(与激光扫描方向垂直)的坐标值可能不相同存在偏差，需要基于偏差值对每颗激光器扫描的像素行分配。为此，激光器在曝光面上的光斑在竖直方向的实际偏移距离进行校准，校准精度往往要达到十微米左右，目前的CCD相机很难在大幅面范围内达到十微米级的精度识别要求，且光斑识别困难，如何精确测量激光阵列中的多颗激光器的光斑在竖直方向的偏移量成为了亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光阵列中激光光斑偏移检测方法，其特征在于，所述激光阵列中包含至少三颗相对位置固定的激光器，所述方法包括：将所述激光阵列中的激光器分别以间隔数N、(N+1)等间隔两两组合分为多个第一类标定组、第二类标定组，每个所述第一类标定组、第二类标定组中包含两个不相邻的激光器，分别作为标定激光器、目标激光器；获取第一类标定组中的目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在竖直方向的偏移量P
i
以及每个第二类标定组中的目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在竖直方向的偏移量Q
i
；根据公式Y
i
＝∣Q
i
‑
P
i
∣计算相邻激光器的光斑中心在竖直方向的偏移量，其中Y
i
中i为大于N+1的正整数。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取第一类标定组中的目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在竖直方向的偏移量P
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以及每个第二类标定组中的目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在竖直方向的偏移量Q
i
，包括：依次控制所有的第一类标定组、所有的第二类标定组中的激光器进行标定操作，且相邻两个标定组所扫描的区域在水平方向的投影不重叠；所述标定操作包括：控制所述标定激光器保持第一高度沿激光扫描方向进行扫描，在曝光面上形成标准线L1并记录此时所述目标激光器的光斑在所述曝光面所处的高度为第二高度；将所述第二高度与所述L1之间的区域分为多层，并控制所述目标激光器逐层进行扫描操作，所述扫描操作是指沿所述激光扫描方向每标定预设长度的标定线段之后，向所述L1靠近相同的直线距离D2，继续沿所述激光扫描方向标定预设长度的标定线段；确定所有标定线段中最先与所述标准线对齐的线段L2，并获取所述L2与所述第二高度之间包含所述D2的数量N；根据P
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＝N*D2和Q
i
＝N*D2分别计算第一类标定组中的目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在竖直方向的偏移量P
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以及每个第二类标定组中的目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在竖直方向的偏移量Q
i
。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述将所述第二高度与所述L1之间的区域分为多层，并控制所述目标激光器逐层进行扫描操作，包括：将当前位置与所述L1之间的区域分为多层，标定一层区域之后，向所述L1靠近相同的直线距离D2，控制所述目标激光器返回与上一层区域初始扫描位置对齐的位置以对下一层区域进行标定操作。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一类标定组和/或第二类标定组中的相邻标定组的扫描区域在竖直方向的投影不重叠。5.一种激光阵列中...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈乃奇，胡学艳，
申请(专利权)人：深圳市先地图像科技有限公司，
类型：发明
国别省市：