一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备，涉及半导体制造设备技术领域，包括支撑部及安装在支撑部上的取片机构、涂覆机构、轨道机构和退火机构，其中取片机构包括升降送料结构和取料结构，升降送料结构上搭载着若干待涂膜硅片，取料结构上设有叉取部，升降送料结构通过升降调节将待涂膜硅片运送至叉取部对应叉取的位置上，方便所述取料结构上的叉取部进行叉取物料。料结构上的叉取部进行叉取物料。料结构上的叉取部进行叉取物料。

【技术实现步骤摘要】
一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备


[0001]本技术涉及半导体制造设备
，尤其涉及一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备。

技术介绍

[0002]近年来，铁电薄膜越来越受人们的广泛重视，这是由于铁电体所具有的多种电学、光学、压电和热释电特性使其在制作光电器件、传感器、热敏器件及存储器等方面得到了广泛应用，在各类半导体芯片（硅片）生产制备中，硅基铁电/压电薄膜制备是一个非常重要的工艺流程，通过自动上下料的硅基铁电/压电薄膜制备生产设备可以使硅片薄膜的质量和制备效率得到提升，显著减少原材料的浪费，降低生产成本，实现高质量硅片生产力的大幅提升。但是，目前市场上所使用的硅基铁电/压电薄膜制备生产设备，自动化程度低、稳定性差、效率低，无法精确控制退火温度和退火时间，，而且大部分硅基铁电/压电薄膜制备生产设备造价高、体积大、耗能高，无法批量化生产，现阶段，仍缺少一种自动化程度高、过程可控、效率高、性价比高的一种自动化上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备。

技术实现思路

[0003]针对以上不足，本技术提供一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备，能够实现取片、涂覆、退火、下料的全流程自动化控制，同时可以更好的把控好退火时间与退火温度等技术问题。
[0004]为达到上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0005]一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备，包括支撑部，所述支撑部上设有取片机构、涂覆机构、轨道机构和退火机构，所述轨道机构自所述退火机构的一端送入，从另一端送出，所述取片机构设于所述退火机构的任一端上，所述涂覆机构设于所述取片机构的侧边位置上；
[0006]所述取片机构包括升降送料结构和取料结构，所述升降送料结构安装在第一支撑台上，所述取料结构设在第一支撑台和第三支撑台上，所述升降送料结构上搭载着若干待涂膜硅片，所述取料结构上设有叉取部，所述升降送料结构通过升降调节方便所述取料结构上的叉取部进行叉取物料。
[0007]本技术的更进一步优选的方案是，所述升降送料结构包括有第一气缸、导轨、升降台和硅片盒，所述硅片盒上叠放有若干所述待涂膜硅片，所述硅片盒安装在所述升降台上，所述导轨固定安装在所述第一支撑台上，所述导轨分别与所述升降台四角留空处滑动连接，所述第一气缸安装在所述第一支撑台台面上，所述第一气缸的输出端连接所述升降台底部面，在所述第一气缸的驱动下，所述硅片盒上下移动，将物料对准所述叉取部等待叉取。
[0008]本技术的更进一步优选的方案是，所述取料结构包括有定位机构安装座、第一丝杆机构、第一滑轨、第二电机、第一联轴器、第一滑块和带冲压立式座外球面球轴承，所
述定位机构安装座上端面设有安装凹槽，所述第二电机安装在所述定位机构安装座上，所述第二电的输出端设有所述第一联轴器，所述第一联轴器连接所述第一丝杆机构，所述安装凹槽内的相对面均设有所述第一滑轨，所述带冲压立式座外球面球轴承安装在所述第一丝杆机构的端部，所述第一滑块滑动设置在所述第一丝杆机构上，并且滑动接触所述第一滑轨。
[0009]本技术的更进一步优选的方案是，所述叉取部包括叉臂和片叉，所述叉臂安装在所述第一滑块上，所述片叉安装在所述叉臂上，所述片叉对准所述硅片盒上的所述待涂膜硅片。
[0010]本技术的更进一步优选的方案是，所述定位机构安装座上设有定位部，所述定位部包括有定位夹控制器、夹臂和夹块，所述定位夹控制器安装在所述定位机构安装座上，所述夹臂分别安装在所述定位夹控制器相对的两侧，所述夹块设置在所述夹臂上。
[0011]本技术的更进一步优选的方案是，所述涂覆机构包括有涂膜部和滴胶位移部，所述滴胶位移部设在所述涂膜部侧边，所述涂膜部包括有涂膜机和片托，所述片托设置在所述涂膜机内部。
[0012]本技术的更进一步优选的方案是，所述滴胶位移部包括有滴胶机构安装基座、滴胶机构位移台、丝杆机构、第二联轴器、第三电机、第三滑轨、第三滑块、滑轨连接块、第二滑轨、第二滑块、舵机和滴胶头，所述滴胶机构安装基座安装在所述涂膜机，所述滴胶机构位移台安装在所述滴胶机构安装基座上，所述丝杆机构、第二联轴器和第三电机同轴线安装至所述滴胶机构位移台上，所述第三滑轨安装在所述滴胶机构位移台上，所述第三滑块滑动设置在所述丝杆机构和第三滑轨上，所述滑轨连接块固定安装在所述第三滑块上，所述第二滑轨安装在所述滑轨连接块上，所述第二滑块滑动设置在所述第二滑轨上，所述舵机安装在所述第二滑块上，所述舵机的输出端上设有所述滴胶头。
[0013]本技术的更进一步优选的方案是，所述退火机构包括有退火炉，所述退火炉的进料端处设有进退火炉传送带，所述退火炉的出料端处设有出退火炉传送带，所述退火炉内设有炉内传送带，所述炉内传送带的首尾分别与所述进退火炉传送带和出退火炉传送带衔接。
[0014]本技术的更进一步优选的方案是，所述出退火炉传送带的两侧分别设有第二支撑台和下料台，所述第二支撑台位于所述出退火炉传送带的内侧，即靠近所述退火炉一侧，所述第二支撑台上设有第三气缸，所述第二支撑台、下料台和出退火炉传送带的下料口对齐。
[0015]本技术的更进一步优选的方案是，所述第一支撑台和第三支撑台之间设有第四支撑台，所述第四支撑台上设有推片机构，所述推片机构包括有定轨旋转台、第四气缸、第二气缸、推叉和硅片托盘，所述定轨旋转台安装在所述第一支撑台上，所述第四气缸均安装在所述第四支撑台上，所述硅片托盘安装在所述定轨旋转台上，所述第四气缸的输出端上设有推叉。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]1.本技术提供的一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备，该设备中的升降送料结构通过升降调节将待涂膜硅片运送至叉取部对应叉取的位置上，方便所述取料结构上的叉取部进行叉取物料，实现快速上下料的操作。
[0018]2.本实用中的设备集取片、涂覆、输送、退火、下料于一体，提供一种自动化程度高、过程可控、效率高、性价比高的设备。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，以下将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0020]图1为本技术中制造生产设备总图；
[0021]图2为本技术中升降送料结构示意图；
[0022]图3为本技术中取料结构示意图；
[0023]图4为本技术中取料结构侧视图；
[0024]图5为本技术中定位部结构示意图；
[0025]图6为本技术中涂覆机构结构示意图；
[0026]图7为本技术中推片机构结构示意图。
[0027]其中，图中所示标记为：1、取片机构；110、第一气缸；111、导轨；112、升降台；113、硅片盒；114、待涂膜硅片；120、定位机构安装座；121、第一丝杆机构；122、第一滑轨；123、第二电机；124、第一联轴器；125、叉臂；126、片叉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备，包括支撑部，所述支撑部上设有取片机构（1）、涂覆机构（2）、轨道机构和退火机构，其特征在于，所述轨道机构自所述退火机构的一端送入，从另一端送出，所述取片机构（1）设于所述退火机构的任一端上，所述涂覆机构（2）设于所述取片机构（1）的侧边位置上；所述取片机构（1）包括升降送料结构和取料结构，所述升降送料结构安装在第一支撑台（311）上，所述取料结构设在第一支撑台（311）和第三支撑台（314）上，所述升降送料结构上搭载着若干待涂膜硅片（114），所述取料结构上设有叉取部，所述升降送料结构通过升降调节方便所述取料结构上的叉取部进行叉取物料。2.根据权利要求1所述的一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备，其特征在于，所述升降送料结构包括有第一气缸（110）、导轨（111）、升降台（112）和硅片盒（113），所述硅片盒（113）上叠放有若干所述待涂膜硅片（114），所述硅片盒（113）安装在所述升降台（112）上，所述导轨（111）固定安装在所述第一支撑台（311）上，所述导轨（111）分别与所述升降台（112）四角留空处滑动连接，所述第一气缸（110）安装在所述第一支撑台（311）台面上，所述第一气缸（110）的输出端连接所述升降台（112）底部面，在所述第一气缸（110）的驱动下，所述硅片盒（113）上下移动，将物料对准所述叉取部等待叉取。3.根据权利要求2所述的一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备，其特征在于，所述取料结构包括有定位机构安装座（120）、第一丝杆机构（121）、第一滑轨（122）、第二电机（123）、第一联轴器（124）、第一滑块（127）和带冲压立式座外球面球轴承（128），所述定位机构安装座（120）上端面设有安装凹槽，所述第二电机（123）安装在所述定位机构安装座（120）上，所述第二电机（123）的输出端设有所述第一联轴器（124），所述第一联轴器（124）连接所述第一丝杆机构（121），所述安装凹槽内的相对面均设有所述第一滑轨（122），所述带冲压立式座外球面球轴承（128）安装在所述第一丝杆机构（121）的端部，所述第一滑块（127）滑动设置在所述第一丝杆机构（121）上，并且滑动接触所述第一滑轨（122）。4.根据权利要求3所述的一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备，其特征在于，所述叉取部包括叉臂（125）和片叉（126），所述叉臂（125）安装在所述第一滑块（127）上，所述片叉（126）安装在所述叉臂（125）上，所述片叉（126）对准所述硅片盒（113）上的所述待涂膜硅片（114）。5.根据权利要求3所述的一种自动上下料的硅基铁电压电薄膜制造生产设备，其特征在于，所述定位机构安装座（120）上设有定位部，所述定位部包括有定位夹控制器（210）、夹臂（211）和夹块（212），所述定位夹控制器（210）安装在所述定位机构安装座（120）上，所述夹臂（211）分别安装在所述定位夹控制器（210）相对的两侧，所述夹块（212）设置在所述夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈雪，颜欢，虞洋，孟相鹏，
申请(专利权)人：桂林电子科技大学，
类型：新型
国别省市：