一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统，涉及光伏技术领域。该所述光伏槽式机槽体鼓泡装置包括：设置在所述光伏槽式机的清洗槽内的至少两个环形进气单元，其中，所述环形进气单元包括内部开槽，以及和所述内部开槽连通设置的环形进气结构；所述内部开槽的剖面尺寸大于所述环形进气槽的剖面尺寸。本实用新型专利技术提供的光伏槽式机槽体鼓泡装置用于清洗硅片。洗硅片。洗硅片。

【技术实现步骤摘要】
一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统


[0001]本技术涉及光伏
，尤其涉及一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统。

技术介绍

[0002]光伏发电已成为绿色能源的主要能源之一，其相关技术飞速发展。在制作硅片的过程中需要通过光伏槽式设备进对硅片进行工艺清洗。
[0003]通常可以通过在光伏槽式设备的槽体内进行氮气鼓泡作业，鼓泡过程中增加药液的活性或增加水与硅片的接触，充分与均匀的鼓泡可很好的起到快速清洗硅片。目前，针对光伏槽式设备的鼓泡为槽体底部设置DN20PP管路，管路上进行开孔约1毫米孔径，氮气从管路一端进入，气体经过整个管路，从开孔处鼓出。
[0004]但是，目前的鼓泡方式气体需要开至较大压力时才能达到工艺效果，但是气体的压力和流量均达到较大值时，气泡均匀性很差，管路进气端气体较大，管路尾端气体很小，无法达到槽体均匀鼓泡功能，并且进气端较大气量鼓出造成槽内硅片飘出花篮，造成大量碎片与不良，以及进气尾端气体较小影响工艺清洗效果。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统，以保证清本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，用于清洗硅片，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置包括：设置在所述光伏槽式机的清洗槽内的至少两个环形进气单元，其中，所述环形进气单元包括内部开槽，以及和所述内部开槽连通设置的环形进气结构。2.根据权利要求1所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，所述环形进气结构包括至少两个按照共同中心点间隔设置的环形进气槽，所述环形进气槽均与所述内部开槽连通；所述内部开槽的剖面尺寸大于所述环形进气槽的剖面尺寸。3.根据权利要求1所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，在所述环形进气单元为两个时，两个所述环形进气单元分别设置在所述清洗槽的槽体底部；在所述环形进气单元为六个时，两个所述环形进气单元分别设置在所述清洗槽的槽体底部，另外四个所述环形进气单元两两分别设置在所述清洗槽的槽体左右两侧。4.根据权利要求1所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，所述环形进气单元为板式开槽环形进气单元。5.根据权利要求2所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，所述至少两个环形进气槽等间隔设置，或所述至少两个环形进气槽从内到...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨鑫，陈程，童洪波，李华，
申请(专利权)人：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：