本申请涉及一种下部电极再生涂层研磨装置及其方法，一种下部电极再生涂层研磨装置，包括工作台以及安装在工作台上的承托部件，工作台的顶部开设有两个承托槽，两个承托槽位于下部电极的两侧，承托部件包括两个分别转动安装在承托槽内底面上的承托螺杆；两个承托槽的内底面上均固定连接有承托导杆；承托螺杆与承托导杆上套设有用于承托下部电极的承托板，承托螺杆与承托板螺纹连接。一种下部电极再生涂层研磨方法，包括以下步骤：S1、首先启动电机，电机带动承托板上升，当承托板移动至承托螺杆的顶部时，清理板对工作台上的铝屑与杂质进行清理。本申请改善了工作人员的操作过程较为繁琐的问题。琐的问题。琐的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种下部电极再生涂层研磨装置及其方法
[0001]本申请涉及研磨装置的领域，尤其是涉及一种下部电极再生涂层研磨装置及其方法。
技术介绍
[0002]下部电极被广泛应用于诸如平板显示器件、集成电路的干法刻蚀工艺中，其包括一个由铝合金或不锈钢材料制成的面积巨大的基板，基板表面布置有诸多氦气孔，基板的上表面设置有ESC涂层，ESC涂层包括粘结涂层、第一陶瓷涂层、电机层以及第二陶瓷涂层。
[0003]相关技术中，下部电极再生涂层研磨方法，包括以下步骤：S1、首先由工作人员对工作台上的铝屑与杂质进行清理；S2、使用吊具将下部电极吊装至工作台上，并使用平整度检测仪器对下部电极的平整度进行检测；S3、若平整度检测仪器的数值超出了规定的数值，再次使用吊具将下部电极吊起，并由工作人员对工作台上与下部电极底部的杂质进行清理；S4、再次将下部电极放置于工作台上，并使用平整度检测仪器对下部电极的平整度进行检测；S5、当平整度检测合格后，启动研磨刀具对下部电极进行研磨。
[0004]针对上述的相关技术，当下部电极的平整度不满足要求时，需要工作人员使用吊具将下部电极吊起，并需要工作人员手动对工作台与下部电极进行清理，导致工作人员的操作过程较为繁琐。
技术实现思路
[0005]为了改善工作人员的操作过程较为繁琐的问题，本申请提供一种下部电极再生涂层研磨装置及其方法。
[0006]第一方面，本申请提供的一种下部电极再生涂层研磨装置采用如下的技术方案：一种下部电极再生涂层研磨装置，包括工作台以及安装在工作台上的承托部件，所述工作台的顶部开设有两个承托槽，两个所述承托槽位于下部电极的两侧，所述承托部件包括两个分别转动安装在承托槽内底面上的承托螺杆；两个所述承托槽的内底面上均固定连接有承托导杆，所述承托螺杆与承托导杆相互平行；所述承托螺杆与承托导杆上套设有用于承托下部电极的承托板，所述承托螺杆与承托板螺纹连接，所述承托板能够移动至承托槽中；两个所述承托槽的内底面上均固定连接有电机，所述电机的输出轴上固定连接有第一齿轮，所述承托螺杆上固定连接有与第一齿轮啮合的第二齿轮。
[0007]通过采用上述技术方案，当需要对下部电极进行研磨时，首先将下部电极放置于两个承托板上，然后启动电机，电机带动第一齿轮进行转动，第一齿轮带动第二齿轮进行转动，第二齿轮带动承托螺杆进行转动，承托螺杆带动承托板进行移动，承托板带动下部电极进行移动，当承托板收纳在承托槽中时，下部电极落在工作台上，当需要再次将下部电极抬起时，只需启动电机反转，无需工作人员再次使用吊具对下部电极进行操作，改善了工作人员的操作过程较为繁琐的问题。
[0008]优选的，所述工作台的顶部开设有相互贯通的安装槽与放置槽，所述工作台上安
装有清理部件，所述清理部件包括转动安装在安装槽内壁上的往复螺杆、套设在往复螺杆上的移动块以及滑动安装在移动块上的清理板；所述往复螺杆与移动块螺纹连接，所述移动块的侧壁与安装槽的内壁贴合，所述清理板放置在放置槽中，所述清理板能够移动至放置槽的外侧，所述清理板能够与工作台的顶部和下部电极的底部接触；所述移动块上安装有与清理板连接的弹性部件。
[0009]通过采用上述技术方案，在下部电极放置在工作台上的过程中，下部电极推动清理板进行移动，使得清理板移动至放置槽中，当需要对工作台与下部电极进行清理时，首先将下部电极向上移动，弹性部件带动清理板向上移动，使得清理板的顶部与下部电极的底部接触，清理板的底部与工作台的顶部接触，然后将往复螺杆进行转动，往复螺杆带动移动块，移动块带动清理板进行移动，清理板能够对下部电极的底部与工作台的顶部进行清理，减少了工作人员的操作步骤，改善了工作人员的操作过程较为繁琐的问题。
[0010]优选的，所述工作台的顶部开设有与放置槽贯通的导向槽，所述导向槽的内壁上固定连接有清理导杆，所述清理导杆上也套设有移动块，所述移动块与清理板滑动连接，所述移动块上安装有与清理板连接的弹性部件。
[0011]通过采用上述技术方案，在清理板移动的过程中，清理导杆能够对清理板进行导向，提高了清理板移动的稳定性。
[0012]优选的，所述移动块的侧壁上开设有滑槽，所述弹性部件包括放置在滑槽中的滑块与固定连接在滑槽内底面上的压缩弹簧；所述滑块与清理板固定连接，所述滑块的底部与压缩弹簧的顶部固定连接。
[0013]通过采用上述技术方案，在下部电极推动清理板移动的过程中，清理板带动滑块进行移动，滑块对压缩弹簧进行压缩，使得清理板移动至放置槽中，当下部电极向上移动时，压缩弹簧带动滑块进行移动，使得清理板向上移动，无需工作人员进行操作。
[0014]优选的，所述工作台上安装有传动部件，所述承托螺杆能够通过传动部件驱动往复螺杆进行转动，所述传动部件包括转动安装在承托槽内底面上的第一传动杆、转动安装在安装槽上的第二传动杆以及套设在第一传动杆与第二传动杆上的传动带；所述承托螺杆上套设有第三齿轮，所述第三齿轮与承托板转动连接，所述第三齿轮的内壁上固定连接有限位块，所述承托螺杆的周面上开设有供限位块滑动的限位槽，所述承托螺杆的顶部设置有光滑段；所述第一传动杆上固定连接有第四齿轮，所述承托板移动至所述承托螺杆上的光滑段时，所述第三齿轮与第四齿轮啮合；所述第二传动杆上固定连接有蜗杆，所述往复螺杆上固定连接有与蜗杆啮合的蜗轮。
[0015]通过采用上述技术方案，在承托螺杆转动的过程中，承托螺杆带动承托板向上移动，承托板带动第三齿轮进行移动，与此同时承托螺杆带动限位块进行转动，限位块带动第三齿轮进行转动，当承托板移动至承托螺杆上的光滑段时，第三齿轮与第四齿轮啮合，承托板停止移动，第三齿轮带动第四齿轮进行转动，第四齿轮带动第一传动杆进行转动，第一传动杆通过传动带带动第二传动杆进行转动，第二传动杆带动蜗杆进行转动，蜗杆带动蜗轮进行转动，蜗轮带动往复螺杆进行转动，减少了工作人员的操作步骤，改善了工作人员的操作过程较为繁琐的问题。
[0016]优选的，所述清理板的上下端面均固定连接有毛刷。
[0017]通过采用上述技术方案，清理板带动毛刷进行移动，使得下部电极的底部与工作
台的顶部清理的更加干净。
[0018]优选的，所述承托板的上方固定连接有橡胶垫。
[0019]通过采用上述技术方案，减少了下部电极损坏情况的发生。
[0020]第二方面，本申请提供的一种下部电极再生涂层研磨方法采用如下的技术方案。
[0021]一种下部电极再生涂层研磨方法，包括以下步骤：S1、首先启动电机，电机带动承托板上升，当承托板移动至承托螺杆的顶部时，清理板对工作台上的铝屑与杂质进行清理；S2、工作台清理完成后，关闭电机，使用吊具将下部电极吊装至两个承托板上，然后启动电机反向转动，承托板带动下部电极落在工作台上，最后使用平整度检测仪器对下部电极的平整度进行检测；S3、若平整度检测仪器的数值超出了规定的数值，再次启动电机，当承托板移动至承托螺杆的顶部时，清理板对工作台的顶部与下部电极的底部进行清理；S4、工作台本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种下部电极再生涂层研磨装置，包括工作台(1)以及安装在工作台(1)上的承托部件(2)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部开设有两个承托槽(11)，两个所述承托槽(11)位于下部电极的两侧，所述承托部件(2)包括两个分别转动安装在承托槽(11)内底面上的承托螺杆(21)；两个所述承托槽(11)的内底面上均固定连接有承托导杆(22)，所述承托螺杆(21)与承托导杆(22)相互平行；所述承托螺杆(21)与承托导杆(22)上套设有用于承托下部电极的承托板(23)，所述承托螺杆(21)与承托板(23)螺纹连接，所述承托板(23)能够移动至承托槽(11)中；两个所述承托槽(11)的内底面上均固定连接有电机(24)，所述电机(24)的输出轴上固定连接有第一齿轮(241)，所述承托螺杆(21)上固定连接有与第一齿轮(241)啮合的第二齿轮(211)。2.根据权利要求1所述的一种下部电极再生涂层研磨装置，其特征在于：所述工作台(1)的顶部开设有相互贯通的安装槽(12)与放置槽(13)，所述工作台(1)上安装有清理部件(3)，所述清理部件(3)包括转动安装在安装槽(12)内壁上的往复螺杆(31)、套设在往复螺杆(31)上的移动块(32)以及滑动安装在移动块(32)上的清理板(33)；所述往复螺杆(31)与移动块(32)螺纹连接，所述移动块(32)的侧壁与安装槽(12)的内壁贴合，所述清理板(33)放置在放置槽(13)中，所述清理板(33)能够移动至放置槽(13)的外侧，所述清理板(33)能够与工作台(1)的顶部和下部电极的底部接触；所述移动块(32)上安装有与清理板(33)连接的弹性部件(4)。3.根据权利要求2所述的一种下部电极再生涂层研磨装置，其特征在于：所述工作台(1)的顶部开设有与放置槽(13)贯通的导向槽(14)，所述导向槽(14)的内壁上固定连接有清理导杆(34)，所述清理导杆(34)上也套设有移动块(32)，所述移动块(32)与清理板(33)滑动连接，所述移动块(32)上安装有与清理板(33)连接的弹性部件(4)。4.根据权利要求2所述的一种下部电极再生涂层研磨装置，其特征在于：所述移动块(32)的侧壁上开设有滑槽(321)，所述弹性部件(4)包括放置在滑槽(321)中的滑块(41)与固定连接在滑槽(321)内底面上的压缩弹簧(42)；所述滑块(41)与清理板(33)固定连接，所述滑块(41)的底部与压缩弹簧(42)的顶部固定连接。5....
【专利技术属性】
技术研发人员：黄辉，沈盛虎，刘洪宇，
申请(专利权)人：安徽高芯众科半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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