白光光源中心波长的测量装置制造方法及图纸

本公开描述一种白光光源中心波长的测量装置，包括发生模块、干涉物镜、采样模块、以及数据处理模块；发生模块用于经干涉物镜向待测样品发出测量光束，测量光束经待测样品反射在干涉物镜中形成反射光束；采样模块采集反射光束以获得用于形成关于待测样品的多帧图像的光干涉信号；数据处理模块用于：构建光干涉信号的信号强度和多帧图像的采样帧数的关系曲线；并且得到多帧图像的图像帧序和在每帧图像处关系曲线的相位的拟合斜率，根据拟合斜率求出光源的中心波长。由此，能够在测量装置上直接测量白光光源的中心波长，能够提升测量的效率和便捷性。率和便捷性。率和便捷性。

【技术实现步骤摘要】
白光光源中心波长的测量装置
[0001]本申请是申请日为2023年05月06日、申请号为202310501801.5、专利技术名称为光源中心波长的测量方法及测量装置的专利申请的分案申请。


[0002]本公开大体涉及智能制造装备产业，具体涉及一种白光光源中心波长的测量装置。

技术介绍

[0003]干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起的，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度。干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度相对较高。白光干涉仪作为干涉仪的一种，则是利用白光作为光源测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。
[0004]白光光源的中心波长可理解为在波长范围内能量最大处的光分量的波长，准确的测量并校准光源的中心波长能够提高白光干涉仪本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种白光光源中心波长的测量装置，为基于光干涉测量技术对所述白光光源的中心波长进行测量的测量装置，其特征在于，所述测量装置包括发生模块、干涉物镜、采样模块、以及数据处理模块；所述发生模块用于经所述干涉物镜向待测样品发出测量光束，所述测量光束经所述待测样品反射在所述干涉物镜中形成反射光束；所述采样模块采集所述反射光束以获得用于形成关于所述待测样品的多帧图像的光干涉信号；所述数据处理模块用于：构建所述光干涉信号的信号强度和所述多帧图像的采样帧数的关系曲线；并且得到所述多帧图像的图像帧序和在每帧图像处所述关系曲线的相位的拟合斜率，进而根据所述拟合斜率求出所述白光光源的中心波长，其中，所述白光光源的中心波长为能量分布最大处的波长。2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还包括驱动模块，所述驱动模块以预设步长驱动所述干涉物镜移动同时所述采样模块对所述待测样品进行均匀采样。3.如权利要求2所述的测量装置，其特征在于，还包括时序同步发生器，所述时序同步发生器用于同步控制所述驱动模块和所述采样模块。4.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还包括分光模块，所述分光模块用于接收所述测量光束并将所述测量光束反射至所述干涉物镜，所述干涉物镜用于形成反射光束并将所述反射光束经由所述分光模块发送至所述采样模块。5.如权利要求4所述的测量装置，其特征在于，所述发生模块包括第一透镜单元和第二透镜单元，所述第一透镜单元和所述第二透镜单元设置于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张和君，刘见桥，霍阔，陈世超，
申请(专利权)人：深圳市中图仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：