【技术实现步骤摘要】
太阳能电池制备方法、太阳能电池及光伏组件
[0001]本申请实施例涉及太阳能电池
,特别涉及一种太阳能电池制备方法、太阳能电池及光伏组件。
技术介绍
[0002]化石能源存在大气污染并且储量有限,而太阳能具有清洁、无污染和资源丰富等优点,因此,太阳能正在逐步成为替代化石能源的核心清洁能源,由于太阳能电池具有良好的光电转化效率,太阳能电池成为了清洁能源利用的发展重心。
[0003]隧穿氧化层钝化接触太阳能电池(Tunnel Oxide Passivated Contact solar cell,TOPcon)是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触太阳能电池技术。在TOPcon太阳能电池中,通过在基底表面形成钝化接触结构,实现载流子的选择性传输。钝化接触结构包括隧穿层以及掺杂导电层。然而,当前的TOPCon太阳能电池光电转换效率有限。
技术实现思路
[0004]本申请实施例提供一种太阳能电池制备方法、太阳能电池及光伏组件,至少有利于提高太阳能电池的光电转换效率。
[0005]本申请实 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池制备方法,其特征在于,包括:提供基底,所述基底具有相对的正面和背面,且所述基底的背面为绒面结构,所述基底背面包括电极区和非电极区;对所述电极区上的所述绒面结构进行氧化处理,将部分厚度的所述绒面结构转化为氧化层;对所述基底的背面进行抛光处理,去除所述非电极区上的所述绒面结构以及所述电极区上的所述绒面结构的所述氧化层;在所述基底的背面形成依次堆叠的隧穿层、掺杂导电层和钝化层,在沿垂直于所述基底的背面的方向上,所述隧穿层远离所述基底的表面正对所述电极区的部分为凹凸表面,所述掺杂导电层远离所述基底的表面正对所述电极区的部分为凹凸表面;形成背电极,所述背电极位于所述钝化层远离所述基底的表面上,且贯穿所述钝化层与所述掺杂导电层电接触,所述背电极在所述基底的背面的正投影至少部分位于所述电极区内。2.根据权利要求1所述的太阳能电池制备方法,其特征在于,对所述绒面结构进行氧化处理包括:采用激光氧化工艺对所述电极区上的所述绒面结构进行氧化处理。3.根据权利要求2所述的太阳能电池制备方法,其特征在于,所述激光氧化工艺的工艺参数包括激光波长为300nm至1000nm,光斑能量密度为103W/cm2至106W/cm2。4.根据权利要求1所述的太阳能电池制备方法,其特征在于,将部分厚度的所述绒面结构转化为所述氧化层的方法包括:在沿垂直于所述绒面结构的表面的方向上,形成厚度为0.5nm至5nm的所述氧化层。5.根据权利要求1所述的太阳能电池制备方法,其特征在于,对所述基底的背面进行抛光处理的步骤包括:通过第一抛光工序去除所述非电极区上的所述绒面结构和所述电极区上的所述绒面结构上的至多部分厚度的所述氧化层;通过第二抛光工序去除所述电极区上的所述绒面结构上剩余厚度的所述氧化层。6.根据权利要求5所述的太阳能电池制备方法,其特征在于,采用碱抛工艺...
【专利技术属性】
技术研发人员:廖光明,李香凝,金井升,
申请(专利权)人:浙江晶科能源有限公司,
类型:发明
国别省市:
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