MEMS热损失型流量传感器及其制备方法技术

本公开的实施例公开了一种MEMS热损失型流量传感器及其制备方法。包括：第一衬底和第二衬底，所述第二衬底的第一表面设置有变横截面面积的凹槽，所述第二衬底的第一表面与所述第一衬底的第一表面键合形成变横截面面积的流道；绝缘层，设置在所述第一衬底的第一表面；第一引线、第二引线以及并排间隔设置的多个热源电阻，均设置在所述绝缘层朝向所述第二衬底的一侧，所述第一引线与所述热源电阻的输入端电连接，所述第二引线与所述热源电阻的输出端电连接；磁性薄膜，设置在所述第二衬底的凹槽中，且与所述热源电阻相对应。本公开实施例的MEMS热损失型流量传感器，能有效抑制温漂现象，有效增大流量传感器的灵敏度。有效增大流量传感器的灵敏度。有效增大流量传感器的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
MEMS热损失型流量传感器及其制备方法


[0001]本公开的实施例属于流量传感器
，具体涉及一种MEMS热损失型流量传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]MEMS热损失型流量传感器通常由热源和温敏元件组成，流体流经传感器表面时带动热量的变化，流体流速的大小由温敏元件检测到的温度变化反应出来，从而实现流体流速的测量。MEMS热损失型流量传感器因其结构简单、工艺成熟、灵敏度高、量程大以及良好的可集成性等优点而被广泛应用于生活、医疗、工业、军工等各种领域。
[0003]但是，MEMS热损失型流量传感器通常温敏元件为热敏电阻，将热量流动带来的温度变化转化为热敏电阻的阻值变化，其热敏电阻本身受外界温度影响较为显著，给热损失型流量传感器带来较大的温漂，严重影响了传感器的精度，MEMS热损失型流量传感器的温漂问题亟须解决。

技术实现思路

[0004]本公开的实施例旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，公开了一种MEMS热损失型流量传感器及其制备方法。
[0005]第一方面，本公开的实施例提供一种MEMS热损失型本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS热损失型流量传感器，其特征在于，所述MEMS热损失型流量传感器包括：第一衬底和第二衬底，所述第二衬底的第一表面设置有变横截面面积的凹槽，所述第二衬底的第一表面与所述第一衬底的第一表面键合形成变横截面面积的流道；绝缘层，设置在所述第一衬底的第一表面；第一引线、第二引线以及并排间隔设置的多个热源电阻，均设置在所述绝缘层朝向所述第二衬底的一侧，所述第一引线与所述热源电阻的输入端电连接，所述第二引线与所述热源电阻的输出端电连接；磁性薄膜，设置在所述第二衬底的凹槽中，且与所述热源电阻相对应。2.根据权利要求1所述的MEMS热损失型流量传感器，其特征在于，所述第二引线与所述多个热源电阻的输出端串联。3.根据权利要求1所述的MEMS热损失型流量传感器，其特征在于，所述第一引线对称设置在所述多个热源电阻短边方向的两侧。4.根据权利要求1所述的MEMS热损失型流量传感器，其特征在于，所述第二引线对称设置在所述多个热源电阻长边中间的两侧。5.根据权利要求1至4任一项所述的MEMS热损失型流量传感器，其特征在于，所述磁性薄膜在所述多个热源电阻上的正投影完全覆盖所述多个热源电阻。6.根据权利要求1至4任...

【专利技术属性】
技术研发人员：李维平，兰之康，管武干，侯鸿道，
申请(专利权)人：南京高华科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：