阵列波导光栅制造技术

本公开提供一种阵列波导光栅，所述阵列波导光栅，包括：输入波导结构，包括：输入波导和输入侧平板波导；输出波导结构，包括：输出波导和输出侧平板波导；阵列波导，位于所述输入波导结构和所述输出波导结构之间，且所述阵列波导分别与所述输入侧平板波导、所述输出侧平板波导连接；其中，所述输入侧平板波导和/或所述输出侧平板波导，包括：第一波导组件，设置有缝隙；两个第二波导组件，对称设置于所述第一波导组件相对的两侧，且所述第二波导组件与所述第一波导组件相连，所述第二波导组件的折射率呈周期性变化。呈周期性变化。呈周期性变化。

【技术实现步骤摘要】
阵列波导光栅


[0001]本公开涉及光通信
，具体涉及一种阵列波导光栅。

技术介绍

[0002]滤波器可以从包含多个频率分量的信号中提取所需频率的信号，滤波器是通信系统中，特别是WDM光通信系统中的关键器件。光滤波器的种类多样，阵列波导光栅以性能和成本优势在光滤波器中脱颖而出。
[0003]随着通信技术，尤其是相干通信技术的发展，光通信系统对光滤波器不仅要求宽带宽，更要求低插损指标。虽然有热阵列波导光栅可以实现低插损指标要求，但是由于温控补偿装置的引入，需要额外的功耗，进而增加成本。
[0004]无热阵列波导光栅不需要额外的功耗，但是由于无热阵列波导光栅会引入切缝损耗，使得无热阵列波导光栅的插损指标明显劣于有热阵列波导光栅，基于如何降低无热阵列波导光栅的插损指标是本领域亟待解决的问题。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本公开的主要目的在于提供一种阵列波导光栅。
[0006]为达到上述目的，本公开的技术方案是这样实现的：
[0007]本公开实施例提供一种阵列波导光栅；所述阵列波导光栅，包括：
[0008]输入波导结构，包括：输入波导和输入侧平板波导；
[0009]输出波导结构，包括：输出波导和输出侧平板波导；
[0010]阵列波导，位于所述输入波导结构和所述输出波导结构之间，且所述阵列波导分别与所述输入侧平板波导、所述输出侧平板波导连接；
[0011]其中，所述输入侧平板波导和/或所述输出侧平板波导，包括：
[0012]第一波导组件，设置有缝隙；
[0013]两个第二波导组件，对称设置于所述第一波导组件相对的两侧，且所述第二波导组件与所述第一波导组件相连，所述第二波导组件的折射率呈周期性变化。
[0014]可选地，所述阵列波导光栅，还包括：
[0015]补偿结构，分别与两个所述第二波导组件固定连接，用于驱动两个所述第二波导组件相对移动，以补偿由温度引起的波长漂移。
[0016]可选地，所述第二波导组件，包括：
[0017]多个相连的波导单元，每一个波导单元具有第一区域和第二区域，第一区域的折射率与所述第二区域的折射率不同；
[0018]多个波导单元内的所述第一区域和所述第二区域交替间隔排布。
[0019]可选地，所述第二波导组件内的多个所述波导单元的占空比不同；
[0020]其中，所述占空比用于描述所述波导单元内所述第一区域或所述第二区域的区域宽度与所述波导单元的宽度之间的比值。
[0021]可选地，所述第二波导组件内多个所述波导单元的占空比，在所述波导单元的光传播方向上呈递增或递减的变化趋势。
[0022]可选地，所述波导单元的占空比，与所述波导单元和所述第一波导组件之间的距离正相关；
[0023]其中，所述占空比为所述第一区域对应的占空比，所述第一区域的折射率高于所述第二区域的折射率。
[0024]可选地，所述第二波导组件内的多个波导单元的占空比，随所述第二波导组件在预设方向上的波导宽度的变化而变化；
[0025]其中，所述预设方向与所述第二波导组件内的光传播方向平行。
[0026]可选地，所述第一波导组件，包括：
[0027]波导本体；
[0028]切缝标记，设置于所述波导本体上，用于指示所述波导本体上的待切割位置，以形成所述缝隙。
[0029]可选地，所述波导本体的波导宽度由所述波导本体的缝隙宽度和切缝容差确定。
[0030]可选地，所述第一波导组件，包括：
[0031]匹配液，填充于所述波导本体的缝隙内；其中，所述匹配液的折射率与所述波导本体的折射率相关。
[0032]可选地，所述缝隙靠近于所述波导本体的中心位置；其中，所述阵列波导光栅的插损参数，与所述缝隙和所述波导本体的中心位置之间的距离正相关。
[0033]本公开实施例提供一种阵列波导光栅。
[0034]本公开实施例通过在阵列波导光栅的输入侧平板波导和/输出侧平板波导中设置具有缝隙的第一波导组件，并在第一波导组件相对的两侧分别设置折射率呈周期性变化的第二波导组件，两个第二波导组件相对于第一波导组件对称，从而利用两个第二波导组件，降低由于第一波导组件的缝隙而引入的切缝损耗，使得相较于其他具有缝隙的光波导结构，本公开实施例所示出的阵列波导光栅的切缝损耗明显降低，并且本公开实施例所示出的阵列波导光栅切割后的插损值也比其他具有缝隙的常规阵列波导光栅的插损值小，本公开实施例所示出的阵列波导光栅切割后的插损值甚至比该阵列波导光栅切割前(即第一波导组件未设置有缝隙)的插损值小，以便于在阵列波导光栅芯片筛选时限定插损指标。
附图说明
[0035]图1是根据一示例性实施例示出的阵列波导光栅的结构示意图一；
[0036]图2是图1的局部放大结构示意图；
[0037]图3是根据一示例性实施例示出的一种无热阵列波导光栅的结构示意图一；
[0038]图4是根据一示例性实施例示出的一种无热阵列波导光栅的结构示意图二；
[0039]图5是根据一示例性实施例示出的一种输入侧平板波导或输出侧平板波导的放大示意图；
[0040]图6是根据一示例性实施例示出的一种PSW阵列波导光栅与常规波导光栅的切缝前的插损对比示意图；
[0041]图7是根据一示例性实施例示出的一种PSW阵列波导光栅与常规波导光栅的切缝
后的插损对比示意图；
[0042]图8是根据一示例性实施例示出的PSW阵列波导光栅与常规波导光栅的切缝损耗的对比示意图。
具体实施方式
[0043]为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例中的附图，对专利技术的具体技术方案做进一步详细描述。以下实施例用于说明本公开，但不用来限制本公开的范围。
[0044]本公开实施例提供一种阵列波导光栅，如图1和图2所示，图1是根据一示例性实施例示出的阵列波导光栅的结构示意图一；图2是图1的局部放大结构示意图。所述阵列波导光栅10，包括：
[0045]输入波导结构11，包括：输入波导11a和输入侧平板波导11b；
[0046]输出波导结构12，包括：输出波导12b和输出侧平板波导12a；
[0047]阵列波导13，位于所述输入波导结构11和所述输出波导结构12之间，且所述阵列波导13分别与所述输入侧平板波导11b、所述输出侧平板波导12a连接；
[0048]其中，所述输入侧平板波导11b和/或所述输出侧平板波导12a，包括：
[0049]第一波导组件101，设置有缝隙101a；
[0050]两个第二波导组件102，对称设置于所述第一波导组件101相对的两侧，且所述第二波导组件102与所述第一波导组件101相连，所述第二波导组件102的折射率呈周期性变化。
[0051]在本公开实施例中，所述阵列波导光栅可包括：输入波导结构、输出波导结构和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阵列波导光栅，其特征在于，所述阵列波导光栅，包括：输入波导结构，包括：输入波导和输入侧平板波导；输出波导结构，包括：输出波导和输出侧平板波导；阵列波导，位于所述输入波导结构和所述输出波导结构之间，且所述阵列波导分别与所述输入侧平板波导、所述输出侧平板波导连接；其中，所述输入侧平板波导和/或所述输出侧平板波导，包括：第一波导组件，设置有缝隙；两个第二波导组件，对称设置于所述第一波导组件相对的两侧，且所述第二波导组件与所述第一波导组件相连，所述第二波导组件的折射率呈周期性变化。2.根据权利要求1所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述阵列波导光栅，还包括：补偿结构，分别与两个所述第二波导组件固定连接，用于驱动两个所述第二波导组件相对移动，以补偿由温度引起的波长漂移。3.根据权利要求1或2所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述第二波导组件，包括：多个相连的波导单元，每一个波导单元具有第一区域和第二区域，第一区域的折射率与所述第二区域的折射率不同；多个波导单元内的所述第一区域和所述第二区域交替间隔排布。4.根据权利要求3所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述第二波导组件内的多个所述波导单元的占空比不同；其中，所述占空比用于描述所述波导单元内所述第一区域或所述第二区域的区域宽度与所述波导单元的宽度之间的比值。5.根据权利要求4所述的阵列波导光栅，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔祥健，丁兰，张鼎，陈宏刚，张博，罗勇，马卫东，
申请(专利权)人：武汉光迅科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：