一种石英玻璃无磁视窗及其制作方法技术

本发明专利技术涉及真空视窗技术领域，具体涉及一种石英玻璃无磁视窗及其制作方法。该石英玻璃无磁视窗，由无磁金属法兰框架与石英玻璃窗片通过超高真空无磁密封胶密封制备得到，能够很好的实现石英视窗与无磁金属法兰框架的密封，应用于无磁超高真空环境。该无磁视窗通过密封胶密封制备得到，在实现无磁金属法兰框架间的无磁密封的同时，实现了石英玻璃无磁视窗的制作，大大降低了真空视窗的制作工艺难度。大大降低了真空视窗的制作工艺难度。

【技术实现步骤摘要】
一种石英玻璃无磁视窗及其制作方法


[0001]本专利技术涉及真空视窗
，具体涉及一种适用于无磁真空环境下的石英玻璃无磁真空视窗及其制作方法。

技术介绍

[0002]由于石英玻璃具有良好的通光性、低介电损耗、低膨胀系数、耐高温与辐射，因此石英玻璃广泛应用于电光光源、激光等光学系统的元器件、电磁信号的能量传输窗口、航空航天领域及水下潜器的观察视窗中等，且在应用中一般要求具备真空密封性。但是由于石英玻璃与金属的膨胀系数相差较大，导致任何一种金属都很难与之直接匹配，且石英玻璃缺乏韧性，大大增加了石英玻璃与金属真空密封技术难度。
[0003]目前，石英视窗与金属的封接常采用膨胀系数逐渐逼近封接金属的玻璃材料层层过渡封接、铟封、可伐合金封接、直接熔封等工艺方法，这些封接工艺虽然能够满足一定的真空环境需求，但均存在一定工艺缺陷：膨胀系数逐渐逼近封接金属的玻璃层层过渡封接，精度与强度相对较差，且工艺过程复杂，难掌握推广；铟封封接由于封接材料铟熔点较低、故耐温较低，且长期气密性难以保证；直接熔封，需要较高的温度环境，超过了石英玻璃表面的光学镀膜耐温本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英玻璃无磁视窗，其特征在于，所述石英玻璃无磁视窗由无磁金属法兰框架与石英玻璃窗片通过超高真空无磁密封胶密封制备得到。2.根据权利要求1所述的石英玻璃无磁视窗，其特征在于，所述无磁金属法兰框架由无磁金属材料通过机械加工得到，所述石英玻璃窗片由石英玻璃通过光学加工得到。3.根据权利要求1或2所述的石英玻璃无磁视窗，其特征在于，所述超高真空无磁密封胶由低蒸气压环氧树脂与固化剂按照体积比(1～3):1混合，并经过静置析出气泡后得到。4.根据权利要求1所述的石英玻璃无磁视窗，其特征在于，所述无磁金属框架为钛合金金属框架。5.权利要求1～4任一项所述的石英玻璃无磁视窗的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，依据真空系统接口完成无磁金属法兰框架加工；S2，根据步骤S1中的无磁金属法兰框架结构完成石英玻璃窗片的加工；S3，将待封接的石英玻璃窗片清洗干净并烘干，随后将超高真空无磁密封胶涂覆在石英玻璃窗片密封面上，涂覆均匀，涂覆厚度大于石英玻璃窗片与无磁金属法兰框架间间隙1～3mm，并将两...

【专利技术属性】
技术研发人员：刁鹏鹏，陈福胜，王斌，周超，马思迁，
申请(专利权)人：华中光电技术研究所中国船舶集团有限公司第七一七研究所，
类型：发明
国别省市：