本实用新型专利技术提供一种液位传感器固定结构及半导体工艺设备，涉及半导体技术领域，液位传感器用于检测半导体清洗机的储液罐内清洗液的液位，包括：安装板，安装板沿竖向滑动设置在储液罐的一侧，安装板上设置有至少一个限位块，液位传感器能够可移动地连接在安装板上；第一挡块，可伸缩地设置在储液罐的下端，第一挡块伸出时能够限制安装板向下滑动；第二挡块，可伸缩地设置在储液罐的一侧，安装板与第一挡块接触时，第二挡块伸出并能够与限位块接触，以限制安装板向上滑动；解决现有的液位传感器的固定机构中安装板的拆装繁琐，不拆卸安装板时，液位传感器的调整或更换所需操作空间大的问题。大的问题。大的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种液位传感器固定结构及半导体工艺设备
[0001]本技术属于半导体
，更具体地，涉及一种液位传感器固定结构及半导体工艺设备。
技术介绍
[0002]半导体工艺，如半导体清洗及湿法刻蚀工艺中，清洗机进行清洗工艺时，需要储液罐提供清洗液。在储液罐的一侧壁安装有一列液位传感器，可以指示液位，并反馈给控制系统以便进行补液、停止补液等操作。为适应不同的工艺需求，需要经常对液位传感器的高度进行调节，同时如果液位传感器发生损坏，还需要对其进行更换。
[0003]如图1至图4所示，现有技术中的一种液位传感器的固定机构是利用液位传感器101上的两个螺母102夹紧在安装板103上，再将安装板103螺装在储液罐104的一侧壁上。液位传感器101为电容式，非接触测量，对于树脂材料的穿透距离为8毫米以内。需要调整液位传感器101的高度时，需要松开液位传感器101上的螺母102，将液位传感器101移动到需要的位置再紧固螺母102。这样的固定机构需要一定数量的螺钉、垫片等实现安装板103在储液罐104上的拆装，拆卸繁琐；在调整或更换液位传感器101时，若不拆卸安装板103，则需要松开紧固液位传感器101的螺母102，这需要双手操作，并且要求储液罐104周围空间方便扳手进入；如果储液罐104安装在狭窄的空间中，这一操作就很难进行，不利于机台的维护工作。目前为节约成本，减少机台占地面积，储液罐104周围空间通常设计的较为狭窄，需要单手操作进行液位传感器101的调整或更换的需求也越发强烈。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是针对现有技术中存在的不足，提供一种液位传感器固定结构及半导体工艺设备，解决现有的液位传感器的固定机构中安装板的拆装繁琐，不拆卸安装板时，液位传感器的调整或更换所需操作空间大的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供一种液位传感器固定结构，所述液位传感器用于检测半导体清洗机的储液罐内清洗液的液位，包括：
[0006]安装板，所述安装板沿竖向滑动设置在所述储液罐的一侧，所述安装板上设置有至少一个限位块，所述液位传感器能够可移动地连接在所述安装板上；
[0007]第一挡块，可伸缩地设置在所述储液罐的下端，所述第一挡块伸出时能够限制所述安装板向下滑动；
[0008]第二挡块，可伸缩地设置在所述储液罐的一侧，所述安装板与所述第一挡块接触时，所述第二挡块伸出并能够与所述限位块接触，以限制所述安装板向上滑动。
[0009]可选地，所述储液罐的一侧壁上设置有一对L形板，一对所述L形板相对设置，在所述储液罐的一侧形成竖向的第一滑槽，所述安装板与所述第一滑槽滑动配合。
[0010]可选地，所述储液罐的下端设置有第二滑槽，所述第一挡块滑动设置在所述第二滑槽内且部分外露。
[0011]可选地，所述储液罐的一侧壁上设置有第三滑槽，所述第二挡块的一端滑动设置在所述第三滑槽内，且所述第二挡块与所述第三滑槽的槽底之间设置有驱动部件，所述驱动部件能够驱动所述第二挡块向靠近所述安装板的方向滑动。
[0012]可选地，所述驱动部件为弹性部件，所述第二挡块的另一端设置有第一斜面，所述限位块靠近所述第二挡块的一端设置有与所述第一斜面相配合的第二斜面，所述限位块随所述安装板向下移动时所述第二斜面能够推动所述第一斜面使得所述第二挡块压缩所述弹性部件且向远离所述安装板的方向移动。
[0013]可选地，所述安装板的下端靠近所述储液罐的一侧设置有第三斜面，所述第三斜面的倾斜方向与所述第二斜面的倾斜方向相同。
[0014]可选地，所述储液罐的一侧壁上开设有通孔，所述储液罐的内壁上设置有筒状部件，所述筒状部件的一端与所述通孔连通，所述筒状部件的另一端封闭，所述筒状部件形成所述第三滑槽。
[0015]可选地，所述第二挡块上设置有台阶部，所述储液罐的一侧壁上设置有限位部件，所述限位部件包括第一环形部，所述第一环形部套设在所述第二挡块的外周并与所述储液罐的一侧壁连接，所述第一环形部的内周设置有第二环形部，所述第二环形部与所述台阶部卡接并使得所述弹性部件处于预压缩状态。
[0016]可选地，所述安装板的一侧设置有竖向设置的刻度尺。
[0017]本技术还提供一种半导体工艺设备，包括：
[0018]清洗机，所述清洗机包括储液罐；
[0019]上述的液位传感器固定结构；
[0020]至少一个液位传感器，可移动地连接在所述液位传感器固定结构中的安装板上。
[0021]本技术提供一种液位传感器固定结构及半导体工艺设备，其有益效果在于：该液位传感器固定结构具有方便拆卸的安装板，安装板沿竖向滑动设置在储液罐的一侧，第一挡块伸出时能够实现对安装板的下端的限位，使得安装板无法向下移动，第二挡块伸出时能够与安装板上的限位块卡接，使得安装板无法向上移动，这样在第一挡块和第二挡块都伸出时，就能够实现对于安装板的固定，并且在需要对安装板上的液位传感器进行调整或更换时，只需要操作第一挡块缩回，即可向下滑动安装板，将安装板方便地拆卸，进而方便对安装板上的液位传感器进行调整或更换。
[0022]本技术的其它特征和优点将在随后具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0023]通过结合附图对本技术示例性实施方式进行更详细的描述，本技术的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，其中，在本技术示例性实施方式中，相同的参考标号通常代表相同部件。
[0024]图1示出了现有技术中的一种液位传感器的固定机构的三维结构示意图。
[0025]图2示出了现有技术中的一种液位传感器的固定机构的主视结构示意图。
[0026]图3示出了现有技术中的一种液位传感器的固定机构的侧视结构示意图。
[0027]图4示出了现有技术中的一种液位传感器的固定机构的液位传感器在安装板上的安装示意图。
[0028]图5示出了根据本技术的一个实施例的一种液位传感器固定结构的三维结构示意图。
[0029]图6示出了根据本技术的一个实施例的一种液位传感器固定结构的主视结构示意图。
[0030]图7示出了根据本技术的一个实施例的一种液位传感器固定结构的侧视结构示意图。
[0031]图8示出了根据本技术的一个实施例的一种液位传感器固定结构的剖切结构示意图。
[0032]图9示出了图8的局部放大示意图。
[0033]图10示出了图9的局部放大示意图。
[0034]图11示出了根据本技术的一个实施例的一种液位传感器固定结构的安装板的结构示意图。
[0035]图12示出了根据本技术的一个实施例的一种液位传感器固定结构的液位传感器在安装板上的安装示意图。
[0036]附图标记说明：
[0037]在图1至图4中：
[0038]101、液位传感器；102、螺母；103、安装板；104、储液罐；
[0039]在图5至图12中：本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种液位传感器固定结构，所述液位传感器用于检测半导体清洗机的储液罐内清洗液的液位，其特征在于，包括：安装板，所述安装板沿竖向滑动设置在所述储液罐的一侧，所述安装板上设置有至少一个限位块，所述液位传感器能够可移动地连接在所述安装板上；第一挡块，可伸缩地设置在所述储液罐的下端，所述第一挡块伸出时能够限制所述安装板向下滑动；第二挡块，可伸缩地设置在所述储液罐的一侧，所述安装板与所述第一挡块接触时，所述第二挡块伸出并能够与所述限位块接触，以限制所述安装板向上滑动。2.根据权利要求1所述的液位传感器固定结构，其特征在于，所述储液罐的一侧壁上设置有一对L形板，一对所述L形板相对设置，在所述储液罐的一侧形成竖向的第一滑槽，所述安装板与所述第一滑槽滑动配合。3.根据权利要求1所述的液位传感器固定结构，其特征在于，所述储液罐的下端设置有第二滑槽，所述第一挡块滑动设置在所述第二滑槽内且部分外露。4.根据权利要求1所述的液位传感器固定结构，其特征在于，所述储液罐的一侧壁上设置有第三滑槽，所述第二挡块的一端滑动设置在所述第三滑槽内，且所述第二挡块与所述第三滑槽的槽底之间设置有驱动部件，所述驱动部件能够驱动所述第二挡块向靠近所述安装板的方向滑动。5.根据权利要求4所述的液位传感器固定结构，其特征在于，所述驱动部件为弹性部件，所述第二挡块的另一端设置有第一斜面，所述限位块靠近所述第二挡块的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：董鹏，赵宏宇，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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