一种喷淋组件及半导体清洗设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种喷淋组件及半导体清洗设备，涉及晶圆清洗领域。该喷淋组件包括摆臂和喷头，喷头包括转向件，转向件可拆卸式连接于摆臂端部；摆臂设置有第一通道，转向件设置有第三通道，第三通道与第一通道连通；转向件绕摆臂端部的轴线可转动，且能固定于所需位置；和/或，喷头还包括调节件，调节件沿俯仰方向可转动地连接于转向件，且能固定于所需角度；调节件设置有第四通道，第四通道与第三通道连通。该喷淋组件包括摆臂、转向件和调节件时，对于药液喷射方向，可以沿圆周方向多角度调节，也可以沿俯仰方向多角度调节，工艺测试验证阶段，即使某一喷射角度不合适，也无需重新进行设计、加工和装配等，能够极大地节省时间，保证工艺测试验证进度。保证工艺测试验证进度。保证工艺测试验证进度。

【技术实现步骤摘要】
一种喷淋组件及半导体清洗设备


[0001]本技术涉及晶圆清洗的
，具体而言，涉及一种喷淋组件及半导体清洗设备。

技术介绍

[0002]单片清洗机是晶圆清洗的重要设备之一，晶圆清洗过程中，卡盘带动晶圆进行高速旋转，清洗用的药液、超纯水、氮气等通过旋转、升降机构从喷头以一定的喷射角度、摆角、高度等参数喷射到晶圆上，以达到指定的清洗效果。针对不同的晶圆、不同的工艺步骤，工艺工程师所采用的药液、喷射角度等参数各不相同，而最佳的喷射参数则需要工艺工程师进行理论分析、工艺测试验证等一系列过程后得出。其中，喷射角度取决于预先的机械结构设计，一旦工艺需要改变喷射角度则需要重新进行机械结构设计、加工和装配等，不仅耗费时间，而且严重影响整个工艺测试验证的进度。

技术实现思路

[0003]本技术的第一个目的在于提供一种喷淋组件，以解决现有技术中存在的对半导体清洗设备进行工艺测试验证时，耗费时间多、进度缓慢的技术问题。
[0004]本技术提供的喷淋组件，应用于半导体清洗设备，所述喷淋组件包括摆臂和喷头，所述喷头包括转向件，所述转向件可拆卸式连接于所述摆臂的端部；所述摆臂设置有用于药液管穿过的第一通道，所述转向件设置有用于药液管穿过的第三通道，所述第三通道与所述第一通道连通；
[0005]所述转向件绕所述摆臂的端部的轴线可转动，且能固定于所需位置；和/或，所述喷头还包括调节件，所述调节件沿俯仰方向可转动地连接于所述转向件，且能固定于所需角度；所述调节件设置有用于药液管穿过的第四通道，所述第四通道与所述第三通道连通。
[0006]进一步地，所述摆臂的端部固定设置有转接头，所述转向件连接于所述转接头；
[0007]所述转接头设置有用于药液管穿过的第二通道，且其与所述第一通道和所述第三通道均连通。
[0008]进一步地，所述转接头和所述转向件两者中的一者设置有环形槽，另一者设置有若干卡头，所述卡头与所述环形槽卡接。
[0009]进一步地，所述环形槽的槽壁设置有与若干所述卡头一一对应的若干开口，所述卡头穿过对应的所述开口并旋转后卡于所述环形槽内。
[0010]进一步地，所述环形槽设置于所述转接头的外周壁，若干所述卡头设置于所述转向件的内周壁，所述开口设置于所述环形槽远离所述摆臂的槽壁。
[0011]进一步地，所述转向件开设有第一螺纹孔，所述喷头还包括第一紧固螺钉，所述第一紧固螺钉穿过所述第一螺纹孔与所述转接头抵接。
[0012]进一步地，所述转向件和所述调节件之间设置有转轴，所述调节件通过所述转轴可转动地连接于所述转向件。
[0013]进一步地，所述转轴的轴线方向与所述转向件的轴线方向垂直设置。
[0014]进一步地，所述转向件设置有容纳腔，所述调节件设置于所述容纳腔内。
[0015]进一步地，所述转向件开设有第二螺纹孔，所述喷头还包括第二紧固螺钉，所述第二紧固螺钉穿过所述第二螺纹孔与所述调节件抵接。
[0016]本技术提供的喷淋组件，能够产生以下有益效果：
[0017]本技术提供的喷淋组件，优选的方案为：喷淋组件包括摆臂和喷头，喷头既包括转向件，也包括调节件，药液管穿设于第一通道、第三通道和第四通道，工艺测试验证阶段，可以绕摆臂端部的轴线转动转向件，并将转向件固定于所需位置，从而可以沿圆周方向调节药液管出口的方向；还可以沿俯仰方向转动调节件，并将调节件也固定于所需位置，从而可以沿俯仰方向调节药液管出口的方向，即，以上优选方案既可以沿圆周方向多角度调节药液的喷射方向，也可以沿俯仰方向多角度调节药液的喷射方向。当然，本技术提供的喷淋组件，也可以根据需要，只有转向件能够相对于摆臂的端部转动，或者只有调节件能够相对于转向件转动，分别能够实现喷射方向沿圆周方向的多角度调节和沿俯仰方向的多角度调节。总而言之，本技术提供的喷淋组件，药液喷射方向可实现多角度调节，工艺测试验证阶段，即使某一喷射角度不合适，也无需重新对喷淋组件进行设计、加工和装配等，能够极大地节省时间，保证工艺测试验证进度。
[0018]本技术的第二个目的在于提供一种半导体清洗设备，以解决现有技术中存在的对清洗设备进行工艺测试验证时，耗费时间多、进度缓慢的技术问题。
[0019]本技术提供的半导体清洗设备，包括上述的喷淋组件，还包括驱动机构，所述驱动机构与所述摆臂传动连接，用于驱动所述摆臂升降和/或摆动。
[0020]本技术提供的半导体清洗设备，具有上述的喷淋组件的全部优点，故在此不再赘述。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0022]图1为现有技术中喷淋组件的应用场景示意图；
[0023]图2为现有技术中喷淋组件的局部结构剖视图；
[0024]图3为本技术实施例提供的喷淋组件的应用场景示意图；
[0025]图4为本技术实施例提供的喷淋组件的局部结构示意图；
[0026]图5为本技术实施例提供的喷淋组件的局部结构剖视图；
[0027]图6为本技术实施例提供的喷淋组件的转接头的结构示意图；
[0028]图7为本技术实施例提供的喷淋组件的转向件的结构示意图；
[0029]图8为本技术实施例提供的喷淋组件的调节件的结构示意图；
[0030]图9为本技术实施例提供的半导体清洗设备的局部结构剖视图。
[0031]附图标记说明：
[0032]100
’‑
摆臂；200
’‑
转接头；300
’‑
固定件；400
’‑
螺钉；700
’‑
药液管；800
’‑
晶圆；
[0033]100
‑
摆臂；200
‑
转接头；210
‑
环形槽；211
‑
开口；300
‑
转向件；310
‑
卡头；320
‑
第一螺纹孔；330
‑
容纳腔；340
‑
第一销孔；350
‑
第二螺纹孔；400
‑
调节件；410
‑
第二销孔；510
‑
第一紧固螺钉；520
‑
转轴；530
‑
第二紧固螺钉；
[0034]600
‑
驱动机构；
[0035]700
‑
药液管；
[0036]800
‑
晶圆；
[0037]900
‑
卡盘。
具体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷淋组件，应用于半导体清洗设备，其特征在于，所述喷淋组件包括摆臂(100)和喷头，所述喷头包括转向件(300)，所述转向件(300)可拆卸式连接于所述摆臂(100)的端部；所述摆臂(100)设置有用于药液管(700)穿过的第一通道，所述转向件(300)设置有用于药液管(700)穿过的第三通道，所述第三通道与所述第一通道连通；所述转向件(300)绕所述摆臂(100)的端部的轴线可转动，且能固定于所需位置；和/或，所述喷头还包括调节件(400)，所述调节件(400)沿俯仰方向可转动地连接于所述转向件(300)，且能固定于所需角度；所述调节件(400)设置有用于药液管(700)穿过的第四通道，所述第四通道与所述第三通道连通。2.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述摆臂(100)的端部固定设置有转接头(200)，所述转向件(300)连接于所述转接头(200)；所述转接头(200)设置有用于药液管(700)穿过的第二通道，且其与所述第一通道和所述第三通道均连通。3.根据权利要求2所述的喷淋组件，其特征在于，所述转接头(200)和所述转向件(300)两者中的一者设置有环形槽(210)，另一者设置有若干卡头(310)，所述卡头(310)与所述环形槽(210)卡接。4.根据权利要求3所述的喷淋组件，其特征在于，所述环形槽(210)的槽壁设置有与若干所述卡头(310)一一对应的若干开口(211)，所述卡头(310)穿过对应的所述开口(211)并旋转后卡于所述环形槽(210)内。5.根据权利要求4所述的喷淋组件，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张玉涛，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：