一种移动式高精度的测量平台及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种移动式高精度测量平台及其使用方法，工作台本体的第一导向轨道沿磁浮组件的运动方向平行设置，同时位于第一导向轨道与承载座之间设置有第一滑块；使第一滑块的连接柱整体对承载座底部形成支撑并实现相对滑动；龙门架体横跨于工作台本体所在的上方位置，且两侧底部与工作台本体的承载座两端部固定连接并实现同步纵向移动，同时扫描件位于龙门架体上并实现在横向扫描移动，通过扫描件对承载在工作台本体上的待测量件扫描。本装置位于第一滑块连接上所采用的第一滑块能够座位承载座不通电状态下的支撑，同时位于第一滑块底部的横向滑槽，能够为第一滑块在横向的偏移提供运动余量，极大减缓了承载座的变形，提高了检测精度。高了检测精度。高了检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种移动式高精度的测量平台及其使用方法


[0001]本专利技术属于高精度测量设备
，具体涉及一种移动式高精度测量平台及其使用方法。

技术介绍

[0002]精度测量用于大型、精密设备的精确定位和变形观测等的测量工作，特别是对于目前的高端制造设备来说，对于精度加工要求也越来越高，传统的手动测量方式并不能满足加工需要，为此在中国专利申请公布号为CN107816919 A中国公开了一种用于检测的滑动型内径尺，包括：尺本体、定标尺、滑轨、滑块、动标尺，所述尺本体设置有刻度，通过滑块在滑轨上的滑动，实现了将对不同尺寸件的有效测量，但是由于这种驱动方式是通过滑块在滑轨上的滑动实现的效果，在长时间的摩擦作用下，会造成滑块的磨损，影响时间的测量精度。
[0003]为了减少在滑动时滑块与滑轨之间的摩擦磨损，在中国专利CN112129234A中公开了一种用于大尺寸晶圆厚度测量平台，采用中空设计，Y轴采用Y1/Y2双向∩型气浮双驱设计，以便提高平台整体固有频率，降低加工和调试难度，保证X向精度。这种方式通过气浮装置可以实现减少长时间的摩擦磨损，由于气浮启动时，需要首先通气状态下将运动件相互分离，从而达到减少摩擦的作用，但是在启动和暂定的瞬间，依然会造成运动件之间的机械摩擦，经常的启停作业，会增加机械摩擦的磨损度。并且这种气动悬浮装置仅适用于小体量的承载，当承载物件重量较大时，气动悬浮装置就难以实现气动悬浮。
[0004]在中国专利授权公告号为CN113251906 B中公开了一种磁悬浮轴承悬浮状态检测方法及装置，先在磁悬浮轴承初始化过程中，获取位置传感器的第一电压信号和/或功率放大器的电流信号；然后在磁悬浮轴承悬浮状态下，通过磁力排斥作用能够实现大体积，大重量的承载板的转运测量，但是在实际的使用过程中，为了便于驱动，所采用磁悬浮的通电斥力较大，长时间运转时，长时间不通电的状态下会造成位于中部的承载面板在自身重力下下压变形（这种变形不可逆），会影响在一定程度测量精度的精准性。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种移动式高精度测量平台及其使用方法，解决了现有技术中存在的上述技术问题。
[0006]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种移动式高精度测量平台，包括工作台本体、扫描件、龙门架体，所述工作台本体包括磁浮组件、第一导向轨道以及承载座，所述磁浮组件带动上方承载架水平移动，所述第一导向轨道沿磁浮组件的运动方向平行设置，同时位于所述第一导向轨道与承载座之间设置有第一滑块；所述第一滑块包括上连接件、下连接件以及连接柱，所述上连接件、下连接件分别固定于承载座所在的下方以及第一导向轨道所在的上方位置，所述连接柱贯穿上连接件并
与上连接件所在的上表面形成点连接，使连接柱整体对承载座底部形成支撑并实现相对滑动；所述龙门架体横跨于工作台本体所在的上方位置，且两侧底部与工作台本体的承载座两端部固定连接并实现同步纵向移动，同时所述扫描件位于龙门架体上并实现在横向扫描移动，通过所述扫描件对承载在工作台本体上的待测量件扫描。
[0007]进一步的，所述磁浮组件包括磁浮体以及纵向设置的磁轨，所述磁浮体位于承载架重心所在的底部位置固定，同时对磁轨通电使磁浮体带动承载座沿磁轨的延伸方向磁浮移动。
[0008]进一步的，所述第一导向轨道设置两组，位于所述磁轨的两侧对称且平行设置。
[0009]位于所述第一导向轨道所在的外侧设置有相互平行的第二导向轨道，使第二导向轨道对承载座所在的两端部形成支撑，使承载座所在的上表面平齐。
[0010]进一步的，所述下连接件所在上表面且垂直于第一导向轨道开设有横向的导槽，所述导槽两侧设置为向中心倾斜的斜边结构；所述连接柱所在的下表面设置为球面结构，使所述连接柱所在下表面的球面结构嵌入在导槽内，并与导槽所在的两个斜边结构形成点接触连接。
[0011]进一步的，所述导槽所在斜边的倾角为30
‑
45度。
[0012]进一步的，所述上连接件内嵌于承载座上，同时所述上连接件所在的中部位置设置为贯穿的通孔结构；所述连接柱所在的外周设置为螺纹结构，并实现与上连接件所在的中部通孔螺纹连接，以调整连接柱伸入上连接件的深度。
[0013]进一步的，位于所述工作台本体所在的上表面设置有透明面板，使所述透明面板对磁浮组件、第一导向轨道、承载座、第一滑块整体形成罩盖，待测量件置于透明面板上表面承载。
[0014]进一步的，位于所述透明面板所在的下方位置设置有点光源，所述点光源固定于承载座上并随之同步运动；同时所述点光源对扫描件的扫描形成光源背景面。
[0015]所述的移动式高精度测量平台的使用方法，包括以下步骤：S1、首先通过将待测量件置于透明面板所在的上表面承载；S2、打开点光源，同时调整扫描件位于待测量件上方的相对高度，并选择待测量件上的一个标记点作为扫描起点，另一个标记点作为扫描终点；S3、启动磁浮组件，使龙门架体随承载座在纵向往复移动，同时扫描件沿龙门架体在横向往复移动，以实现扫描件对待测量件完成全部扫描；S4、扫描件将扫描的所有数据汇总，并以数据形式呈现于数据端。
[0016]本专利技术的有益效果：1、本装置位于第一滑块连接上所采用的第一滑块能够座位承载座不通电状态下的支撑，同时位于第一滑块底部的横向滑槽，能够为第一滑块在横向的偏移提供运动余量，极大减缓了承载座的变形，提高了检测精度。
[0017]2、本装置采用的第一滑块上设置有连接柱，连接柱的底部为球形面，通过球形面与底部的斜面滑槽采用点接触，可以进一步减少在横向滑动时带来的磨损，并且通电后的
承载座，使连接柱能够快速复原。
[0018]3、本装置所采用的连接柱与上部承载座采用螺纹连接，因此装配调试时，可根据需要调整连接柱的相对深度，满足组装精度的需要，同时在长时间的使用过程中，当承载座因自身重力产生局部形变时，也可以进一步调整相对高度，从而满足测量精度的需要，提高了整个设备的使用寿命。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0020]图1是本专利技术实施例的整体结构示意图；图2是本专利技术实施例的侧截面结构示意图；图3是本专利技术实施例的工作台本体内部结构示意图；图4是本专利技术实施例的承载座连接状态结构示意图；图5是本专利技术实施例承载座连接状态的俯视结构示意图；图6是本专利技术实施例承载座连接状态的正面结构示意图；图7是本专利技术实施例的第一滑块连接状态剖面结构示意图；图8是本专利技术实施例的第一滑块连接状态正截面结构示意图；图9是本专利技术实施例的图8中B处部分结构示意图；图10是本专利技术实施例的第一导向轨道磁浮组件连接状态结构示意图图11是本专利技术实施例的图10中A处部分结构示意图；图12是本专利技术实施例的下连接件结构示意图；图13是本专利技术实施例的连接柱结构示意图;图14是本专利技术实施例中对零部件测量的状态结构图。
具体实施方式
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种移动式高精度测量平台，包括工作台本体（1）、扫描件（2）、龙门架体（3），其特征在于，所述工作台本体（1）包括磁浮组件（11）、第一导向轨道（12）以及承载座（13），所述磁浮组件（11）带动上方承载架（13）水平移动，所述第一导向轨道（12）沿磁浮组件（11）的运动方向平行设置，同时位于所述第一导向轨道（12）与承载座（13）之间设置有第一滑块（4）；所述第一滑块（4）包括上连接件（41）、下连接件（42）以及连接柱（43），所述上连接件（41）、下连接件（42）分别固定于承载座（13）所在的下方以及第一导向轨道（12）所在的上方位置，所述连接柱（43）贯穿上连接件（41）并与上连接件（41）所在的上表面形成点连接，使连接柱（43）整体对承载座（13）底部形成支撑并实现相对滑动；所述龙门架体（3）横跨于工作台本体（1）所在的上方位置，且两侧底部与工作台本体（1）的承载座（13）两端部固定连接并实现同步纵向移动，同时所述扫描件（2）位于龙门架体（3）上并实现在横向扫描移动，通过所述扫描件（2）对承载在工作台本体（1）上的待测量件扫描。2.根据权利要求1所述的移动式高精度测量平台，其特征在于，所述磁浮组件（11）包括磁浮体（111）以及纵向设置的磁轨（112），所述磁浮体（111）位于承载架（13）重心所在的底部位置固定，同时对磁轨（112）通电使磁浮体（111）带动承载座（13）沿磁轨（112）的延伸方向磁浮移动。3.根据权利要求2所述的移动式高精度测量平台，其特征在于，所述第一导向轨道（12）设置两组，位于所述磁轨（112）的两侧对称且平行设置，位于所述第一导向轨道（12）所在的外侧设置有相互平行的第二导向轨道（14），使第二导向轨道（14）对承载座（13）所在的两端部形成支撑，使承载座（13）所在的上表面平齐。4.根据权利要求1所述的移动式高精度测量平台，其特征在于，所述下连接件（42）所在上表面且垂直于第一导向轨道（12）开设有横向的导槽（421），所述导槽（421）两...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜双喜，温博仁，韩笑，
申请(专利权)人：江苏芯宇宙智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：