提供了一种用于在显示器制造中检查基板(10)的设备(100)。基板具有其中设置有可固化油墨的一个或多个部分，并且设备包括基板支撑件(110)、用于向基板提供等于或高于第一预定阈值的激励的激励源(130)、用于检测在一个或多个部分处从可固化油墨发射的光发射的光学检查装置(120)、以及控制器(140)，用于提供关于根据光学检查装置检测的光发射计算出的一个或多个部分的填充状态的信息。个或多个部分的填充状态的信息。个或多个部分的填充状态的信息。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在显示器制造中检查基板的设备及方法及用于处理基板的系统
[0001]本公开内容涉及显示器制造领域，特定而言涉及提供显示器应用中使用的基板的领域。更特定而言，本公开内容涉及一种用于检查具有打印于其上的可固化油墨的基板的设备及方法。
技术介绍
[0002]在显示器制造中，已知有若干技术可提供具有改良分辨率及对比度特性的显示器，并且已开发了许多方法。其中LCD(液晶显示器)使用液晶的光调制特性来影响背光源或反射器提供的光，以产生彩色或单色图像，OLED(有机发光二极管)显示器的技术提供相应于电力直接发射可见光的有机材料。
[0003]众所周知，OLED显示器相较于LCD具有有益的效果，例如，可以提供更薄及更轻的显示器，OLED显示器实现更深的黑色层次及更高的对比度，并且具有柔性且透明，因此允许在屏幕、电视、智能手机等多个应用中使用OLED显示器。
[0004]OLED基板的产生通常通过在基板上涂覆有机材料来进行，有机材料提供红色、蓝色及绿色的原色以在基板上产生像素。例如，涂覆处理可基于沉积在基板上的有机材料(诸如主体材料及掺杂剂材料)的蒸发来在基板上提供不同颜色的像素。
[0005]与OLED技术相比，微型LED(发光二极管)可在基板上提供微小的像素，微型LED由以半导体阵列的形式提供的无机材料(例如铟镓氮化物(InGaN))制成，微型LED能够响应于电力而自发光。在显示器制造方面，与OLED技术相比，微型LED技术在所制造显示器的寿命、亮度及对比度等方面均具有优势。到目前为止，适用于显示器制造的微型LED阵列的制造成本高昂且效率低下。此外，存在不同的方法向用于显示器的基于微型LED的基板提供彩色像素。一种方法是通过打印处理向基板提供彩色油墨，以产生不同颜色的像素。
[0006]鉴于上述情况，提供用于显示器制造，特定而言用于包括彩色像素打印在内的制造的改进的设备、系统及方法是有益的。
技术实现思路
[0007]根据本公开内容，提供了一种用于在显示器制造中检查基板的设备。基板具有其中设置有可固化油墨的一个或多个部分，并且设备包括基板支撑件、用于向基板提供等于或高于第一预定阈值的激励的激励源、用于检测在一个或多个部分处从可固化油墨发射的光发射的光学检查装置、以及控制器，用于提供关于根据光学检查装置检测的光发射计算出的一个或多个部分的填充状态的信息。
[0008]根据一个方面，提供了一种用于处理基板的系统。基板具有一个或多个部分，并且系统包括用于向基板的一个或多个部分提供可固化油墨的打印机，以及一种根据本文所述实施方式的设备。
[0009]根据一个方面，提供了一种在显示器制造中检查具有一个或多个部分的基板的方
法。方法包括以下步骤，向一个或多个部分提供可固化油墨以填充一个或多个部分；对准光学检查装置与基板；提供等于或高于第一预定阈值的激励；使用光学检查装置记录从打印在基板的一个或多个部分上的可固化油墨发射的光；以及根据从打印在基板上的可固化油墨发射的光产生关于一个或多个部分的填充状态的信息。
[0010]实施方式也涉及用于执行所公开的方法的设备，并包括用于执行每个方法方面的设备部件。这些方法方面可以通过硬件元件、由适当软件编程的计算机、以上两者的任何组合或以任何其他方式来执行。此外，根据本公开内容的实施方式还涉及用于操作所述设备的方法。实施方式包括用于执行设备的每个功能的方法方面。
附图说明
[0011]为了能够详细理解本公开内容的上述特征的方式，可以通过参考实施方式来获得上文简要概述的本公开内容的更具体的描述。附图涉及本公开内容的实施方式并描述如下：
[0012]图1示出了根据本文描述的实施方式的设备的示意性前视图；
[0013]图2示出了根据本文实施方式的基板的示意性俯视图；
[0014]图3示出了根据本文描述的实施方式的设备的示意性前视图；
[0015]图4A至图4C示出了根据本文描述实施方式的子部分的示例；
[0016]图5示出了根据本文实施方式的波长图；
[0017]图6示出了根据本文描述的实施方式的系统的示意性前视图；以及
[0018]图7示出了根据本文描述的实施方式的方法的流程图。
具体实施方式
[0019]现在将详细参考本公开内容的各种实施方式，其一个或多个示例在图中示出。在以下各图的说明中，相同的附图标记指代相同的元件。通常，仅描述关于各个实施方式的差异。每个示例均提供为用于解释本专利技术，并不意味着对本公开内容进行限制。此外，作为一个实施方式的一部分示出或描述的特征可以在其他实施方式上使用或与其他实施方式结合使用，以产生又一个实施方式。本公开内容意欲包括此种修改及变化。
[0020]在以下各图的说明中，相同的附图标记指代相同或类似的部件。通常，仅描述关于各个实施方式的差异。除非另有规定，否则对一个实施方式中的部分或方面的描述也适用于另一实施方式中的相应部分或方面。
[0021]在显示器制造中，可通过在基板上打印相应的油墨，在基板上产生彩色像素。例如，最新技术可利用打印在基板上的可固化油墨以在基板上提供高密度像素，从而提供高分辨率显示器。基板上设置有油墨，并且油墨被固化以固定在基板上。
[0022]需要对油墨进行高精度打印，以获得高产量及高品质的基板。特别地，在基于微型LED的显示器领域，其中单个像素包括微米范围内的尺寸，打印精度是有益的。这可能不仅包括提供油墨的位置(例如打印在基板上的位置)，而且包括提供的油墨量。因此，用于向基板提供油墨的方法，例如打印方法，可能会受到品质检查的影响，因为所提供的油墨量及打印精度可能会随时间而变化，并且可能会对打印结果产生负面影响。
[0023]鉴于上述情况，提供用于检查提供有(例如打印有)可固化油墨的基板的设备、方
法及系统以确保显示器制造中的高品质及高产量是有益的。
[0024]根据可与本文描述的任何其他实施方式组合的实施方式，并示例性参考图1，提供了一种用于在显示器制造中检查基板10的设备100。基板包括其中提供有可固化油墨的一个或多个部分。设备包括基板支撑件110。此外，设备包括激励源130，用于向基板提供等于或高于第一预定阈值的激励。此外，设备包括用于检测从一个或多个部分处的可固化油墨发射的光发射的光学检查装置120，及用于提供关于根据光学检查装置检测的光发射计算出的一个或多个部分的填充状态的信息的控制器140。
[0025]根据可与本文描述的任何其他实施方式组合的实施方式，可在基板支撑件110处提供基板。示例性参考图2进一步描述基板。基板可以是玻璃基板。另外或者替代地，基板可进一步包括聚合物材料。基板可由聚合物材料制成。基板可包括挠性聚合物材料和/或由柔性聚合物材料制成。基板可(例如通过传送装置等)自动地提供至基板支撑件。基板支撑件可以包括非反射性质，例如基板支撑件可以是透明的，或者可包括深色，使得基板支撑件可防止干扰由激励源向基板提供的激励，例如光源提供的光。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在显示器制造中检查基板(10)的设备(100)，所述基板具有其中提供有可固化油墨的一个或多个部分，所述设备包括：基板支撑件(110)；激励源(130)，所述激励源(130)用于向所述基板提供等于或高于第一预定阈值的激励；光学检查装置(120)，所述光学检查装置(120)用于检测在所述一个或多个部分处从所述可固化油墨发射的光发射；以及控制器(140)，所述控制器(140)用于提供关于根据所述光学检查装置检测到的所述光发射计算出的所述一个或多个部分的填充状态的信息。2.根据权利要求1所述的设备，其中所述激励源(130)包括光源，并且其中所述光源被配置为向所述基板提供等于或高于所述第一预定阈值的波长。3.根据权利要求1或2所述的设备，其中所述光学检查装置包括单色照相机或彩色照相机。4.根据权利要求1至3中任一项所述的设备，其中所述光学检查装置包括滤波器单元(124)。5.根据权利要求4所述的设备，其中所述滤波器单元(124)包括一个或多个带通滤波器，用于将所述光学检查装置对在所述一个或多个部分处的所述可固化油墨发射的所述光发射进行的检测限制为等于或高于所述第一预定阈值的波长。6.根据权利要求2至5中任一项所述的设备，其中所述第一预定阈值是385nm或以上、特别是400nm或以上、更特别是425nm或以上、甚至更特别是450nm或以上的波长。7.根据权利要求1至6中任一项所述的设备，其中所述光学检查装置被配置为检测所述基板上的一个或多个图案，并且其中所述控制器被配置为根据检测到的所述一个或多个图案计算所述基板及所述光学检查装置的位置，以将所述光学检查装置与所述基板对准。8.根据权利要求1至7中任一项所述的设备，其中所述控制器被配置为计算所述一个或多个部分的一个或多个位置坐标，以在所述光发射高于或低于预定下限和/或上限阈值时，提供所述一个或多个部分的重新打印。9.根据权利要求1至8中任一项所述的设备，其中所述控制器被配置为根据从所述一个或多个部分检测到的所述光发射计算平均灰度值。10.根据权利要求1至9所述的设备，其中所述设备进一步包括用于将所述基板与所述光学检查装置进行对准的对准装置。11.一种用于处理基板的系统(600)，所述基板具有一个或多个部分，所述系统包括：打印机(150)，所述打印机(150)用于向所述基板的所述一个或...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔治，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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