一种车规抗硫化薄膜高精度电阻器的制造方法及电阻器技术

本发明专利技术涉及车规抗硫化薄膜高精度电阻器的制造方法以及电阻采用AL2O3陶瓷基板为载体，印刷正面电极与背面电极；通过磁控溅射工艺溅射电阻层、AL2O3保护层；进行镭射修正，切割线从贴近电阻层边缘进行起刀且起刀位置位于G2保护层范围内；将电阻层表面清洁，上方形成G2保护层并干燥与固化；印刷至G2保护层上并进行干燥与固化。本发明专利技术突破了技术壁垒形成集合，符合85℃/85%RH的高温高湿应用条件、高功率、抗硫化功能的电阻器。通过对切割线的均匀合理分布实现高功率特性；通过对电阻结构设计实现超强的耐硫化特征；通过切割线、保护层调整实现了高功率以及高稳定性。整实现了高功率以及高稳定性。整实现了高功率以及高稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种车规抗硫化薄膜高精度电阻器的制造方法及电阻器


[0001]本专利技术涉及电阻器的制造，尤其是车规级抗硫化薄膜高精度电阻器的制造。

技术介绍

[0002]信息技术产业是关系国民紧急安全和发展的战略性、基础性、先导性产业，也是世界主要国家高度重视、全力布局的竞争高地。其中新能源汽车重点推动车规级传感器、电容器、电阻器等电子元器件应用。
[0003]现有电阻器无法同时具备耐高温高湿、高功率、抗硫化三相指标。而车规级电阻器工作环境恶劣，对性能要求尤为重要。为此亟待一种能够满足耐高温高湿、高功率、抗硫化的电阻器。

技术实现思路

[0004]为了解决目前还没有一种同时具备耐高温高湿、高功率、抗硫化三相指标的电阻器。本专利技术提供一种车规级抗硫化薄膜高精度电阻器的制造方法及电阻器。
[0005]本专利技术采用的技术方案为：一种车规抗硫化薄膜高精度电阻器的制造方法，包括以下步骤：a、 采用AL2O3陶瓷基板为载体，通过丝网印刷工艺印刷正面电极与背面电极并进行干燥与固化；b、 将玻璃粉浆料通过丝网印刷遮盖载体正面，露出电阻层区本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种车规抗硫化薄膜高精度电阻器的制造方法，其特征在于包括以下步骤：a、 采用AL2O3陶瓷基板为载体，通过丝网印刷工艺印刷正面电极与背面电极并进行干燥与固化；b、将玻璃粉浆料通过丝网印刷遮盖载体正面，露出电阻层区域；c、 通过磁控溅射工艺溅射电阻层；d、通过磁控溅射AL2O3保护层；e、 去除玻璃粉浆料；f、固化电阻层；g、进行第一次镭射修正，切割线从贴近电阻层边缘进行起刀；切割线之间刀间距在30UM至57UM之间，根据间距由小至大，刀数在57至20刀之间；h、 进行第二次镭射修正，在第一次镭射修整基础上进行阻值精修；i、 清洁电阻层表面；j、 通过丝网印刷将树脂浆料印刷在电阻层上方形成G2保护层，且G2保护层包裹起刀位；并经过干燥与固化；k、将字符标识印刷至G2保护层上并进行干燥与固化；l、 将电阻进行折条并进行端面磁控溅射金属导电层，使正面电极与背面电极导通；m、进行折粒、电镀、筛选、封装。2.根据权利要求1所述的车规抗硫化高精度电阻器的制造方法，其特征在于：步骤d中溅射有300nm至500nm 厚度的AL2O3防水保护层。3.根据权利要求1所述的车规抗硫化高精度电阻器的制造方法，其特征在于：步骤i中清洁电阻层表面：包括真空等离子清洗，随后进行红外烘烤。4.根据权利要求3所述的车规抗硫化高...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐刚君，冯会军，韩胜友，袁其平，张峰，杜勇，
申请(专利权)人：宁波鼎声微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：