压电元件、压电装置及压电元件的制造方法制造方法及图纸

压电元件具备：支承体(10)；以及振动部(20)，被配置在支承体(10)上，具有被支承体(10)支承的支承区域(21a)和多个振动区域(22)，该多个振动区域(22)其一端部(221)侧被支承区域(21a)支承并且其与一端部(221)相反侧的另一端部(222)侧从支承体(10)悬浮。并且，多个振动区域(22)具有：被作为压力检测部(220a)的振动区域(22)，一端部(221)侧的质量被设为比另一端部(222)侧的质量重，输出基于压电膜的电荷得到的第1检测信号；以及被作为加速度检测部(220b)的振动区域(22)，另一端部(222)侧的质量被设为比一端部(221)侧的质量重，输出基于压电膜(30)的电荷得到的第2检测信号。信号。信号。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电元件、压电装置及压电元件的制造方法
[0001]关联申请的相互参照
[0002]本申请基于2021年3月10日提出的日本专利申请第2021
‑
38409号而作成，在此通过参照将其记载的内容并入于此。


[0003]本公开涉及具有振动区域的压电元件、压电装置及压电元件的制造方法。

技术介绍

[0004]目前，提出了具有振动区域的压电元件(例如，参照专利文献1)。具体而言，该压电元件为在支承体上层叠有压电膜以及与压电膜电连接的电极膜的结构。而且，压电元件在支承体形成有凹部，压电膜及电极膜的一部分被做成从支承体悬浮的悬浮区域。此外，在该压电元件中，通过在悬浮区域形成狭缝，从而将悬浮区域分割为多个区域而构成振动区域。另外，各振动区域为被支承体悬臂支承的状态。此外，各振动区域呈平面大致三角形，支承体侧的一端部的质量被设为相比于与该一端部相反侧的另一端部的质量重。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特许第5936154号公报
专利
技术实现思路

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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电元件，检测压力，上述压电元件具备：支承体(10)；以及振动部(20)，被配置在上述支承体上，具有压电膜(30)及与上述压电膜电连接的电极膜(40)，上述振动部具有被上述支承体支承的支承区域(21a)、及一端部(221)侧被上述支承区域支承并且与上述一端部相反侧的另一端部(222)侧从上述支承体悬浮的多个振动区域(22)，上述多个振动区域具有：被作为压力检测部(220a)的振动区域，上述一端部侧的质量被设为比上述另一端部侧的质量重，输出基于上述压电膜的电荷得到的第1检测信号；以及被作为加速度检测部(220b)的振动区域，上述另一端部侧的质量被设为比上述一端部侧的质量重，输出基于上述压电膜的电荷得到的第2检测信号。2.如权利要求1所述的压电元件，在上述支承区域配置有温度检测部(70)，该温度检测部输出与温度对应的温度检测信号。3.如权利要求1或2所述的压电元件，上述压力检测部及上述加速度检测部在沿着上述振动区域的面方向的方向上延伸，相对于经过上述支承区域中的规定的两个部位的假想线(K)，在从上述假想线靠一侧集中配置上述压力检测部，在从上述假想线靠另一侧集中配置上述加速度检测部。4.如权利要求1～3中任一项所述的压电元件，在上述支承体形成有使上述振动区域从该支承体悬浮的凹部(10a)，上述凹部以构成分隔壁(13)的状态而形成，上述分隔壁(13)区划由上述压力检测部和上述支承体包围的第1空间(S1)以及由上述加速度检测部和上述支承体包围的第2空间(S2)。5.一种压电装置，检测压力，上述压电装置具备：如权利要求1～4中任一项所述的压电元件；以及控制部(200)，进行规定的处理，上述控制部基于上述第1检测信号及上述第2检测信号导出被施加的上述压力的频率，并且将所导出的频率与规定的阈值进行比较，当判定为所导出的频率小于上述规定的阈值时，基于上述第2检测信号检测上述压力，当判定为所导出的频率为上述规定的阈值以上时，基于上述第1检测信号检测上述压力。6.如权利要求5所述的压电装置，具备收容上述压电元件的壳体(100)，在上述壳体，在与上述压力检测部对置的部分形成有贯通孔(101b)，并且配置有分隔壁(120)，该分隔壁(120)区划与上述压力检测部对置的部分以及与上述加速度检测部对置的部分。7.一种压电装置，检测压力，上述压电装置具备：
压电元件(1)，具备支承体(10)和振动部(20)，该振动部(20)被配置在上述支承体上，具...

【专利技术属性】
技术研发人员：酒井峰一，马渡和明，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：