一种平衡探测器阵列制造技术

本申请实施例提供一种平衡探测器阵列。该平衡探测器阵列包括第一探测器阵列和第二探测器阵列，采用镜像方式设置于同一衬底。第一探测器阵列和第二探测器阵列均包括M个探测器像元且一一对应，第一探测器阵列和第二探测器阵列的M个探测器像元构成M个平衡像元对，每个平衡像元对用于输出一个差分信号，M为大于1的整数。每个平衡像元对包括第一探测器像元和第二探测器像元，第一探测器像元和第二探测器像元的光敏区域的几何中心分别位于第一直线和第二直线，第二直线与第一直线平行，第一探测器像元和第二探测器像元的光敏区域的几何中心的连线与第一直线垂直。该平衡探测器阵列能够提升光电探测器的光敏区域的占空比，以及激光雷达的出点率。光雷达的出点率。光雷达的出点率。

【技术实现步骤摘要】
一种平衡探测器阵列


[0001]本申请涉及激光探测领域，并且更具体地，涉及一种平衡探测器阵列。

技术介绍

[0002]激光雷达作为一种主动式的传感器，广泛应用于自动驾驶、机器人、无人机等领域。激光雷达是以发射激光束探测目标的位置、速度等特征量的雷达系统。具体地，采用激光作为发射源，通过向探测目标发射激光信号，对比发射光信号与目标反射光信号，以获得激光扫描信息，例如目标到发射点距离、方位、高度以及角度等。
[0003]其中，基于相干探测的线性调频连续波(frequency modulated continuous wave，FMCW)激光雷达具有很多优点，比如抗干扰特性、本振光增益提升测距能力等。然而，当前FMCW激光雷达所用的平衡探测器是由单元探测器构成的，使得其在每个探测周期只能由单个探测器输出单个点云信号，限制了整个激光雷达的点云出点率。
[0004]因此，亟需一种大规模阵列化的平衡探测器，能够提升光电探测器的光敏区域的占空比，进而提高激光雷达的点云出点率。

技术实现思路

[0005]本申请实施例提供一种平衡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平衡探测器阵列，其特征在于，所述平衡探测器阵列包括M个平衡像元对，每个平衡像元对用于输出一个差分信号，所述M个平衡像元对配置在第一平面，M为大于1的整数，其中：所述M个平衡像元对中的每个平衡像元对包括：第一探测器像元，所述第一探测器像元的光敏区域的几何中心位于所述第一平面内的第一直线；第二探测器像元，所述第二探测器像元的光敏区域的几何中心位于所述第一平面内的第二直线，所述第二直线与所述第一直线平行或近似平行，所述第一探测器像元和所述第二探测器像元的光敏区域的几何中心的连线与所述第一直线垂直或近似垂直。2.根据权利要求1所述的平衡探测器，其特征在于，所述每个平衡像元对中的所述第一探测器像元和所述第二探测器像元彼此独立供电。3.根据权利要求1或2所述的平衡探测器阵列，其特征在于，所述每个平衡像元对中的所述第一探测器像元的负电极与所述第二探测器像元的正电极连接，用于生成所述差分信号的输出端。4.根据权利要求3所述的平衡探测器阵列，其特征在于，所述平衡探测器阵列还包括信号电极线，所述信号电极线用于连接所述第一探测器像元的负电极与所述第二探测器像元的正电极。5.根据权利要求4所述的平衡探测器阵列，其特征在于，所述信号电极线上设置有第一信号电极，所述第一信号电极用于输出所述差分信号。6.根据权利要求1或2所述的平衡探测器阵列，其特征在于，所述每个平衡像元对中的所述第一探测器像元的负电极与所述第二探测器像元的正电极不连接。7.根据权利要求1至6中任一项所述的平衡探测器阵列，其特征在于，所述第一平面上从下至上依次设置有缓冲层、吸收层、帽层和所述光敏区域。8.根据权利要求7所述的平衡探测器阵列，其特征在于，在所述每个平衡像元对中的所述第一探测器像元与所述第二探测器像元之间的区域设置隔离槽，所述隔离槽用于隔断所述缓冲层。9.根据权利要求1至8中任一项所述的平衡探测器阵列，其特征在于，所述M个平衡像元对中的任意两个相邻的第一探测器像元之间设置隔离槽，且所述M个平衡像元对中的任意两个相邻的第二探测器像元之间设置隔离槽。10.根据权利要求7至9中任一项所述的平衡探测器阵列，其特征在于，所述平衡探测器阵列的外延材料表面设置有介质层，其中：所述每个探测器像元的正电极由所述每个探测器像元的光敏区域引出至所述介质层，且在所述每个探测器像元的正电极设置有第一金属凸点；所述每个探测器像元的负电极从所述缓冲层引出至所述介质层，且所述每个探测器像元的负电极与正电极上的所述第一金属凸点通过第...

【专利技术属性】
技术研发人员：高红彪，孙夺，顾溢，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：