化学放大型正性抗蚀剂组合物制造技术

本发明专利技术提供一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含：树脂（Ａ），所述树脂（Ａ）本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且所述树脂（Ａ）包含在侧链中具有酸不稳定基团的结构单元，以及由式（Ⅰ）表示的结构单元，其中Ｒ↑［１］表示氢原子或甲基，环Ｘ↑［１］表示具有－ＣＯＯ－的未取代或取代的Ｃ３－Ｃ３０环烃基，并且ｋ表示１至４的整数；树脂（Ｂ），所述树脂（Ｂ）包含由式（Ⅱ）表示的结构单元，其中Ｒ↑［２］表示氢原子、甲基或三氟甲基；以及酸生成剂。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及下列方面 <1>一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含 树脂(A)，所述树脂(A)本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且所述树脂(A)包含在侧链中具有酸不稳定基团的结构单元，以及由式(I)表示的结构单元 其中R1表示氢原子或甲基，环X1表示具有-COO-的未取代或取代的C3-C30环烃基，并且k表示1至4的整数； 树脂(B)，所述树脂(B)包含由式(II)表示的结构单元 其中R2表示氢原子、甲基或三氟甲基；以及 酸生成剂； <2>根据<1>所述的化学放大型正性抗蚀剂组合物，其中所述树脂(B)还包含选自以下结构单元中的至少一种结构单元 由式(VIII)表示的结构单元 其中R3表示氢原子、甲基或三氟甲基，而AR表示C1-C30含氟烃基，所述C1-C30含氟烃基可以具有一个或多个羟基，并且所述烃基中的一个或多个亚甲基可以被选自氧原子、氮原子和硫原子中的杂原子取代，条件是上述由式(VIII)表示的结构单元与所述由式(II)表示的结构单元不相同， 由式(IX)表示的结构单元 其中R4表示氢原子或甲基，环X2表示具有-COO-的未取代或取代的C3-C30环烃基，以及 权利要求1所述的由式(I)表示的结构单元。 <3>根据<1>或<2>所述的化学放大型正性抗蚀剂组合物，其中相对于100重量份的树脂(A)，树脂(B)的量为0.1至20重量份； <4>根据<1>、<2>或<3>所述的化学放大型正性抗蚀剂组合物，其中所述酸生成剂是由式(V)表示的盐 其中R12表示C1-C30烃基，所述C1-C30烃基可以被选自C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、C1-C6羟基烷基、羟基和氰基中的至少一种取代并且至少一个亚甲基可以被-CO-或-O-取代，A+表示有机抗衡离子，并且Y1和Y2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基。 具体实施例方式 树脂(A)本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。 树脂(A)包含侧链中含有酸不稳定基团的结构单元。 树脂(A)可以包含两种或更多种在侧链中含有酸不稳定基团的结构单元。 在结构单元中的酸不稳定基团通过由酸生成剂所产生的酸而断裂。 在本说明书中，“酯基”是指“具有羧酸酯的结构”。具体地，“叔丁酯”是“具有羧酸的叔丁酯的结构”，并且可以被描述为“-COOC(CH3)3”。 酸不稳定基团的实例包括具有羧酸酯的结构，比如其中与氧原子相邻的碳原子是季碳原子的烷基酯基，其中与氧原子相邻的碳原子是季碳原子的脂环族酯基，以及其中与氧原子相邻的碳原子是季碳原子的内酯酯基。“季碳原子”表示“与四个不同于氢原子的取代基结合的碳原子”。 酸不稳定基团的实例包括其中与氧原子相邻的碳原子是季碳原子的烷基酯基，比如叔丁酯基；缩醛型酯基，如甲氧基甲酯基、乙氧基甲酯基、1-乙氧基乙酯基、1-异丁氧基乙酯基、1-异丙氧基乙酯基、1-乙氧基丙氧基酯基、1-(2-甲氧基乙氧基)乙酯基、1-(2-乙酰氧基乙氧基)乙酯基、1-乙酯基、1-乙酯基、四氢-2-呋喃酯基和四氢-2-吡喃酯基；其中与氧原子相邻的碳原子是季碳原子的脂环族酯基，比如异冰片酯基、1-烷基环烷基酯基、2-烷基-2-金刚烷基酯基和1-(1-金刚烷基)-1-烷基烷基酯基等。 作为具有酸不稳定基团的结构单元，优选衍生自任选被取代的丙烯酸类化合物的结构单元。 在本说明书中，“任选被取代的丙烯酸类化合物”是指丙烯酸酯，其α-碳被取代基取代的丙烯酸酯。该取代基的实例包括C1-C4烷基。 任选被取代的丙烯酸类化合物的实例包括丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、2-乙基丙烯酸酯(propenoate)、2-正丙基丙烯酸酯和2-正丁基丙烯酸酯。 具有酸不稳定基团的结构单元的实例包括衍生自下面的酯的结构单元丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲氧基甲酯、甲基丙烯酸甲氧基甲酯、丙烯酸乙氧基甲酯、甲基丙烯酸乙氧基甲酯、丙烯酸1-乙氧基乙酯、甲基丙烯酸1-乙氧基乙酯、丙烯酸1-异丁氧基乙酯、甲基丙烯酸1-异丁氧基乙酯、丙烯酸1-异丙氧基乙酯、甲基丙烯酸1-异丙氧基乙酯、丙烯酸1-乙氧基丙氧基酯、甲基丙烯酸1-乙氧基丙氧基酯、丙烯酸1-(2-甲氧基乙氧基)乙酯、甲基丙烯酸1-(2-甲氧基乙氧基)乙酯、丙烯酸1-(2-乙酰氧基乙氧基)乙酯、甲基丙烯酸1-(2-乙酰氧基乙氧基)乙酯、丙烯酸1-乙酯、甲基丙烯酸1-乙酯、丙烯酸1-乙酯、甲基丙烯酸1-乙酯、丙烯酸四氢-2-呋喃酯、甲基丙烯酸四氢-2-呋喃酯、丙烯酸四氢-2-吡喃酯、甲基丙烯酸四氢-2-吡喃酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸异冰片酯、丙烯酸1-烷基环烷基酯、甲基丙烯酸1-烷基环烷基酯、丙烯酸2-烷基-2-金刚烷基酯、甲基丙烯酸2-烷基-2-金刚烷基酯、丙烯酸1-(1-金刚烷基)-1-烷基烷基酯和甲基丙烯酸1-(1-金刚烷基)-1-烷基烷基酯。 具有酸不稳定基团的结构单元的优选实例包括由式(IIIa)表示的结构单元(下面，简称作结构单元(IIIa)) 其中R5表示氢原子或甲基，R6表示C1-C8直链或支链烷基或C3-C8环烷基，R7表示甲基，n表示0至14的整数，Z1表示单键或-(CH2)k’-COO-基团，并且k’表示1至4的整数；以及 由式(IIIb)表示的结构单元(下面，简称作结构单元(IIIb)) 其中R8表示氢原子或甲基，R9表示C1-C8直链或支链烷基或C3-C8环烷基，R10和R11各自独立地表示氢原子或可以包含一个或多个杂原子的C1-C8一价烃基，R10和R11可以彼此结合，从而与R10所结合的碳原子和R11所结合的碳原子一起形成环，或者R10和R11可以彼此结合，以在R10所结合的碳原子和R11所结合的碳原子之间形成双键，m表示1至3的整数，Z2表示单键或-(CH2)k”-COO-基团，并且k”表示1至4的整数。 C1-C8直链或支链烷基的实例包括甲基、乙基、1-丙基、1-甲基乙基、1-丁基、2-丁基、2-甲基-1-丙基、1-戊基、2-戊基、2-甲基-1-丁基、3-戊基、2，2-二甲基-1-丙基、3-甲基-1-丁基、1-己基、2-己基、1-庚基、4-庚基、1-辛基、2-辛基和5-甲基-2-庚基。C3-C8环烷基的实例包括环戊基、2-甲基环戊基、环己基、3-甲基环己基、4-甲基环己基、2，3-二甲基环己基、4，4-二甲基环己基和5-甲基-双环庚-2-基。它们中，优选C1-C3直链或支链烷基，比如甲基、乙基、1-丙基和1-甲基乙基。 C1-C8一价烃基的实例包括甲基、乙基、1-丙基、1-甲基乙基、1-丁基、2-丁基、2-甲基-1-丙基、1-戊基、2-戊基、2-甲基-1-丁基、3-戊基、2，2-二甲基-1-丙基、3-甲基-1-丁基、1-己基、2-己基、1-庚基、4-庚基、1-辛基、2-辛基、5-甲基-2-庚基、环戊基、2-甲基环戊基、环己基、3-甲基环己基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含：　树脂（Ａ），所述树脂（Ａ）本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且所述树脂（Ａ）包含在侧链中具有酸不稳定基团的结构单元，以及由式（Ⅰ）表示的结构单元：　＊＊＊　（ Ⅰ）　其中Ｒ↑［１］表示氢原子或甲基，环Ｘ↑［１］表示具有－ＣＯＯ－的未取代或取代的Ｃ３－Ｃ３０环烃基，并且ｋ表示１至４的整数；　树脂（Ｂ），所述树脂（Ｂ）包含由式（Ⅱ）表示的结构单元：　＊＊＊　（Ⅱ）　其中Ｒ↑［２］表示氢原子、甲 基或三氟甲基；以及　酸生成剂。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：重松淳二，枝松邦茂，宫川贵行，釜渊明，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]