感光性元件、固化物的制造方法、固化物图案的制造方法及线路板的制造方法技术

一种感光性元件(1)，其具备支撑膜(10)及配置于支撑膜(10)上的感光层(20)，在支撑膜(10)的内部的最大直径1μm以上的缺陷的数量是每0.225mm2为100个以下，感光层(20)含有粘合剂聚合物、具有烯属不饱和键的光聚合性化合物及光聚合引发剂。物及光聚合引发剂。物及光聚合引发剂。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性元件、固化物的制造方法、固化物图案的制造方法及线路板的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种感光性元件、固化物的制造方法、固化物图案的制造方法、线路板的制造方法等。

技术介绍

[0002]以往，作为在线路板(例如印刷线路板)的制造领域、金属的精密加工领域等中用于蚀刻、镀覆等的抗蚀剂材料，广泛使用由支撑膜、感光性树脂组合物构成的层(以下，称为“感光层”)及由保护膜构成的感光性元件。
[0003]例如，如下制造线路板。首先，将感光性元件的保护膜从感光层剥离之后，在基板上层压感光层。接着，在对感光层实施图案曝光后，用显影液去除未曝光部而形成抗蚀剂(抗蚀剂图案)。然后，介由该抗蚀剂实施蚀刻处理或镀覆处理，从而形成线路板。
[0004]作为用于感光性元件的支撑膜，已知有具有特定的雾度值的支撑膜、具有特定的润滑剂粒子尺寸的支撑膜等(例如，参考下述专利文献1及2)。
[0005]以往技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2001
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13681号公报
[0008本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感光性元件，其具备支撑膜及配置于该支撑膜上的感光层，在所述支撑膜的内部的最大直径1μm以上的缺陷的数量是每0.225mm2为100个以下，所述感光层含有粘合剂聚合物、具有烯属不饱和键的光聚合性化合物及光聚合引发剂。2.根据权利要求1所述的感光性元件，其中，在所述支撑膜的内部的最大直径1μm以上的缺陷的数量是每0.225mm2为5个以下。3.根据权利要求1或2所述的感光性元件，其中，所述支撑膜具有聚酯膜及配置于该聚酯膜的至少一个面的润滑剂层。4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性元件，其中，所述支撑膜的雾度值为0.01～3.0％。5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层不含具有源自二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物。6.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性元件，其中，所述光聚合性化合物包含具有源自二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物，相对于所述粘合剂聚合物及所述光聚合性化合物的总量100质量份，该(甲基)丙烯酸酯化合物的含量为大于0质量份且3质量份以下。7.根据权利要求6所述的感光性元件，其中，所述光聚合性化合物还包含双酚A型二(甲基)丙烯酸酯化合物。8.根据权利要求7所述的感光性元件，其中，相对于所述粘合剂聚合物及所述光聚合性化合物的总量100质量份，所述双酚A型二(甲基)丙烯酸酯化合物的含量为30～50质量份。9.根据权利要求1至8中...

【专利技术属性】
技术研发人员：粂壮和，黑泽刚，贺口阳介，岩下健一，成田真生，加藤哲也，
申请(专利权)人：株式会社力森诺科，
类型：发明
国别省市：