一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池技术

本发明专利技术公开了一种太阳能电池的制备方法以及太阳能电池。所述太阳能电池的制备方法包括：在透明基板表面制作透明前电极层；在透明基板和透明前电极层的表面制作光伏材料层；在光伏材料层上制作第一金属电极；在第一金属电极表面制作无机保护层；在无机保护层的表面制作光阻保护层；将具有光阻保护层的透明基板进行蚀刻，以去除未被光阻保护层覆盖的无机保护层和光伏材料层；在以上制备方法中，由于在制作第一金属电极之后，制作了无机保护层对光伏材料层进行覆盖及有效的保护，因此即使将基板暴露于空气中，或者对基板实施后续的黄光、蚀刻工艺来实现图案化，也不会导致太阳能电池的性能下降或失效。性能下降或失效。性能下降或失效。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池


[0001]本专利技术涉及太阳能电池产品的
，特别涉及一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池。

技术介绍

[0002]在太阳能电池领域中，近期兴起的钙钛矿太阳能电池和有机太阳能电池技术，是被认为最具前途的两类太阳能电池产品。原因是钙钛矿太阳能电池或有机太阳能电池所使用的有机材料的种类繁多、易于合成，且制造的成本低于无机类的光伏材料，且材料易于通过改性实现吸光范围的调制，能够制作成柔性的太阳能电池器件。但是，为了将其应用于智能电子产品，必须能够通过制程工艺实现光伏层的图案化，才有机会得到广泛应用。目前，这两类太阳能电池产品的光伏层大多采用溶液法制作而成，此方法虽然成膜简单，却不能实现图案化，对产业的发展造成了很大的限制。此外，由于钙钛矿太阳能电池或有机太阳能电池或添加了量子点材料的太阳能电池所使用的有机材料对水、氧非常敏感，光伏材料层非常容易受到水、氧以及光刻工艺中的化学药液的影响而造成性能急剧下降甚至完全失效。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术的上述缺点与不足，本专利技术的目的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在透明基板表面制作透明前电极层；在所述透明基板和所述透明前电极层的表面制作光伏材料层；在所述光伏材料层上制作第一金属电极；在所述第一金属电极表面制作无机保护层；在所述无机保护层的表面制作光阻保护层；将具有所述光阻保护层的所述透明基板进行蚀刻，以去除未被所述光阻保护层覆盖的所述无机保护层和所述光伏材料层；去除所述光阻保护层；在所述干刻后的无机保护层表面制作第二金属电极。2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，还包括以下步骤：在制作所述光伏材料层之前，在所述透明前电极层表面制作辅助金属电极；以及在所述辅助金属电极表面制作第一TCO保护层。3.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，还包括以下步骤：在制作所述透明前电极层之前，在所述透明基板上制作辅助金属电极；以及在所述辅助金属电极表面制作所述透明前电极层。4.根据权利要求2所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述辅助金属电极设置在所述透明前电极层的边缘区域。5.根据权利要求2所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述辅助金属电极层的制作材料包括铝、钼、钛、铬、铂、银、钯、铜任意一种或者其合金。6.根据权利要求2所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述第一TCO保护层的图案形状与所述辅助金属电极的图案形状相同，且所述第一TCO保护层的图案尺寸等于或者大于所述辅助金属电极的图案尺寸。7.根据权利要求6所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述第二TCO保护层在任一位置的线条宽度与所述辅助金属电极在同一位置的线条宽度的差值在5μm
‑
10μm之间。8.根据权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述第一金属电极的制作方法包括以下步骤：提供导电材料，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李源，吴德生，
申请(专利权)人：信利半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：