【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种对例如平板显示器(FPD)用的玻璃基板等被处理 体进行等离子体处理时收纳被处理体的等离子体处理容器和具有该等 离子体处理容器的等离子体处理装置。
技术介绍
在以液晶显示器(LCD)为代表的FPD制造过程中，在真空下对 玻璃基板等被处理体实施蚀刻、成膜等各种处理。为了利用等离子体 进行所述处理，而使用具有能够真空抽吸的等离子体处理容器的等离 子体处理装置。在等离子体处理装置中，由于等离子体或腐蚀性气体的作用会使 金属制的等离子体处理容器的内面受损。为此，要对例如铝制的等离 子体处理容器的主体实施阳极氧化处理(阳极氧化处理)而提高耐蚀 性。阳极氧化处理通常通过将接受处理的等离子体处理容器或其构成 部件浸渍在含有硫酸或草酸的电解液中。另外，为了防止等离子体处理容器的损伤，也在等离子体处理容 器的内壁面配设保护部件(衬垫liner)。例如在专利文献1中，沿着 形成在等离子体处理容器的运送口的内壁面配设能够拆装的衬垫。在 衬垫的表面形成利用了阳极氧化处理的氧化皮膜或具有耐等离子体腐 蚀性的喷镀膜，提高对等离子体或腐蚀性气体的耐久性。但是，等离 子体或腐蚀...
【技术保护点】
一种等离子体处理容器，其形成收纳被处理体而进行等离子体处理的处理室，其特征在于，具有： 接合多个容器构成部件而形成的容器主体； 配设在所述容器构成部件间的接合部分的第一密封部件； 安装在所述容器主体的内面而保护所述容器主体 的保护部件， 在所述容器构成部件间的接合部分设有通过将所述保护部件从所述处理室内部插入直至到达所述第一密封部件的位置而使所述第一密封部件和所述保护部件抵接的第一密封部。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：出口新悟，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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